Sobusitireti fun ibora fiimu cvd

IKILO IKILỌ ỌLỌRUN

Ilana Vapor Kẹmika (CVD) iwari) Alagbara jẹ ẹya elege nibiti awọn idogo gaasi alakoko kan ti o tinrin kan fiimu kan. Ilana idagba jẹ iwọn otutu kekere ati pe o ni oṣuwọn idagbasoke ti o ga julọ nigbati akawe siOhun elo afẹfẹ gbona. O tun fun awọn fẹlẹfẹlẹ fẹẹrẹ fẹẹrẹ pupọ pupọ nitori fiimu ti dena, dipo ju dagba. Ilana yii ṣe fiimu kan pẹlu atako itanna ti o ga, eyiti o jẹ nla fun lilo ninu awọn iccs ati awọn ẹrọ Mamer, laarin ọpọlọpọ awọn ohun elo miiran.

Iwadi Vapor (CVD) A ṣe ohun elo afẹfẹ nigbati a nilo Layer ita ṣugbọn iyẹfun siliki naa le ma ni anfani lati ni oxidized.

Idagba owo Idawọle kemikali:

Idagba CVD ṣẹlẹ nigbati gaasi kan tabi oru kan (iṣaaju) ti wa ni afihan si ibi-afẹde otutu otutu nibiti awọn wafers ti wa ni idayatọ boya inaro tabi ni opopona. Ape gaasi naa gbe nipasẹ eto naa ki o ṣe alabapin ni ilẹ yikalẹ kọja oke ti awọn wa. Bii awọn afihan wọnyi ṣe nrin nipasẹ ri ri riran, awọn oludan bẹrẹ lati fa wọn sori ori wọn.

Lọgan ti awọn ilana iṣaaju ti pin bolẹ kaakiri gbogbo eto, awọn aati kemikali bẹrẹ pẹlu dada ti awọn sobusiti. Awọn aati kemikali wọnyi bẹrẹ bi awọn erekusu, ati bi ilana naa tẹsiwaju, awọn erekusu dagba ati papọ lati ṣẹda fiimu ti o fẹ. Awọn iṣe kemikali ṣẹda awọn biprodects lori dada ti awọn oluwaye, eyiti o ṣe iyatọ kọja riatoro, nlọ awọn olutagba nikan pẹlu fifipamọ fiimu fiimu.

Nọmba 1

Awọn anfani ti Iwadi Mapor Vapor:

• Ilana idagbasoke otutu otutu.
• Oṣuwọn idogo ti o yara (paapaa apcvd).
• Ko ni lati jẹ sobusitireti siliki.
• Agbegbe igbesẹ ti o dara (paapaa pecvd).

Nọmba 2
Iwuri Silicon Dikovide Bess

Fun alaye diẹ sii lori idogo Vapor Chapor tabi lati beere fun agbasọ kan, jọwọKan si SvmLoni lati ba ọmọ ẹgbẹ kan sọrọ ti ẹgbẹ ẹgbẹ wa.

Awọn oriṣi CVD

Lpcvd

Ifiranṣẹ Vapor Kemikali kekere jẹ ilana iwuri Iwakun palesenat Party Vapor laisi iwukara. Iyatọ nla laarin LPCVD ati awọn ọna CVD miiran jẹ iwọn otutu itẹlọrun. LPCVD nlo awọn iwọn otutu ti o ga julọ lati fi awọn fiimu si awọn fiimu, ni igbagbogbo ju 600 ° C.

Ayika kekere-kekere ṣẹda fiimu aṣọ ile kekere pẹlu mimọ giga, ẹda ati isokan. Eyi ni a ṣe laarin 10 - 1,000 pa, lakoko ti titẹ yara boṣewa jẹ 101,325 Pa. Lilọ si tumọ si awọn fiimu ti o pọ julọ, pẹlu awọn iwọn otutu ti o ga julọ ti o fa ni awọn fiimu ti o nipọn ati awọn fiimu mimọ diẹ sii.

• Awọn fiimu ti o wọpọ ṣe ifipamọ:polusibicon, awọn ohun axides ti ko ni tabi ti ko forapolitrides.

Pecvd

Pilasima ṣe itọju Itẹsiwaju Kẹkẹjẹ Kẹmika jẹ iwọn otutu kekere, imọ-ẹrọ idogo fiimu ti o ga. PECVD gba ni ibi-afẹde CVD pẹlu afikun ti pilasima, eyiti o jẹ gaasi ioncon ti o somọ pẹlu akoonu itanna ọfẹ ọfẹ (~ 50%). Eyi jẹ ọna igbekale otutu kekere ti o waye laarin 100 ° C - 400 ° C. Le ṣee ṣe pe Pecvd ni awọn iwọn kekere nitori agbara lati awọn electrons ọfẹ lati ya awọn ategun aifọkanbalẹ lati fẹlẹfẹlẹ kan lori dada wafer.

