SiC sobusitireti fun CVD film bo

Kẹmika Vapor Deposition

Ohun elo afẹfẹ kemikali (CVD) jẹ ilana idagbasoke laini nibiti gaasi iṣaju kan gbe fiimu tinrin sori wafer ninu riakito kan. Ilana idagba jẹ iwọn otutu kekere ati pe o ni oṣuwọn idagbasoke ti o ga julọ nigbati a bawe siohun elo afẹfẹ gbona. O tun ṣe agbejade awọn fẹlẹfẹlẹ silikoni oloro tinrin pupọ nitori fiimu ti wa ni gbigbe, kuku ju dagba. Ilana yii ṣe agbejade fiimu kan pẹlu agbara itanna giga, eyiti o jẹ nla fun lilo ninu awọn ICs ati awọn ẹrọ MEMS, laarin ọpọlọpọ awọn ohun elo miiran.

Ohun elo afẹfẹ ti kemikali (CVD) ni a ṣe nigbati o nilo Layer ita ṣugbọn sobusitireti ohun alumọni le ma ni anfani lati jẹ oxidized.

Idagbasoke Idagbasoke Oru Kemikali:

Idagba CVD nwaye nigbati gaasi tabi oru (ṣaaju) ti ṣe afihan sinu riakito otutu kekere nibiti a ti ṣeto awọn wafers boya ni inaro tabi petele. Gaasi naa n lọ nipasẹ eto naa o si pin kaakiri boṣeyẹ kọja oju ti awọn wafers. Bi awọn iṣaju wọnyi ti n lọ nipasẹ awọn riakito, awọn wafers bẹrẹ lati fa wọn sori oju wọn.

Ni kete ti awọn iṣaju ti pin ni boṣeyẹ jakejado eto naa, awọn aati kẹmika bẹrẹ pẹlu oju awọn sobusitireti. Awọn aati kemikali wọnyi bẹrẹ bi awọn erekusu, ati bi ilana naa ṣe tẹsiwaju, awọn erekusu dagba ati dapọ lati ṣẹda fiimu ti o fẹ. Awọn aati kemikali ṣẹda awọn biproducts lori dada ti awọn wafers, eyiti o tan kaakiri ni ipele aala ati ṣiṣan jade lati inu riakito, nlọ nikan awọn wafers pẹlu ibora fiimu ti a fi silẹ.

Olusin 1

Awọn anfani ti Iṣagbepo Oru Kemikali:

• Low otutu idagbasoke ilana.
• Oṣuwọn ifisilẹ iyara (paapaa APCVD).
• Ko ni lati jẹ sobusitireti silikoni.
• Idaabobo igbesẹ ti o dara (paapa PECVD).

Olusin 2
Silikoni oloro iwadi vs

Fun alaye diẹ sii lori isọdi ikemika tabi lati beere agbasọ kan, jọwọOlubasọrọ SVMloni lati sọrọ pẹlu ọmọ ẹgbẹ ti ẹgbẹ tita wa.

Awọn oriṣi ti CVD

LPCVD

Ipilẹ ikemi kemika titẹ kekere jẹ ilana isọdi eemi kemikali boṣewa laisi titẹ. Iyatọ nla laarin LPCVD ati awọn ọna CVD miiran jẹ iwọn otutu ifisilẹ. LPCVD nlo iwọn otutu ti o ga julọ lati fi awọn fiimu pamọ, ni deede loke 600°C.

Ayika titẹ-kekere ṣẹda fiimu ti o ni aṣọ pupọ pẹlu mimọ giga, atunṣe, ati isokan. Eyi ni a ṣe laarin 10 - 1,000 Pa, lakoko ti titẹ yara yara jẹ 101,325 Pa. Iwọn otutu ṣe ipinnu sisanra ati mimọ ti awọn fiimu wọnyi, pẹlu awọn iwọn otutu ti o ga julọ ti o mu ki awọn fiimu ti o nipọn ati diẹ sii ni mimọ.

• Awọn fiimu ti o wọpọ ti a fipamọ:polysilicon, doped & oxides undoped,nitrides.

PECVD

Pilasima ti mu dara si ikemi ti oru ni iwọn otutu kekere, ilana imuduro iwuwo fiimu ti o ga. PECVD gba ibi ni a CVD riakito pẹlu afikun ti pilasima, eyi ti o jẹ a apa kan ionized gaasi pẹlu kan to ga elekitironi akoonu (~ 50%). Eyi jẹ ọna fifisilẹ iwọn otutu kekere ti o waye laarin 100°C – 400°C. PECVD le ṣee ṣe ni awọn iwọn otutu kekere nitori agbara lati awọn elekitironi ọfẹ npa awọn gaasi ti n ṣiṣẹ lati ṣe fiimu kan lori oju wafer.

