Чип җитештерү өчен литография машиналарында күренми торган хата миллион долларлык ваферларны юкка чыгарырга мөмкин. Мондагы һәр микрометр күчерү наноскаль схемаларның уңышлары яки уңышсызлыгы өчен бик мөһим, һәм бу төгәл биюне яклаучы үзәк бүген безнең каһарман:кремний карбид керамик материал- ул микроскопик дөньяда тотрыклыландыручы көчкә охшаган, экстремаль шартларда заманча ярымүткәргеч сәнәгатенең төгәл тормыш юлын саклый.
1 C Керамика чиплары белән очрашканда: төгәллектә төп проблема
Литография машиналарының төгәл керамик компонентлары берьюлы өч роль уйнарга тиеш:
Ультра тотрыклы база: экспозиция вакытында берничә тонна басымга каршы тора, ләкин хәрәкәтсез кала.
Температура сентинель: лазерның югары җылылык шокы астында җылылык тотрыклылыгын саклый.
Вакуум сакчысы: нуль тибрәнү мохитендә ун ел дәвамында атом дәрәҗәсенең тигезлеген саклый.
Традицион металл материаллар җылылык киңәюе һәм кысылуы аркасында "микро тетрәүләр" китерәчәк, полимер материалларга плазма коррозиясенә каршы тору авыр. Кремний карбид керамикасы, уникаль кристалл структурасы белән, каты, җылылык үткәрүчәнлеге, деформация каршылыгы буенча камил баланска ирешә, аларны литография машиналарының төп компонентлары өчен иң яхшы сайлау ясый.
2 、 Нано дәрәҗәсендәге төгәллек 'күзгә күренми торган сакчы'.
Нидерландтагы ASML, Япониядә NIKON һәм CANON кебек югары дәрәҗәдәге литография машиналарында кремний карбид керамикасы төгәл җитештерү кагыйдәләрен тыныч кына язалар:
Маска этапы: алтын кебек кыйммәтле фотомаск алып бару, югары тизлектәге хәрәкәт вакытында нанометр дәрәҗәсенең урнашу төгәллеген саклау.
Рефектив көзге субстрат: өслекнең тупаслыгы бик кечкенә, хәтта көзге өслегенә караганда йомшак.
Вакуум камерасы: Ун ел кулланганнан соң, деформация кеше чәчләренең меңнән дә ким түгел
Бу "гади акылга каршы" тотрыклылык кремний карбид материалларының өч геныннан килеп чыга:
1. rылылык киңәю коэффициенты нульгә якынлаша: "туңдырылган яшь" -150 500 500 ℃
2. Корычтан өч тапкыр катырак: кисәкчәләр бомбардирациясе аркасында килеп чыккан микроскопик зыянга чыдам
3. Selfз-үзеңне майлау үзенчәлекләре: вакуум мохитендә майсыз төгәл тапшыруга ирешү
3 ic Ярымүткәргеч индустриясендә «тавышсыз революция»
Чип җитештерү процессы 2 нанометр чорына кергәч, кремний карбид керамикасы күбрәк чикләрне боза:
Ике эш таблицасы: ике системага вакуум мохитендә “атом дәрәҗәсе эстафетасын” тәмамларга мөмкинлек бирә.
EUV оптик юл системасы: 13,5нм экстремаль ультрафиолет нурының өзлексез бомбардирациясенә чыдам.
Күп күчәрне бәйләү системасы: кумулятив хаталар тудырмыйча секундына 200 наноскаль адымга ирешү.
Билгеле литография машинасы R&D командасы чагыштырма сынаулар үткәрде: кремний карбид керамик эш кисәген кулланганнан соң, системаның урнашу төгәллеге 40% ка яхшыртылды, җиһазларны тоту циклы 3 айдан 2 елга озайтылды. Бу үзгәреш чипларның җитештерү бәясен киметеп кенә калмый, "Кытай чиплары" җитештерү төгәллеген беренче тапкыр халыкара стандартлар алгы планына китерә.
4 lab Лабораториядән индустриализациягә менү юлы
Литографик класслы кремний карбид керамикасы җитештерү микроскопик дөньяда «кимчелексез сарай» төзүгә охшаган:
Чимал чисталыгы: Ультра саф кремний карбид порошогы, ашый торган тозга караганда мең тапкыр чиста.
Синтеринг процессы: югары температурада кристалл үсеш юнәлешен төгәл контрольдә тоту.
Суб микрон дәрәҗәсендә уеп ясау өчен бриллиант кисү коралларын кулланып төгәл эшкәртү культуралы калдыкларны торгызу өчен күп вакыт ала.
Нәкъ менә "материаллар фәне + төгәл җитештерү" нең икеләтә алга китеше, заманча аэрокосмик һәм хәрби сәнәгать белән чикләнгән заманча материаллар ясады, хәзер санлы цивилизацияне яклаучы төп компонентларга әйләнде.
Физик чиккә җиткән бүгенге чип җитештерү процессында кремний карбид керамикасы үзенең "нуль компромиссы" характеристикалары белән раслый, чын төгәллек мәгълүмат туплау түгел, ә материалларның асылын контрольдә тоту. Everyәрбер керамик компонент миллионлаган наноскаль хәрәкәтләр вәгъдәсен үтәгәндә, без күргәннәр ярымүткәргеч җайланмалар эволюциясе генә түгел, ә ил сәнәгатенең төгәллек чокына таба баруы.
Пост вакыты: апрель-03-2025