سی وی ڈی فلم کوٹنگ کے لئے ایس آئی سی سبسٹریٹ

کیمیائی بخارات جمع

کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) آکسائڈ ایک لکیری نمو کا عمل ہے جہاں ایک پیشگی گیس ایک ری ایکٹر میں ایک پتلی فلم کو ویفر پر جمع کرتی ہے۔ نمو کا عمل کم درجہ حرارت ہے اور اس کے مقابلے میں اس کی شرح نمو بہت زیادہ ہےتھرمل آکسائڈ. اس سے سلیکن ڈائی آکسائیڈ کی بہت زیادہ پرتیں بھی تیار ہوتی ہیں کیونکہ فلم کو بڑھنے کی بجائے اس کی تقسیم کی جاتی ہے۔ یہ عمل ایک اعلی برقی مزاحمت والی فلم تیار کرتا ہے ، جو بہت سی دیگر ایپلی کیشنز کے درمیان ، آئی سی ایس اور ایم ای ایم ایس ڈیوائسز میں استعمال کے ل great بہت اچھا ہے۔

کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) آکسائڈ اس وقت انجام دیا جاتا ہے جب کسی بیرونی پرت کی ضرورت ہوتی ہے لیکن سلکان سبسٹریٹ آکسائڈائزڈ نہیں ہوسکتا ہے۔

کیمیائی بخارات جمع کرنے کی نمو:

سی وی ڈی کی نمو اس وقت ہوتی ہے جب کسی گیس یا بخارات (پیشگی) کو کم درجہ حرارت کے ری ایکٹر میں متعارف کرایا جاتا ہے جہاں ویفرز کو عمودی یا افقی طور پر ترتیب دیا جاتا ہے۔ گیس نظام کے ذریعے حرکت کرتی ہے اور ویفرز کی سطح پر یکساں طور پر تقسیم کرتی ہے۔ جب یہ پیش خیمہ ری ایکٹر سے گزرتے ہیں تو ، ویفرز انہیں اپنی سطح پر جذب کرنا شروع کردیتے ہیں۔

ایک بار جب پیشگی افراد پورے نظام میں یکساں طور پر تقسیم کردیتے ہیں تو ، کیمیائی رد عمل سبسٹریٹس کی سطح کے ساتھ شروع ہوتا ہے۔ یہ کیمیائی رد عمل جزیروں کی طرح شروع ہوتے ہیں ، اور جیسے جیسے یہ عمل جاری ہے ، جزیرے بڑھتے اور مطلوبہ فلم بنانے کے لئے ضم ہوجاتے ہیں۔ کیمیائی رد عمل سے ویفرز کی سطح پر بائپروڈکٹ پیدا ہوتے ہیں ، جو باؤنڈری پرت کو پھیلا دیتے ہیں اور ری ایکٹر سے باہر بہتے ہیں ، اور صرف ان کی جمع شدہ فلم کوٹنگ کے ساتھ ویفرز کو چھوڑ دیتے ہیں۔

چترا 1

کیمیائی بخارات جمع کرنے کے فوائد:

• کم درجہ حرارت میں اضافے کا عمل۔
• تیزی سے جمع کرنے کی شرح (خاص طور پر اے پی سی وی ڈی)۔
• سلیکن سبسٹریٹ ہونا ضروری نہیں ہے۔
• اچھ step ا قدم کوریج (خاص طور پر پی ای سی وی ڈی)۔

چترا 2
سلیکن ڈائی آکسائیڈ جمع بمقابلہ نمو

براہ کرم ، کیمیائی بخارات جمع کرنے کے بارے میں یا کسی اقتباس کی درخواست کرنے کے لئے مزید معلومات کے لئےایس وی ایم سے رابطہ کریںآج ہماری سیلز ٹیم کے ممبر سے بات کرنے کے لئے۔

