Substrat SiC барои рӯйпӯш кардани филми CVD

Ҷойгиршавии буғи химиявӣ

Оксиди буғҳои кимиёвӣ (CVD) як раванди афзояндаи хатӣ мебошад, ки дар он гази пешгузашта филми тунукро ба вафли реактор мегузорад. Раванди афзоиш ҳарорати паст аст ва дар муқоиса бо суръати афзоиш хеле баландтар астоксиди гармидиҳӣ. Он инчунин қабатҳои лоғартари диоксиди кремнийро ба вуҷуд меорад, зеро филм на парвариш карда мешавад, балки ҷойгир карда мешавад. Ин раванд филмеро бо муқовимати баланди электрикӣ тавлид мекунад, ки барои истифода дар IC ва дастгоҳҳои MEMS, дар байни барномаҳои дигар хеле хуб аст.

Оксиди буғи кимиёвӣ (CVD) ҳангоми зарурати қабати беруна анҷом дода мешавад, аммо субстрати кремний метавонад оксид карда нашавад.

Афзоиши буғи кимиёвӣ:

Афзоиши CVD вақте рух медиҳад, ки газ ё буғ (прекурсор) ба реактори ҳарорати паст ворид карда мешавад, ки дар он вафлиҳо амудӣ ё уфуқӣ ҷойгир шудаанд. Газ тавассути система ҳаракат мекунад ва дар рӯи вафлиҳо баробар тақсим карда мешавад. Вақте ки ин прекурсорҳо тавассути реактор ҳаракат мекунанд, вафлиҳо онҳоро ба рӯи худ ҷабб мекунанд.

Пас аз он ки прекурсорҳо дар тамоми система баробар тақсим карда мешаванд, реаксияҳои химиявӣ дар сатҳи субстратҳо оғоз мешаванд. Ин реаксияҳои кимиёвӣ ҳамчун ҷазираҳо оғоз мешаванд ва бо идомаи раванд, ҷазираҳо калон мешаванд ва якҷоя мешаванд, то филми дилхоҳро эҷод кунанд. Реаксияҳои кимиёвӣ дар рӯи пластинкаҳо ду маҳсулот ба вуҷуд меоранд, ки дар қабати сарҳадӣ паҳн мешаванд ва аз реактор берун мешаванд ва танҳо вафлиҳоро бо қабати плёнкаи ҷойгиршуда боқӣ мегузоранд.

Расми 1

Манфиатҳои пошидани буғи кимиёвӣ:

• Раванди афзоиши ҳарорати паст.
• Меъёри пасандозҳои зуд (махсусан APCVD).
• Набояд субстрати кремний бошад.
• Фарогирии хуби қадам (махсусан PECVD).

Расми 2
Ҷойгиршавии диоксиди кремний против афзоиш

Барои маълумоти бештар дар бораи пошидани буғи химиявӣ ё дархости нархнома, лутфанТамос бо SVMимрӯз барои сӯҳбат бо як узви дастаи фурӯши мо.

Намудҳои CVD

LPCVD

Ҷойгиркунии буғи кимиёвии фишори паст як раванди муқаррарии таҳшини буғи кимиёвӣ бидуни фишор аст. Фарқи асосии байни LPCVD ва дигар усулҳои CVD ҳарорати таҳшин аст. LPCVD барои гузоштани филмҳо ҳарорати баландтаринро истифода мебарад, одатан аз 600 ° C.

Муҳити фишори паст як филми хеле якхеларо бо тозагии баланд, такроршавандагӣ ва якхела эҷод мекунад. Ин дар байни 10 - 1,000 Па иҷро карда мешавад, дар ҳоле ки фишори стандартии ҳуҷра 101,325 Па аст. Ҳарорат ғафсӣ ва покии ин филмҳоро муайян мекунад ва ҳарорати баландтар дар натиҷа филмҳои ғафс ва поктар мешаванд.

• Филмҳои маъмулии пасандозшуда:полисиликон, оксидҳои иловашуда ва илованашуда,нитридхо.

PECVD

Ҷойгиркунии буғҳои кимиёвии плазма як усули гузоштани ҳарорати паст ва зичии баланди филм мебошад. PECVD дар реактори CVD бо иловаи плазма, ки гази қисман ионизатсияшуда бо миқдори зиёди электронҳои озод (~ 50%) сурат мегирад. Ин усули гузоштани ҳарорати паст аст, ки дар байни 100 ° C - 400 ° C сурат мегирад. PECVD-ро дар ҳарорати паст иҷро кардан мумкин аст, зеро энергия аз электронҳои озод газҳои реактивиро ҷудо мекунад, то дар сатҳи вафли плёнка ба вуҷуд ояд.

