מצע SiC לציפוי סרט CVD

שקיעת אדים כימית

תחמוצת שקיעת אדים כימית (CVD) היא תהליך גידול ליניארי שבו גז קדם משקע שכבה דקה על גבי פרוסה בכור. תהליך הגידול הוא בטמפרטורה נמוכה ובעל קצב גידול גבוה בהרבה בהשוואה לתחמוצת תרמיתזה גם מייצר שכבות סיליקון דיאוקסיד דקות בהרבה מכיוון שהסרט עובר דחיסה במקום גידול. תהליך זה מייצר סרט בעל התנגדות חשמלית גבוהה, וזה נהדר לשימוש במעגלים משולבים והתקני MEMS, בין יישומים רבים אחרים.

תחמוצת שיקוע אדים כימי (CVD) מבוצעת כאשר נדרשת שכבה חיצונית אך ייתכן שלא ניתן יהיה לחמצן את מצע הסיליקון.

גידול שקיעת אדים כימית:

צמיחת CVD מתרחשת כאשר גז או אדים (חומר קדם) מוכנסים לכור בטמפרטורה נמוכה שבו פרוסות ה-wafer מסודרות אנכית או אופקית. הגז נע דרך המערכת ומתפזר באופן שווה על פני השטח של הוופלים. כאשר חומרים קדם אלה נעים דרך הכור, הוופלים מתחילים לספוג אותם אל פני השטח שלהם.

לאחר שהחומרים המקדימים מתפזרים באופן שווה בכל המערכת, מתחילות תגובות כימיות לאורך פני השטח של המצעים. תגובות כימיות אלו מתחילות כאיים, וככל שהתהליך נמשך, האיים גדלים ומתמזגים ליצירת הסרט הרצוי. תגובות כימיות יוצרות תוצרי לוואי על פני השטח של הוופלים, אשר מתפזרים על פני שכבת הגבול וזורמים החוצה מהכור, ומשאירים רק את הוופלים עם ציפוי הסרט שהופקד עליהם.

איור 1

יתרונות של שקיעת אדים כימית:

• תהליך גידול בטמפרטורה נמוכה.
• קצב שיקוע מהיר (במיוחד APCVD).
• לא חייב להיות מצע סיליקון.
• כיסוי צעדים טוב (במיוחד PECVD).

איור 2
שקיעת סיליקון דיאוקסיד לעומת צמיחה

למידע נוסף על שקיעת אדים כימית או לבקשת הצעת מחיר, אנאצור קשר עם SVMהיום כדי לדבר עם חבר בצוות המכירות שלנו.

סוגי מחלות לב וכלי דם

LPCVD

שקיעת אדים כימית בלחץ נמוך היא תהליך שקיעת אדים כימית סטנדרטי ללא לחץ. ההבדל העיקרי בין LPCVD לשיטות CVD אחרות הוא טמפרטורת השקיעה. LPCVD משתמש בטמפרטורה הגבוהה ביותר לשקיעת שכבות, בדרך כלל מעל 600 מעלות צלזיוס.

סביבת הלחץ הנמוך יוצרת שכבה אחידה מאוד בעלת טוהר, יכולת שחזור והומוגניות גבוהות. פעולה זו מתבצעת בין 10 ל-1,000 פאסל, בעוד שלחץ החדר הסטנדרטי הוא 101,325 פאסל. הטמפרטורה קובעת את עובי וטוהר שכבות אלו, כאשר טמפרטורות גבוהות יותר מביאות לשכבות עבות וטהורות יותר.

• סרטים נפוצים שהופקדו:פוליסיליקון, תחמוצות מסוממות ולא מסוממות,ניטרידים.

PECVD

שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה היא טכניקת שקיעת אדים בטמפרטורה נמוכה ובצפיפות שכבה גבוהה. שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD) מתבצעת בכור CVD בתוספת פלזמה, שהיא גז מיונן חלקית עם תכולת אלקטרונים חופשיים גבוהה (~50%). זוהי שיטת שקיעת אדים בטמפרטורה נמוכה המתרחשת בין 100°C ל-400°C. ניתן לבצע PECVD בטמפרטורות נמוכות מכיוון שהאנרגיה מהאלקטרונים החופשיים מפרקת את הגזים הריאקטיביים ליצירת שכבה על פני הוופל.