Awọn ọna idogo yii nlo awọn oriṣi oriṣiriṣi meji ti pilasima:

1. Tutu (ti kii-gbona): Awọn elekitiro ni iwọn otutu ti o ga julọ ju awọn patikulu didojuu ati awọn ions. Ọna yii nlo agbara awọn elekitiro nipa yiyipada titẹ ninu iyẹwu iwadi naa.
2. Gbona: Awọn elechons jẹ iwọn otutu kanna bi awọn patikulu ati awọn ions ninu iyẹwu iwadi.

Ninu iyẹwu idogo, redio igbohunsafẹfẹ redio wa laarin awọn ohun itanna loke ati ni isalẹ wafer. Ni idiyele awọn elekitiri naa ki o tọju wọn ni ipinlẹ ti o rọrun lati le gbe fiimu ti o fẹ wa.

Igbesẹ mẹrin wa lati dagba awọn fiimu nipasẹ PECVD:

1. Gbe afojusun waf lori awọn itanna kan sinu iyẹwu iwadi.
2. Ṣe afihan awọn ategun mimu ati awọn eroja idogo si iyẹwu naa.
3. Firanṣẹ Plasma laarin awọn amọna ati lo fotigbọsi lati yọ pilasima kun pilasima.
4. Awọn ilana gaasi esi sipo ati awọn a tun ṣe pẹlu dada wafer lati fẹlẹfẹlẹ kan ti o tinrin, byprodcts tan kaakiri ninu iyẹwu naa.

• Awọn fiimu ti o wọpọ ṣe iranlọwọ: silikiton hiquon aras, sikon nitride, ohun alumọni amorphous,Silicon Oxynites (Si_xO_yN_z).

ApcvD

Ifiranṣẹ itan-ọrọ ti ArmoPiri ti o wa ni ilana iwuri otutu kekere ti o waye ninu ileru ni boṣewa oju-aye. Bii awọn ọna CVD miiran, APCVD nilo gaasi asikopo inu chember titan, lẹhinna iwọn otutu laiyara ga soke lati catalyze awọn aati lori dada tinrin kan. Nitori ayedero ti ọna yii, o ni oṣuwọn idogo ti o ga pupọ pupọ.

• Awọn fiimu ti o wọpọ Ti ṣabojuto: Daped ati awọn ohun elo alumọni ti ko ṣe awo siliki, sirikon nitrides. Tun lo ninuigbaya.

HDP CVD

Ile-iṣẹ Igo-owo giga Plasma Kẹmika jẹ ẹya ti PECVD ti o nlo pilasion ti o ga julọ, eyiti o gba awọn wafers ti o ga julọ, eyiti o fun laaye awọn wa lati fesi pẹlu iwọn otutu kekere (laarin 80 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° C-150 ° Eyi tun ṣẹda fiimu kan pẹlu awọn agbara kikun titari nla.

• Awọn fiimu ti o wọpọ ṣe idogo: Silicon Dioxide (Sio₂), silocon nitride (si₃N₄),Silicon Carbide (sic).

SaCVD

Ile-iṣẹ Ikọpọ ti ibi-iṣẹ alabọde₃) Lati ṣe iranlọwọ fun awọn catalyzo lelẹ. Ilana idogo waye ni titẹ ti o ga ju lpcvd ṣugbọn isalẹ ju 4,300 Pa ati pe o jẹ iwọn otutu giga ° C, eyiti o bẹrẹ si idinku.

• Awọn fiimu ti o wọpọ ṣe ifipamọ:Bpsg, Psg,Teoti.

Shanangong zhongeng zhongeng awọn seramics pataki ti o tobi clicon Carbide carmultiun tuntun ti o tobi ni China. Ajaja ti imọ-ẹrọ: lile ti Moh jẹ 9 (lile lile ti Moh ti wa ni 13), pẹlu atako Moh ti o dara julọ si iparun ati ipanilara ti o dara julọ, o ta odi ti o dara julọ - resistance ati egbooro-oxiding. Igbesi-iṣẹ iṣẹ iṣẹ ti ọja jẹ awọn akoko 4 si awọn ohun elo 92%. Awọn mi ti ripac jẹ 5 si 7 igba ti ti SNSSC, o le ṣee lo fun awọn apẹrẹ ti o pọn. Ilana agbasọ jẹ iyara, ifijiṣẹ jẹ bi wọn ti ṣe ileri ati didara jẹ keji si ko si ẹnikan. A nigbagbogbo gbọnju ni ajọṣepọ awọn ibi wa ati fun awọn ọkan wa pada si awujọ.