Ин усули ҷойгиркунӣ ду намуди плазмаи гуногунро истифода мебарад:

1. Хунук (ғайри гармӣ): электронҳо нисбат ба зарраҳо ва ионҳои нейтралӣ ҳарорати баландтар доранд. Ин усул энергияи электронҳоро тавассути тағир додани фишор дар камераи таҳшин истифода мебарад.
2. Гармӣ: электронҳо ҳароратро бо зарраҳо ва ионҳо дар камераи таҳшиншавӣ доранд.

Дар дохили камераи рехтагарӣ шиддати радиобасомад байни электродҳои боло ва поёни пластинка фиристода мешавад. Ин электронҳоро заряднок мекунад ва онҳоро дар ҳолати ҳаяҷонбахш нигоҳ медорад, то филми дилхоҳро гузорад.

Барои парвариши филмҳо тавассути PECVD чаҳор қадам вуҷуд дорад:

1. Вафли мақсаднокро дар электрод дар дохили камера ҷойгир кунед.
2. Ба камера газҳои реактивӣ ва унсурҳои таҳшинкуниро ворид кунед.
3. Дар байни электродҳо плазма фиристед ва барои ба ҳаяҷон овардани плазма шиддат диҳед.
4. Гази реактивӣ бо сатҳи пластинка ҷудо шуда, реаксия карда, як филми тунукро ба вуҷуд меорад, маҳсулоти иловаги аз камера паҳн мешаванд.

• Плёнкаҳои маъмули ҷамъшуда: оксидҳои кремний, нитриди кремний, кремнийи аморфӣ,оксинитридҳои кремний (Si_xO_yN_z).

APCVD

Ҷойгиркунии буғи кимиёвии фишори атмосферӣ як усули гузоштани ҳарорати паст аст, ки дар танӯр дар фишори стандартии атмосфера сурат мегирад. Мисли дигар усулҳои CVD, APCVD як гази пешгузаштаро дар дохили камераи таҳшин талаб мекунад, пас ҳарорат оҳиста-оҳиста баланд мешавад, то реаксияҳоро дар сатҳи вафли таҳшин кунад ва филми тунукро гузорад. Аз сабаби содда будани ин усул, он дорои суръати хеле баланд аст.

• Плёнкаҳои маъмулии пошидашуда: оксидҳои кремний ва лоғаршуда, нитридҳои кремний. Инчунин дархушбӯй.

HDP CVD

Ҷойгиршавии буғи кимиёвии плазмаи зичии баланд як версияи PECVD мебошад, ки плазмаи зичии баландтарро истифода мебарад, ки ба вафлиҳо имкон медиҳад, ки бо ҳарорати боз ҳам пасттар (байни 80 ° C-150 ° C) дар дохили камераи таҳшин реаксия кунанд. Ин инчунин филмеро эҷод мекунад, ки дорои қобилияти пур кардани хандакҳо мебошад.

• Плёнкаҳои маъмули ҷамъшуда: диоксиди кремний (SiO₂), нитриди кремний (Si₃N₄),карбиди кремний (SiC).

SACVD

Гирифтани буғи химиявии фишори зериатмосферӣ аз усулҳои дигар фарқ мекунад, зеро он дар зери фишори стандартии ҳуҷра сурат мегирад ва озонро истифода мебарад (O₃) ба катализ кардани реаксия мусоидат мекунад. Раванди таҳшинкунӣ дар фишори баландтар аз LPCVD, вале камтар аз APCVD, байни тақрибан 13,300 Па ва 80,000 Па сурат мегирад. Плёнкаҳои SACVD дорои суръати баланди таҳшиншавӣ мебошанд ва он бо баланд шудани ҳарорат то тақрибан 490 ° C беҳтар мешавад ва дар ин лаҳза он коҳиш меёбад. .

• Филмҳои маъмулии пасандозшуда:BPSG, ПСЖ,TEOS.

Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd яке аз бузургтарин ҳалли маводи нави сафолии кремний карбиди дар Чин мебошад. Сахтии техникии SiC: Сахтии Мох 9 аст (сахтии Мох 13), бо муқовимати аъло ба эрозия ва зангзанӣ, абрешими аъло - муқовимат ва зиддиоксидшавӣ. Муҳлати хидматрасонии маҳсулоти SiC нисбат ба маводи 92% гилхок аз 4 то 5 маротиба зиёдтар аст. MOR-и RBSiC аз 5 то 7 маротиба аз SNBSC аст, онро барои шаклҳои мураккабтар истифода бурдан мумкин аст. Раванди нархгузорӣ зуд аст, таҳвил ҳамон тавре ки ваъда дода шудааст ва сифат аз ҳеҷ кас дуюмдараҷа аст. Мо ҳамеша дар мубориза бо ҳадафҳои худ истодагарӣ мекунем ва дилҳои худро ба ҷомеа бармегардонем.