سی وی ڈی کی اقسام

lpcvd

کم پریشر کیمیائی بخارات جمع کرنا دباؤ کے بغیر ایک معیاری کیمیائی بخارات جمع کرنے کا عمل ہے۔ ایل پی سی وی ڈی اور دیگر سی وی ڈی طریقوں کے درمیان اہم فرق جمع درجہ حرارت ہے۔ ایل پی سی وی ڈی فلموں کو جمع کرنے کے لئے اعلی ترین درجہ حرارت کا استعمال کرتا ہے ، عام طور پر 600 ° C سے زیادہ۔

کم دباؤ کا ماحول ایک بہت ہی یکساں فلم بناتا ہے جس میں اعلی طہارت ، تولیدی صلاحیت اور یکسانیت ہوتی ہے۔ یہ 10 سے 1000 PA کے درمیان پیش کیا جاتا ہے ، جبکہ معیاری کمرے کا دباؤ 101،325 پا ہے۔ درجہ حرارت ان فلموں کی موٹائی اور پاکیزگی کا تعین کرتا ہے ، جس کے نتیجے میں زیادہ درجہ حرارت زیادہ گاڑھا اور زیادہ خالص فلموں کا ہوتا ہے۔

• عام فلمیں جمع:پالیسیلیکن، ڈوپڈ اور نہ ختم ہونے والے آکسائڈز ،نائٹرائڈس.

pecvd

پلازما بڑھا ہوا کیمیائی بخارات جمع ایک کم درجہ حرارت ، اعلی فلم کثافت جمع کرنے کی تکنیک ہے۔ PECVD پلازما کے اضافے کے ساتھ ایک CVD ری ایکٹر میں ہوتا ہے ، جو جزوی طور پر آئنائزڈ گیس ہے جس میں ایک اعلی مفت الیکٹران مواد (~ 50 ٪) ہوتا ہے۔ یہ ایک کم درجہ حرارت جمع کرنے کا طریقہ ہے جو 100 ° C - 400 ° C کے درمیان ہوتا ہے۔ پی ای سی وی ڈی کو کم درجہ حرارت پر انجام دیا جاسکتا ہے کیونکہ مفت الیکٹرانوں کی توانائی ویفر سطح پر فلم بنانے کے لئے رد عمل گیسوں کو الگ کرتی ہے۔

یہ جمع کرنے کا طریقہ پلازما کی دو مختلف اقسام کا استعمال کرتا ہے:

1. سردی (غیر تھرمل): الیکٹرانوں کا غیر جانبدار ذرات اور آئنوں سے زیادہ درجہ حرارت زیادہ ہوتا ہے۔ یہ طریقہ جمع چیمبر میں دباؤ کو تبدیل کرکے الیکٹرانوں کی توانائی کا استعمال کرتا ہے۔
2. تھرمل: الیکٹران وہی درجہ حرارت ہیں جو جمع چیمبر میں ذرات اور آئنوں کی طرح ہیں۔

جمع چیمبر کے اندر ، ریڈیو فریکوینسی وولٹیج ویفر کے اوپر اور نیچے الیکٹروڈ کے درمیان بھیجا جاتا ہے۔ اس سے الیکٹرانوں کا الزام عائد ہوتا ہے اور مطلوبہ فلم کو جمع کرنے کے لئے انہیں ایک پُرجوش حالت میں رکھا جاتا ہے۔

پی ای سی وی ڈی کے ذریعہ بڑھتی ہوئی فلموں کے چار اقدامات ہیں:

1. جمع چیمبر کے اندر الیکٹروڈ پر ٹارگٹ ویفر رکھیں۔
2. چیمبر میں رد عمل گیس اور جمع کرنے والے عناصر متعارف کروائیں۔
3. الیکٹروڈ کے مابین پلازما بھیجیں اور پلازما کو مشتعل کرنے کے لئے وولٹیج لگائیں۔
4. رد عمل والی گیس ایک پتلی فلم بنانے کے لئے ویفر سطح کے ساتھ الگ اور رد عمل ظاہر کرتی ہے ، بائی پروڈکٹس چیمبر سے باہر پھیلا دیتے ہیں۔

• عام فلمیں جمع: سلیکن آکسائڈز ، سلیکن نائٹریڈ ، امورفوس سلیکن ،سلیکن آکسینیٹرائڈس (سی_xO_yN_z).

