مىكرو دۇنيانىڭ كۆرۈنمەس ھەيكەلتىراشلىقى: كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرىنىڭ ئۆزەك ياساشتىكى ئېنىقلىق چوققىسىنى قانداق ساقلىغانلىقى

ئۆزەك ياساشتىكى تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىدا ، كۆرۈنمەيدىغان خاتالىق مىليون دوللار قىممىتىدىكى ۋافېرلارنى يوقىتالايدۇ. بۇ يەردىكى ھەر بىر مىكروومېتىر كۆچۈش نانوسكولى توك يولىنىڭ مۇۋەپپەقىيەتلىك ياكى مەغلۇپ بولۇشىدا ئىنتايىن مۇھىم ، بۇ ئېنىق ئۇسسۇلنى قوللايدىغان يادرو بۈگۈنكى باش پېرسوناژمىز:كرېمنىي كاربون ساپال ماتېرىيال- ئۇ مىكروسكوپ دۇنياسىدىكى مۇقىملاشتۇرغۇچى كۈچكە ئوخشايدۇ ، ئىنتايىن ناچار مۇھىتتا زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئېنىق ھايات يولىنى قوغدايدۇ.
1 C ساپال بۇيۇملار ئۆزەك بىلەن كۆرۈشكەندە: ئېنىقلىقتىكى ئاخىرقى رىقابەت
تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنىڭ ئېنىق ساپال زاپچاسلىرى بىرلا ۋاقىتتا ئۈچ رول ئوينىشى كېرەك:
ئۇلترا مۇقىم ئاساسى: ئاشكارلانغان ۋاقىتتا بىر نەچچە توننا بېسىمغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ ، ئەمما ھەرىكەتسىز ھالەتتە تۇرىدۇ.
تېمپېراتۇرا ئەۋەتكۈچى: لازېرنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق زەربىسىدە ئىسسىقلىق مۇقىملىقىنى ساقلايدۇ.
ۋاكۇئۇم قوغدىغۇچى: نۆل تەۋرىنىش مۇھىتىدا ئاتوم سەۋىيىسىنىڭ تەكشىلىكىنى ئون يىل ساقلايدۇ.
ئەنئەنىۋى مېتال ماتېرىياللار ئىسسىقلىق كېڭىيىش ۋە تارىيىش سەۋەبىدىن «مىكرو تىترەش» ھاسىل قىلىدۇ ، پولىمېر ماتېرىياللىرى پلازما چىرىشكە قارشى تۇرۇش تەس. كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرى ئۆزگىچە خرۇستال قۇرۇلمىسى بىلەن قاتتىقلىق ، ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە ئۆزگىرىشچانلىقىغا قارشى تۇرۇشتا مۇكەممەل تەڭپۇڭلۇقنى قولغا كەلتۈرۈپ ، تاش مەتبەئە ماشىنىسىنىڭ يادرولۇق زاپچاسلىرىنىڭ ئەڭ ياخشى تاللىشىغا ئايلاندى.
2 ano نانو ئېنىقلىق دەرىجىسى «كۆرۈنمەيدىغان قوغدىغۇچى»
گوللاندىيەدىكى ASML ، ياپونىيىدىكى NIKON ۋە CANON قاتارلىق ئالدىنقى قاتاردىكى تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىدا ، كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرى جىمجىت ھالدا ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش قائىدىسىنى يېزىۋاتىدۇ:
ماسكا باسقۇچى: ئالتۇنغا ئوخشاش فوتوماسكا ئېلىپ يۈرۈش ، يۇقىرى سۈرئەتلىك ھەرىكەت جەريانىدا نانومېتىر سەۋىيىسىنىڭ توغرىلىقىنى ساقلاش.
نۇر قايتۇرۇش ئەينىكى ئاستى قىسمى: يۈزىنىڭ يىرىكلىكى ئىنتايىن كىچىك ، ھەتتا ئەينەك يۈزىدىنمۇ سىلىق.
ۋاكۇئۇملۇق ئۆي: ئون يىل ئىشلەتكەندىن كېيىن ، شەكلى ئۆزگىرىشى ئىنسانلارنىڭ چېچىنىڭ مىڭدىن بىرىگە يەتمەيدۇ
بۇ ئاساسەن دېگۈدەك «ئەقىلگە قارشى تۇرۇش» مۇقىملىقى كرېمنىي كاربون ماتېرىيالىنىڭ ئۈچ گېنىدىن كەلگەن:
1. ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى نۆلگە يېقىنلىشىدۇ: «توڭلاپ قالغان ياش» -150 500 دىن 500 ℃ غىچە
2. پولاتتىن ئۈچ ھەسسە قاتتىق: زەررىچە بومبا پارتىلاشتىن كېلىپ چىققان مىكروسكوپ بۇزۇلۇشقا چىداملىق
3. ئۆزلۈكىدىن سىلىقلاش ئالاھىدىلىكى: ۋاكۇئۇملۇق مۇھىتتا مايسىز ئېنىق يەتكۈزۈشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش
3 ic يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى «جىمجىت ئىنقىلاب»
ئۆزەك ياساش جەريانى 2 نانومېتىر دەۋرىگە قەدەم قويغاندا ، كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرى تېخىمۇ كۆپ چەكنى بۆسۈپ ئۆتتى:
قوش خىزمەت جەدۋىلى: ئىككى سىستېمىنىڭ ۋاكۇئۇملۇق مۇھىتتا «ئاتوم سەۋىيىسى يەتكۈزۈش» نى تاماملىشىغا يول قويىدۇ.
