CVD كىنو سىرلىرىغا SIC نىڭ SIC PACTRATION

خىمىيىلىك ھور ئامبار

خىمىيىلىك ھۈمىگە ئامانەت قويۇش ئۆسۈش جەريانى تۆۋەن تېمپېراتۇرا, سېلىشتۇرغاندا, سېلىشتۇرغاندا تېخىمۇ يۇقىرى ئۆسۈش نىسبىتى بارThirmal Oxide. ئۇ يەنە نۇرغۇن نېپىز يىرگىنچلىك دىئوكارىد قەۋىتى پەيدا قىلىدۇ, چۈنكى بۇ فىلىم يېتىلگەندىن باشقا, ئەمەس. بۇ جەريان يۇقىرى توكتا قارشىلىق بىلەن كىنو ئىشلەپ چىقىرىدۇ, بۇ نۇرغۇن قوللىنىشچان پروگراممىلاردا پايدىلىنىپ شەخسىي قوللىنىشچان ئورۇنلاردا ئىشلىتىشكە پايدىلىق.

خىمىيىلىك ھور ئامورتى (cvd) ئوكسىد لازىم بولغاندا سىرتقى قەۋەت لازىم بولغاندا, كرېمنىي فاروپتىك بولالمايدۇ.

خىمىيىلىك ھور ئامانەت مىقدارىنىڭ ئېشىشى:

CVDنىڭ ئۆسۈشى گاز ياكى ھور ياكى توغرىسىغا توغرىلانغاندا تۆۋەن تېمپېراتۇرا رېئاكتورغا كىرگۈزۈلگەندە يۈز بېرىدۇ. گاز سىستېمىسى ئارقىلىق ھەرىكەتلەندۈرۈپ, دولقۇن تېيىلىش يۈزىدە. بۇ تەستىقلىغۇچىلار رېئاكتور ئارقىلىق يۆتكىلىپ, كۈچۈك ئۇلارنى ئۇلارنىڭ يۈزىگە سۈمۈرۈۋالىدۇ.

سىستېمىلار ھەر بىر سىستېما تارقاتقاندىن كېيىن, خىمىيىلىك رېئاكسىيە تارماقلارنىڭ يۈزىنى بويلاپ باشلىنىدۇ. بۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارال بولىدۇ, جەرياندا داۋاملاشغاندا, ئاراللار ئۆگەنگەن فىلىمنى بارلىققا كەلتۈرىدۇ. خىمىيىلىك رېئاللىق يەم-خەشەك يۈزىگە Biproزىمگىقى ياساپ, چېگراسىنىڭ ئۇدۇلىدىكى ئارتىسلار ۋە رېئاكتوردىن چىقىپ چىقىدىغان, ئامانەت قويۇلغان كىنو سىرياسى بىلەن قۇتقۇزۇش.

Fignt

خىمىيىلىك ھور ئامبىرىنىڭ پايدىسى:

• تۆۋەن تېمپېراتۇرانىڭ ئېشىش جەريانى.
• تېز ئامانەت قويۇش نىسبىتى (بولۇپمۇ APCVD).
• كرېمنىي فۇنكسىيەسى بولۇشى ناتايىن.
• ياخشى قەدەم قاپلىنىش (بولۇپمۇ POCVD).

Flast 2
كرېمنىي DIOXIDE PACTION PASILE PACTION

خىمىيىلىك ھومان ئامانەت قويۇش ياكى باھا تەلەپ قىلىش ئۈچۈن تېخىمۇ كۆپ ئۇچۇرلارغا ئېرىشىش ئۈچۈنSvmبۈگۈن سېتىش گۇرۇپپىسىنىڭ ئەزاسى بىلەن سۆزلەش.

CVD نىڭ تۈرلىرى

Lccvd

تۆۋەن بېسىملىق خىمىيىلىك ۋومژان ئىشلىتىلىۋاتقان ئۆلچەملىك خىمىيىلىك ۋاركەت قىسمى بېسىملىق ھور ئامبار تىياتىرلىنىش جەريانى. LCCVD ۋە باشقا CVD ئۇسۇللىرى ئوتتۇرىسىدىكى ئاساسلىق پەرق بولسا, ئاشلىق تېمپېراتۇرىسى. LPCVD ئەڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرىنى ئىشلىتىپ, ئەڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرىنى ئىشلىتىدۇ, ئادەتتە 600 ° C دىن يۇقىرى.