apcvd

وایمنڈلیی پریشر کیمیائی بخارات جمع ایک کم درجہ حرارت جمع کرنے کی تکنیک ہے جو معیاری ماحولیاتی دباؤ میں بھٹی میں ہوتی ہے۔ دوسرے سی وی ڈی طریقوں کی طرح ، اے پی سی وی ڈی کو بھی جمع چیمبر کے اندر ایک پیشگی گیس کی ضرورت ہوتی ہے ، پھر درجہ حرارت آہستہ آہستہ بڑھتا ہے تاکہ ویفر سطح پر رد عمل کو اتپریرک کیا جاسکے اور ایک پتلی فلم جمع کروائیں۔ اس طریقہ کار کی سادگی کی وجہ سے ، اس کی شرح بہت زیادہ ہے۔

• عام فلموں میں جمع: ڈوپڈ اور ان نہ ختم ہونے والی سلیکن آکسائڈز ، سلیکن نائٹرائڈس۔ میں بھی استعمال کیا جاتا ہےannealing.

ایچ ڈی پی سی وی ڈی

اعلی کثافت پلازما کیمیائی بخارات جمع پی ای سی وی ڈی کا ایک ورژن ہے جو اعلی کثافت پلازما کا استعمال کرتا ہے ، جو وفرز کو جمع کرنے والے چیمبر کے اندر اس سے بھی کم درجہ حرارت (80 ° C-150 ° C کے درمیان) کے ساتھ رد عمل ظاہر کرنے کی اجازت دیتا ہے۔ یہ ایک ایسی فلم بھی بناتا ہے جس میں خندق بھرنے کی زبردست صلاحیتیں ہیں۔

• عام فلمیں جمع: سلیکن ڈائی آکسائیڈ (سی آئی او₂) ، سلیکن نائٹریڈ (سی₃N₄، ،سلیکن کاربائڈ (sic).

sacvd

subatmospheric دباؤ کیمیائی بخارات جمع دوسرے طریقوں سے مختلف ہے کیونکہ یہ معیاری کمرے کے دباؤ سے نیچے ہوتا ہے اور اوزون استعمال کرتا ہے (O₃) رد عمل کو اتپریرک کرنے میں مدد کرنا۔ جمع کرنے کا عمل ایل پی سی وی ڈی کے مقابلے میں زیادہ دباؤ پر ہوتا ہے لیکن اے پی سی وی ڈی سے کم ، تقریبا 13 13،300 PA اور 80،000 PA کے درمیان SACVD فلموں میں اعلی جمع ہونے کی شرح ہوتی ہے اور جس میں درجہ حرارت میں تقریبا 490 ° C تک اضافہ ہوتا ہے ، جس مقام پر یہ کم ہونا شروع ہوتا ہے۔

• عام فلمیں جمع:بی پی ایس جی، پی ایس جی ،ٹیوس.

شینڈونگ ژونگپینگ اسپیشل سیرامکس کمپنی ، لمیٹڈ چین میں سلیکن کاربائڈ کے سب سے بڑے سیرامک ​​نئے مادی حل میں سے ایک ہے۔ ایس آئی سی ٹیکنیکل سیرامک: موہ کی سختی 9 ہے (نیو موہ کی سختی 13 ہے) ، کٹاؤ اور سنکنرن کے خلاف عمدہ مزاحمت کے ساتھ ، بہترین رگڑ-مزاحمت اور اینٹی آکسیڈیشن۔ ایس آئی سی پروڈکٹ کی خدمت زندگی 92 ٪ ایلومینا میٹریل سے 4 سے 5 گنا لمبی ہے۔ RBSIC کا MOR SNBSC سے 5 سے 7 گنا ہے ، اسے زیادہ پیچیدہ شکلوں کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے۔ کوٹیشن کا عمل تیز ہے ، ترسیل وعدہ کے مطابق ہے اور معیار کسی سے پیچھے نہیں ہے۔ ہم ہمیشہ اپنے مقاصد کو چیلنج کرنے میں برقرار رہتے ہیں اور معاشرے کو اپنے دلوں کو واپس دیتے ہیں۔