EUV ئوپتىكىلىق يول سىستېمىسى: ئۇدا 13.5nm دەرىجىدىن تاشقىرى ئۇلترا بىنەپشە نۇرنىڭ بومبا ھۇجۇمىغا چىداملىق.
كۆپ ئوق ئۇلىنىش سىستېمىسى: جۇغلانما خاتالىق پەيدا قىلماي سېكۇنتتا 200 نانوسكوپ قەدەمگە يېتىش.
مەلۇم تاش مەتبەئە ماشىنىسى تەتقىق قىلىپ ئېچىش گۇرۇپپىسى سېلىشتۇرۇش سىنىقى ئېلىپ باردى: كرېمنىيلىق كاربون ساپال ساپال خىزمەت باسقۇچىنى ئىشلەتكەندىن كېيىن ، سىستېمىنىڭ ئورۇن بەلگىلەش ئېنىقلىقى% 40 ئۆستۈرۈلۈپ ، ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراش دەۋرى 3 ئايدىن 2 يىلغا ئۇزارتىلدى. بۇ ئۆزگىرىش ئۆزەكنىڭ ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىپلا قالماي ، يەنە «جۇڭگو ئۆزىكى» نىڭ ئىشلەپچىقىرىش توغرىلىقىنى تۇنجى قېتىم خەلقئارا ئۆلچەمدە ئالدىنقى ئورۇنغا قويدى.

4 laboratory تەجرىبىخانىدىن سانائەتلىشىشكە چىقىش يولى
تاش مەتبەئە دەرىجىلىك كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرىنى ياساش مىكروسكوپ دۇنياسىدا «نۇقسانسىز ئوردا» سالغانغا ئوخشايدۇ:
خام ماتېرىيال ساپلىقى: دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ كرېمنىي كاربون پاراشوكى ، يېيىشلىك تۇزدىن نەچچە مىڭ ھەسسە ساپ.
سىناش جەريانى: يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا خرۇستال ئۆسۈش يۆنىلىشىنى كونترول قىلىش.
ئالماس كېسىش قورالىدىن پايدىلىنىپ مىكرو مىكرو دەرىجىلىك ئويمىچىلىققا ئىشلىتىلىدىغان ئىنچىكە پىششىقلاپ ئىشلەش مەدەنىيەت يادىكارلىقلىرىنى ئەسلىگە كەلتۈرۈشكە ئوخشاش ۋاقىت كېتىدۇ.
مانا بۇ «ماتېرىيال ئىلمى + ئېنىقلىق ياساش» تىن ئىبارەت بۇ قوش بۆسۈش بولۇپ ، ئىلگىرى ئالەم قاتنىشى ۋە ھەربىي ئىشلار بىلەنلا چەكلىنىپ تۇرىدىغان ئالدىنقى قاتاردىكى ماتېرىياللار ھازىر رەقەملىك مەدەنىيەتنى قوللايدىغان ئاساسىي تەركىبكە ئايلاندى.
فىزىكىلىق چەككە يەتكەن بۈگۈنكى ئۆزەك ياساش جەريانىدا ، كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرى ئۆزىنىڭ «نۆل مۇرەسسە قىلىش» ئالاھىدىلىكى بىلەن ھەقىقىي ئېنىقلىقنىڭ سانلىق مەلۇماتلارنى توپلاش ئەمەس ، بەلكى ماتېرىياللارنىڭ ماھىيىتىنى ئاخىرقى كونترول قىلىش ئىكەنلىكىنى ئىسپاتلىدى. ھەر بىر ساپال تەركىبلەر مىليونلىغان نانوسكولى ھەرىكىتىنىڭ ۋەدىسىنى ئەمەلگە ئاشۇرغاندا ، بىزنىڭ كۆرىدىغىنىمىز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ تەدرىجىي تەرەققىي قىلىشى بولۇپلا قالماستىن ، بەلكى يەنە بىر دۆلەتنىڭ سانائەتنىڭ ئېنىقلىق يۇقىرى پەللىگە قاراپ تەرەققىي قىلىش ئىرادىسى.