تۆۋەن بېسىمدىكى مۇھىت يۇقىرى ساپلىق, كۆپەيتىش ۋە كۆپەيتىش ۋە مىخلاش كۈچىگە ئىگە. بۇ 10,000 pa ئارىسى, ئۆلچەملىك ئۆي بېسىمى 101 مىڭ 525 PA. تېمپېراتۇرا بۇ فىلىملەرنىڭ قېلىنلىقى ۋە پاكلىقلىرىنى بەلگىلەيدۇ, يۇقىرى تىپتىكى ئۆسۈش ئېغىزى قېلىنكىلار بىلەن تېخىمۇ ساپ فىرانسۇزچە بەلگىلەيدۇ.

• كۆپ ئۇچرايدىغان فىلىملەر ئامانەت قويۇلغان:polysilicon, DOPPED & Sxited oxides,nitrides.

Pecvd

Plasma كۈچەيتىلگەن پوميانىڭ ئىشلىتىلىش تۆۋەن تېمپېراتۇرا, يۇقىرى فىلىم تەۋرەتچانلىق تېخنىكىسى. PECVD پلازما قوشۇش بىلەن PVD رېئاكتورىدا بولۇپ, بولۇپ, يۇقىرى ھەقسىز ئېلېكترونلۇق مەزمۇن (~% 50). بۇ 100 ° C دىن 400 ° C ئارىسىدىكى تۆۋەن تېمپېراتۇرا ئامىللىرى ئامانەت قويۇش ئۇسۇلى. PECVD تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا ئېلىپ بېرىشقا بولىدۇ, چۈنكى ھەقسىز ئېلېكتر ئېنېرگىيىسىدىن ئايرىلىدۇ.

بۇ ئامانەت قويۇش ئۇسۇلى ئوخشىمىغان ئىككى خىل بىر خىل پىلاستىنكا ئىشلىتىدۇ:

1. سوغۇق (ئىسسىقلىقسىز): ئېلېكترونلار بىتەرەپ زەررىچىلەر ۋە ئىئوندىنمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا بار. بۇ ئۇسۇل توك قاچىلاش ماشىنىسىنىڭ بېسىمىنى ئۆزگەرتىش ئارقىلىق ئېلېكترونلارنى ئېنېرگىيەنى ئىشلىتىدۇ.
2. ئىسسىقلىق: ئېلېكترونلار ئامبىرىتنىڭ زەررىچىلىرى ۋە ئىئانە قىلغۇچىلار.

ئامانەت قويۇش ئۆيىنىڭ ئىچىدە Rado-Frect توك قاچىلىغۇچ ئارىسىدا ۋە wafers نىڭ ئاستىدىكى. بۇ تاللانغان فىلىمنى ئامانەت قويۇش ئۈچۈن بۇ ھەق ئالىدۇ.

PECVD ئارقىلىق فىلىم تولۇقلايدىغان تۆت قەدەم بار:

1. توك قاچىلاش ئۆيىنىڭ ئىچىدە ئېلېكترودنىڭ نىشانىغا ۋاپا قىلىڭ.
2. ئامبارغا رېئاكتىپ ئوقيا ۋە ئامانەت قويغۇچى ئېلېمېنتلارنى تونۇشتۇرۇڭ.
3. پلاستىنكا بىلەن پلاستىنكا بىلەن پلاستىنكا ئەۋەتىڭ.
4. رېئاكتىپ گرافىك تەبىئىي گازنى پارچىلاش ۋە ۋافېر يۈزى بىلەن پارچىلايدۇ ۋە يەنە نېپىز فىلىمى ھاسىل قىلىدۇ

• كۆپ ئۇچرايدىغان تورما: Silveon زاپىسى, سىلئيون Nitrite, Amorphous Siliton,Silicon Oxynitrides (si_xO_yN_z).

