Ni awọn ẹrọ lithography fun iṣelọpọ ërún, aṣiṣe alaihan le run awọn wafers ti o tọ awọn miliọnu dọla. Gbogbo micrometer ti iṣipopada nibi jẹ pataki si aṣeyọri tabi ikuna ti awọn iyika nanoscale, ati ipilẹ ti o ṣe atilẹyin ijó deede yii ni olutayo wa loni:ohun elo seramiki carbide silikoni- o dabi agbara imuduro ni agbaye airi, titọju igbesi aye konge ti ile-iṣẹ semikondokito ode oni ni awọn agbegbe to gaju.
1, Nigbati Awọn ohun elo seramiki Pade Awọn eerun: Ipenija Gbẹhin kan ni Yiyi
Awọn paati seramiki deede ti awọn ẹrọ lithography nilo lati ṣe awọn ipa mẹta ni nigbakannaa:
Ipilẹ iduroṣinṣin Ultra: duro ọpọlọpọ awọn toonu ti titẹ ni akoko ifihan ṣugbọn o wa ni iṣipopada.
Sentinel iwọn otutu: n ṣetọju iduroṣinṣin gbona labẹ mọnamọna gbona giga ti lesa.
Olutọju igbale: ṣe itọju flatness ipele atomiki fun ọdun mẹwa ni agbegbe gbigbọn odo.
Awọn ohun elo irin ti aṣa yoo gbejade "awọn gbigbọn micro" nitori imugboroja gbona ati ihamọ, lakoko ti awọn ohun elo polima ni o ṣoro lati koju ibajẹ pilasima. Awọn ohun elo ohun alumọni ohun alumọni carbide, pẹlu eto kristali alailẹgbẹ wọn, ṣaṣeyọri iwọntunwọnsi pipe ni líle, adaṣe igbona, ati resistance abuku, ṣiṣe wọn ni yiyan oke fun awọn paati pataki ti awọn ẹrọ lithography.
2, konge ipele Nano 'oluṣọ alaihan'
Ninu awọn ẹrọ lithography ti oke bii ASML ni Fiorino, NIKON ati CANON ni Japan, awọn ohun elo ohun alumọni silikoni n atunkọ awọn ofin ti iṣelọpọ deede:
Ipele boju-boju: Gbigbe fotomask kan ti o tọ to bi goolu, mimu deede ipo ipele nanometer lakoko gbigbe iyara giga.
Sobusitireti digi ifasilẹ: Irira oju jẹ kekere pupọ, paapaa dan ju dada digi kan.
Iyẹwu igbale: Lẹhin ọdun mẹwa ti lilo, abuku jẹ kere ju ẹgbẹrun kan ti irun eniyan
Eyi fẹrẹẹ jẹ 'oye ti o wọpọ' iduroṣinṣin lati awọn jiini mẹta ti awọn ohun elo carbide silikoni:
1. Olusọdipúpọ ti imugboroja igbona sunmọ odo: o fẹrẹ to “ọjọ ori tutu” lati -150 ℃ si 500 ℃
2. Ni igba mẹta le ju irin: sooro si airi bibajẹ ṣẹlẹ nipasẹ patiku bombardment
3. Awọn abuda lubrication ti ara ẹni: Ṣe aṣeyọri gbigbe gangan ti ko ni epo ni agbegbe igbale
3, 'Iyika ipalọlọ' ni ile-iṣẹ semikondokito
Bii ilana iṣelọpọ chirún ti n wọle si akoko 2-nanometer, awọn ohun elo ohun alumọni carbide ti n fọ nipasẹ awọn opin diẹ sii:
Tabili iṣẹ meji: ngbanilaaye awọn ọna ṣiṣe meji lati pari “ipele ipele atomiki” ni agbegbe igbale.
Eto ọna opopona EUV: sooro si bombardment lemọlemọfún ti 13.5nm iwọn ina ultraviolet.
Eto ọna asopọ axis lọpọlọpọ: iyọrisi awọn igbesẹ nanoscale 200 fun iṣẹju kan laisi ipilẹṣẹ awọn aṣiṣe akopọ.
Ẹgbẹ R&D lithography kan ti ṣe awọn idanwo afiwera: lẹhin lilo ipele ohun elo seramiki ohun alumọni carbide kan, iṣedede ipo eto ti ni ilọsiwaju nipasẹ 40%, ati pe ọmọ itọju ohun elo ti gbooro lati awọn oṣu 3 si ọdun 2. Iyipada yii kii ṣe idinku idiyele iṣelọpọ ti awọn eerun igi nikan, ṣugbọn tun mu iṣedede iṣelọpọ ti “awọn eerun igi Kannada” wa si iwaju ti awọn ajohunše agbaye fun igba akọkọ.
4, Ọna gígun lati yàrá yàrá si iṣelọpọ
Ṣiṣẹda lithography ite ohun amọ- carbide ohun amọ jẹ bii kikọ 'aafin ailabawọn' ni agbaye airi:
Ohun elo aise ti nw: Ultra funfun ohun alumọni carbide lulú, ẹgbẹẹgbẹrun awọn akoko mimọ ju iyọ to jẹun lọ.
Ilana Sintering: iṣakoso kongẹ ti itọsọna idagbasoke gara ni awọn iwọn otutu giga.
Ṣiṣeto deedee nipa lilo awọn irinṣẹ gige okuta iyebiye fun gbigbẹ ipele ipele micron gba akoko pupọ bi imupadabọ isọdọtun aṣa.
O jẹ aṣeyọri meji ti “imọ-jinlẹ ohun elo + iṣelọpọ deede” ti o ti ṣe awọn ohun elo gige-eti, eyiti o ni opin ni ẹẹkan si afẹfẹ ati awọn ile-iṣẹ ologun, ni bayi di awọn paati ipilẹ ti n ṣe atilẹyin ọlaju oni-nọmba.
Ninu ilana iṣelọpọ chirún oni, eyiti o ti de opin ti ara, awọn ohun elo ohun alumọni carbide jẹri pẹlu awọn abuda “ibajẹ odo” pe konge otitọ kii ṣe akopọ data, ṣugbọn iṣakoso ikẹhin lori pataki ti awọn ohun elo. Nigbati gbogbo paati seramiki gbe ileri ti awọn miliọnu awọn agbeka nanoscale, ohun ti a rii kii ṣe itankalẹ ti ohun elo semikondokito nikan, ṣugbọn ipinnu ti ile-iṣẹ orilẹ-ede kan lati lọ si ọna pipe ti konge.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 03-2025