Ọna fifisilẹ yii nlo awọn oriṣi pilasima meji ti o yatọ:

1. Tutu (ti kii ṣe gbona): awọn elekitironi ni iwọn otutu ti o ga ju awọn patikulu didoju ati awọn ions lọ. Ọna yii nlo agbara ti awọn elekitironi nipa yiyipada titẹ ni iyẹwu ifisilẹ.
2. Gbona: awọn elekitironi jẹ iwọn otutu kanna bi awọn patikulu ati awọn ions ninu iyẹwu ifisilẹ.

Ninu iyẹwu ifisilẹ, foliteji igbohunsafẹfẹ redio ti firanṣẹ laarin awọn amọna loke ati ni isalẹ wafer. Eleyi gba agbara si awọn elekitironi ki o si pa wọn ni ohun excitable ipinle ni ibere lati beebe awọn ti o fẹ fiimu.

Awọn igbesẹ mẹrin wa lati dagba awọn fiimu nipasẹ PECVD:

1. Gbe wafer ibi-afẹde sori elekiturodu inu iyẹwu ifisilẹ.
2. Ṣe afihan awọn gaasi ifaseyin ati awọn eroja ifisilẹ si iyẹwu naa.
3. Fi pilasima ranṣẹ laarin awọn amọna ati lo foliteji lati ṣafẹri pilasima naa.
4. Gaasi ifaseyin dissociates ati reacts pẹlu awọn wafer dada lati fẹlẹfẹlẹ kan ti tinrin fiimu, byproducts tan jade ti iyẹwu.

• Awọn fiimu ti o wọpọ ti o wa ni ipamọ: awọn ohun alumọni silikoni, silicon nitride, silikoni amorphous,silikoni oxynitrides (Si_xO_yN_z).

APCVD

Iṣagbejade ikemika titẹ oju aye jẹ ilana imuduro iwọn otutu kekere ti o waye ninu ileru ni titẹ oju aye boṣewa. Bii awọn ọna CVD miiran, APCVD nilo gaasi iṣaaju ninu iyẹwu ifisilẹ, lẹhinna iwọn otutu ga laiyara lati ṣe itusilẹ awọn aati lori dada wafer ati fi fiimu tinrin silẹ. Nitori ayedero ti ọna yii, o ni oṣuwọn fifisilẹ pupọ.

• Awọn fiimu ti o wọpọ ti o wa ni ipamọ: doped ati awọn ohun alumọni silikoni ti ko ni idasilẹ, awọn nitrides silikoni. Tun lo ninuannealing.

HDP CVD

Ipilẹ ikemiki pilasima iwuwo giga jẹ ẹya ti PECVD ti o nlo pilasima iwuwo ti o ga julọ, eyiti o fun laaye awọn wafers lati fesi pẹlu iwọn otutu kekere paapaa (laarin 80°C-150°C) laarin iyẹwu ifisilẹ. Eyi tun ṣẹda fiimu kan pẹlu awọn agbara kikun trench nla.

• Awọn fiimu ti o wọpọ ti a gbe silẹ: silicon dioxide (SiO₂), silikoni nitride (Si₃N₄),silikoni carbide (SiC).

SACVD

Iṣagbejade ikemika titẹ Subatmospheric yatọ si awọn ọna miiran nitori pe o waye ni isalẹ titẹ yara boṣewa o si nlo ozone (O₃) lati ṣe iranlọwọ lati mu iṣesi naa ṣiṣẹ. Ilana igbasilẹ naa waye ni titẹ ti o ga ju LPCVD ṣugbọn ti o kere ju APCVD, laarin iwọn 13,300 Pa ati 80,000 Pa. SACVD fiimu ni iwọn igbasilẹ ti o ga julọ ati eyiti o dara si bi iwọn otutu ti n pọ sii titi di iwọn 490 ° C, ni aaye wo o bẹrẹ lati dinku. .

• Awọn fiimu ti o wọpọ ti a fipamọ:BPSG, PSG,TEOS.

Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd jẹ ọkan ninu awọn ohun elo ohun elo seramiki ti o tobi julọ silikoni carbide ni China. Seramiki imọ-ẹrọ SiC: Lile Moh jẹ 9 (Lile Moh Tuntun jẹ 13), pẹlu atako to dara julọ si ogbara ati ibajẹ, abrasion ti o dara julọ - resistance ati anti-oxidation. Igbesi aye iṣẹ ọja SiC jẹ awọn akoko 4 si 5 gun ju ohun elo alumina 92% lọ. MOR ti RBSiC jẹ awọn akoko 5 si 7 ti SNBSC, o le ṣee lo fun awọn apẹrẹ eka sii. Ilana asọye naa yarayara, ifijiṣẹ jẹ bi ileri ati pe didara jẹ keji si rara. A nigbagbogbo taku nija awọn ibi-afẹde wa ati fun ọkan wa pada si awujọ.