Apcvd

ئاتموسفېرا بېسىمى خىمىيىلىك ھور ئامبارنىڭ مائاشى تۆۋەن تېمپېراتۇرا ئامانەت قويۇش تېخنىكىسى بولۇپ, ئۆلچەملىك ئاتموسفېرا بېسىمىدا يۈز بېرىدۇ. باشقا CVD ئۇسۇلىغا ئوخشاش, APCVD ئامانەت ئۆيى ئىچىدىكى ئالدىن بەلگىلەش ئۈچۈن, ئاندىن تېمپېراتۇرا ئاستا-ئاستا ئاستا-ئاستا ئاستا ئۆرلەيدۇ ۋە نېپىز تەنھەرىكەت تۈرلىرىنى ئامانەت قويدى. بۇ خىل ئۇسۇلنىڭ ئاددىيلىقى سەۋەبىدىن, ئۇنىڭ ئامانەت نىسبىتى تولىمۇ يۇقىرى.

• كۆپ ئۇچرايدىغان تورلار ئامانەت قويۇلغان: ئۆرلەش ۋە (سولمىغان يىلان ئوكسىد ئوكسىد, سىلىسون نىرىز توغرا ئەمەس. ئىشلىتىلگەنannealing.

Hdp cvd

يۇقىرى زىچلىق پلازما خىمىيىلىك كەمپۈت ھۈنەر-ئۇچرىغانلار تېخىمۇ يۇقىرى زىچلىق پلازمىسىنى ئىشلىتىدۇ, بۇ مەغلۇبىيەتنىڭ تۆۋەن تېمپېراتۇرىسى (80 ° C دىن 150 ° C). بۇ يەنە چوڭ كۆلەملىك توڭلاتقۇنى تولدۇرىدۇ.

• كۆپ ئۇچرايدىغان فىلىملەر ئامانەت قويۇلغان: Silculeon Dixide (sio₂), Silculeon Nitride (si₃N₄),كرېمنىي كاربون (SIC).

SACVD

Subatmospheric بېسىم بېسىمى خىمىيىلىك كەم ئۇچرايدۇ₃) رېئاكسىيەگە ياردەم بېرىش. ئامانەت پۇل جەريانى LPCVD دىن يۇقىرى بېسىم ئېلىپ بېرىلىدۇ, ئەمما APCVD دىن يۇقىرى, مەسىلەن 13300 پۇڭدىن تۆۋەن, تەخمىنەن 80,000,000 PA لىق 490 سېپىز ​​ئۆرلەيدۇ, بۇ ۋاقىتتا تۆۋەنلەش باشلىنىدۇ.

• كۆپ ئۇچرايدىغان فىلىملەر ئامانەت قويۇلغان:Bpsg, Psg,Teos.

شەندۇڭ جۈنڭېڭ ئالاھىدە سېنىڭلىك جەمەتى چەكلىك شىركىتى ئەڭ چوڭ كرېمنى جرېتىكىلىق كارتون پېچەتلەشنىڭ بىرى. SIC تېخنىكا سېلىشتۇرۇش: مونىڭ قاتتىقلىقى 9 - orosion is 13), مۇنەۋۋەر سۈرئەتكە قارشى تۇرۇش نىسبىتى ئەلا. مۇنەۋۋەر سۈرەتتە - قارشىلىق قارشىلىق ۋە ئوكسىھشىي كۈچكە ئىگە. شىكايەتنىڭ مۇلازىمەت ھاياتى% 92 تىن 5 ھەسسە كۆپ. RBSCIC نىڭ مور SNBSC نىڭ 7 قېتىمدىن 7 كىچە بولغان ۋاقتى 5 نەچچە قېتىمغىچە, ئۇنى تېخىمۇ مۇرەككەپ شەكىل ئىشلىتىشكە بولىدۇ. نەقىل كەلتۈرۈش جەريانى تېز, يەتكۈزۈش ۋەدە قىلىنغان ۋە سۈپەت ئەمەس. نىشانىمىزغا جەڭگە ۋە قەلبىمىزگە قايتىڭ.