Silikon karbid 1893-nji ýylda tigirleri we awtoulag tormozlaryny üwemek üçin senagat abraziw serişdesi hökmünde tapyldy. 20-nji asyryň ortalarynda, SiC wafli ulanylyşy LED tehnologiýasyna goşuldy. Şondan bäri amatly fiziki aýratynlyklary sebäpli köp sanly ýarymgeçiriji programmalara ýaýrady. Bu häsiýetler ýarymgeçiriji pudagynda we daşynda giňden ulanylýar. Muruň kanuny çäklere ýeten ýaly bolup, ýarymgeçiriji pudagyndaky köp kompaniýalar geljekde ýarymgeçiriji material hökmünde kremniy karbidine seredýärler. SiC SiC-iň birnäçe polip görnüşini ulanyp öndürilip bilner, ýarymgeçiriji pudagyň içinde substratlaryň köpüsi 4H-SiC bolup, SiC bazarynyň ösmegi bilen 6H az bolýar. 4H- we 6H- kremniy karbid barada aýdylanda, H kristal panjaranyň gurluşyny görkezýär. San kristal gurluşyň içindäki atomlaryň yzygiderliligini görkezýär, bu aşakdaky SVM mümkinçilikler diagrammasynda beýan edilýär. Silikon karbid gatylygynyň artykmaçlyklary Silikon karbidini has adaty kremniniň aşaky gatlaklaryndan has köp artykmaçlygy bar. Bu materialyň esasy artykmaçlyklaryndan biri onuň gatylygydyr. Bu, ýokary tizlikde, ýokary temperaturada we / ýa-da ýokary woltly programmalarda köp sanly artykmaçlygy berýär. Silikon karbid wafli ýokary ýylylyk geçirijiligine eýe, bu bolsa ýylylygy bir nokatdan beýleki guýa geçirip bilýär. Bu, elektrik geçirijiligini we netijede SiC wafli geçmegiň umumy maksatlaryndan biri bolan miniatýurizasiýany gowulandyrýar. Malylylyk mümkinçilikleri SiC substratlary hem ýylylyk giňelmegi üçin pes koeffisiýente eýe. Malylylyk giňelişi, gyzdyrylanda ýa-da sowadylanda materialyň giňelmegi ýa-da şertnama bolmagydyr. Iň ýaýran düşündiriş, metallaryň köpüsiniň tersine hereket etse-de, sowadygyça ulalýar we gyzýarka kiçelýär. Silikon karbidiň ýylylyk giňelmegi üçin pes koeffisiýenti, gyzdyrylanda ýa-da sowadylanda ululygynda ýa-da görnüşinde düýpgöter üýtgemezligini aňladýar, bu bolsa kiçijik enjamlara ýerleşdirmek we has köp tranzistorlary bir çipe ýerleşdirmek üçin ajaýyp edýär. Bu substratlaryň ýene bir esasy artykmaçlygy, termiki zarba garşy ýokary garşylygydyr. Bu olaryň temperaturany döwmezden ýa-da döwmezden çalt üýtgetmek ukybynyň bardygyny aňladýar. Enjamlar ýasalanda aç-açan artykmaçlyk döredýär, sebäbi adaty köp kremniý bilen deňeşdirilende kremniy karbidiň ömrüni we öndürijiligini ýokarlandyrýan başga bir berklik aýratynlygy. Malylylyk mümkinçilikleriniň üstünde, gaty çydamly substrat bolup, 800 ° C-e çenli temperaturada kislotalar, aşgarlar ýa-da eredilen duzlar bilen reaksiýa bermeýär. Bu, bu substratlara amaly programmalarynda köpugurlylygy berýär we köp programmalarda köp mukdarda kremnini ýerine ýetirmek ukybyna kömek edýär. Highokary temperaturadaky güýji, 1600 ° C-den ýokary temperaturalarda howpsuz işlemäge mümkinçilik berýär. Bu, islendik ýokary temperatura amaly üçin amatly substrat bolýar.
Iş wagty: Iýul-09-2019