שיטת שיקוע זו משתמשת בשני סוגים שונים של פלזמה:

1. קר (לא תרמי): לאלקטרונים יש טמפרטורה גבוהה יותר מאשר לחלקיקים ניטרליים וליונים. שיטה זו משתמשת באנרגיה של אלקטרונים על ידי שינוי הלחץ בתא השיקוע.
2. תרמי: האלקטרונים הם באותה טמפרטורה כמו החלקיקים והיונים בתא השיקוע.

בתוך תא השיקוע, מתח גלי רדיו נשלח בין האלקטרודות מעל ומתחת לפלח האלקטרונים. זה טוען את האלקטרונים ושומר אותם במצב עירור על מנת להניח את הסרט הרצוי.

ישנם ארבעה שלבים לגידול סרטים באמצעות PECVD:

1. הנח פרוסות היעד על אלקטרודה בתוך תא התצהיר.
2. הכניסו גזים ריאקטיביים ואלמנטים של שיקוע לתא.
3. שלח פלזמה בין האלקטרודות והפעל מתח כדי לעורר את הפלזמה.
4. גז ריאקטיבי מתנתק ומגיב עם פני השטח של הוופל ליצירת שכבה דקיקה, ותוצרי לוואי מתפזרים מחוץ לתא.

• שכבות נפוצות המופקדות: תחמוצות סיליקון, סיליקון ניטריד, סיליקון אמורפי,סיליקון אוקסיניטרידים (Si_xO_yN_z).

APCVD

שקיעת אדים כימית בלחץ אטמוספרי היא טכניקת שקיעת אדים בטמפרטורה נמוכה המתרחשת בכבשן בלחץ אטמוספרי סטנדרטי. כמו שיטות CVD אחרות, APCVD דורשת גז מקדים בתוך תא השקיעה, לאחר מכן הטמפרטורה עולה באיטיות כדי לזרז את התגובות על פני הוופל ולשקיע שכבה דקה. בשל פשטותה של שיטה זו, יש לה קצב שקיעת אדים גבוה מאוד.

• שכבות נפוצות המופקדות: תחמוצות סיליקון מסוממות ולא מסוממות, ניטרידים של סיליקון. משמשות גם ברִכּוּך.

HDP CVD

שקיעת אדים כימית בפלזמה בצפיפות גבוהה היא גרסה של PECVD המשתמשת בפלזמה בצפיפות גבוהה יותר, המאפשרת לפלסמה להגיב בטמפרטורה נמוכה עוד יותר (בין 80°C-150°C) בתוך תא השקיעה. זה גם יוצר שכבה עם יכולות מילוי תעלות מעולות.

• שכבות נפוצות שהופקדו: סיליקון דיאוקסיד (SiO₂), סיליקון ניטריד (Si₃N₄),סיליקון קרביד (SiC).

SACVD

שקיעת אדים כימית בלחץ תת-אטמוספרי שונה משיטות אחרות מכיוון שהיא מתרחשת מתחת ללחץ חדר סטנדרטי ומשתמשת באוזון (O₃) כדי לסייע בזרז את התגובה. תהליך השיקוע מתרחש בלחץ גבוה יותר מאשר LPCVD אך נמוך יותר מאשר APCVD, בין כ-13,300 Pa ל-80,000 Pa. לסרטי SACVD קצב שיקוע גבוה אשר משתפר ככל שהטמפרטורה עולה עד כ-490°C, בנקודה זו הוא מתחיל לרדת.

• סרטים נפוצים שהופקדו:BPSG, פ.ס.ז',TEOS.

חברת Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd היא אחת מחברות הקרמיקה החדשות הגדולות ביותר בסין בתחום החומרים החדשים של סיליקון קרביד. קרמיקה טכנית SiC: קשיות Moh היא 9 (קשיות Moh חדשה היא 13), עם עמידות מצוינת בפני שחיקה וקורוזיה, עמידות מעולה בפני שחיקה ונוגדי חמצון. חיי השירות של מוצר SiC ארוכים פי 4 עד 5 מחומר המכיל 92% אלומינה. רמת ה-MOR של RBSiC היא פי 5 עד 7 מזו של SNBSC, וניתן להשתמש בה לצורות מורכבות יותר. תהליך הצעת המחיר מהיר, האספקה ​​כפי שהובטח והאיכות היא ללא תחרות. אנו תמיד מתמידים לאתגר את המטרות שלנו ולתת את ליבנו בחזרה לחברה.