Дар мошинҳои литографӣ барои истеҳсоли чипҳо, хатогии ноаён метавонад вафлиҳои миллионҳо долларро нобуд созад. Ҳар як микрометри ҷойивазкунӣ дар ин ҷо барои муваффақият ё нокомии схемаҳои наномикёс муҳим аст ва аслӣ, ки ин рақси дақиқро дастгирӣ мекунад, қаҳрамони имрӯзаи мост:масолехи сафолии карбиди кремний- он ба як қувваи устуворкунанда дар ҷаҳони микроскопӣ монанд аст, ки хатти дақиқи ҳаёти саноати муосири нимноқилро дар муҳитҳои шадид муҳофизат мекунад.
1、 Вақте ки керамика бо чипҳо вомехӯрад: Мушкилоти ниҳоӣ дар дақиқӣ
Қисмҳои дақиқи сафолии мошинҳои литография бояд дар як вақт се нақш бозанд:
Пойгоҳи ултра устувор: дар лаҳзаи таъсир ба якчанд тонна фишор тоб меорад, аммо бе ҳаракат мемонад.
Наздики ҳарорат: устувории гармиро дар зери зарбаи баланди гармии лазер нигоҳ медорад.
Guardian Vacuum: ҳамвории сатҳи атомиро дар тӯли даҳ сол дар муҳити сифр ларзиш нигоҳ медорад.
Маводҳои анъанавии металлӣ аз ҳисоби васеъшавӣ ва кашиши ҳароратӣ “микро ларзишҳо” ба вуҷуд меоранд, дар ҳоле ки маводи полимерӣ ба зангзании плазма тоб овардан душвор аст. Керамикаи карбиди кремний бо сохтори беназири кристалии худ мувозинати комилро дар сахтӣ, гузаронии гармӣ ва муқовимат ба деформатсия ба даст оварда, онҳоро барои ҷузъҳои асосии мошинҳои литография интихоб мекунад.
2. Дақиқии сатҳи нано "муҳофизи ноаён"
Дар мошинҳои литографияи дараҷаи олӣ, ба монанди ASML дар Нидерландия, NIKON ва CANON дар Ҷопон, сафолҳои карбиди кремний қоидаҳои истеҳсоли дақиқро оромона аз нав менависанд:
Марҳилаи ниқоб: нигоҳ доштани фотониқоб ба қадри тилло, нигоҳ доштани дақиқии ҷойгиршавии сатҳи нанометр ҳангоми ҳаракати баланд.
Субстрати оинаи инъикоскунанда: Ноҳамвории сатҳ хеле хурд аст, ҳатто аз сатҳи оина ҳамвортар аст.
Камераи вакуумӣ: Пас аз даҳ соли истифода, деформатсия камтар аз ҳазор як мӯи инсонро ташкил медиҳад
Ин устувории қариб «зидди ақли солим» аз генҳои сегонаи маводи карбиди кремний бармеояд:
1. Коэффисиенти васеъшавии ҳароратӣ ба сифр наздик мешавад: қариб «синни яхкардашуда» аз -150 ℃ то 500 ℃
2. Се маротиба сахттар аз пӯлод: тобовар ба зарари микроскопӣ, ки дар натиҷаи бомбаборони зарраҳо ба вуҷуд омадааст
3. Хусусиятҳои худидоракунии молидан: Ба интиқоли дақиқи равған дар муҳити вакуум ноил шавед
3、 «Инқилоби хомӯш» дар саноати нимноқилҳо
Вақте ки раванди истеҳсоли чип ба давраи 2-нанометрӣ ворид мешавад, керамикаи карбиди кремний маҳдудиятҳои бештарро мешиканад:
Ҷадвали кории дугона: ба ду система имкон медиҳад, ки "релеи сатҳи атом" -ро дар муҳити вакуум анҷом диҳанд.
Системаи роҳи оптикии EUV: ба бомбаборони пайвастаи нурҳои ултрабунафш 13,5 нм тобовар аст.
Системаи пайвастагии бисёр меҳвар: ноил шудан ба 200 қадами наномикёс дар як сония бидуни тавлиди хатогиҳои ҷамъшуда.
Як гурӯҳи муайяни R&D мошини литография озмоишҳои муқоисавӣ гузаронд: пас аз истифодаи марҳилаи коркарди сафолии кремний карбиди, дақиқии ҷойгиркунии система 40% беҳтар шуд ва давраи нигоҳдории таҷҳизот аз 3 моҳ то 2 сол дароз карда шуд. Ин тағирот на танҳо арзиши истеҳсоли чипҳоро кам мекунад, балки дақиқии истеҳсолии "чипҳои чинӣ"-ро бори аввал ба дараҷаи аввал меоранд.
4、 Роҳи кӯҳнавардӣ аз лаборатория ба саноатсозӣ
Истеҳсоли керамики карбиди кремнийи дараҷаи литография ба сохтани "қасри бенуқсон" дар ҷаҳони микроскопӣ монанд аст:
Покии ашёи хом: хокаи карбиди кремний, ҳазорҳо маротиба поктар аз намаки ошӣ.
Раванди синтеризатсия: назорати дақиқи самти афзоиши кристалл дар ҳарорати баланд.
Коркарди дақиқ бо истифода аз асбобҳои буриши алмос барои кандакории сатҳи зери микрон ҳамчун барқарорсозии осори фарҳангӣ вақти зиёдро мегирад.
Маҳз ин пешравии дуҷонибаи "илми мавод + истеҳсоли дақиқ" аст, ки маводҳои пешрафтаро, ки як вақтҳо бо саноати кайҳонӣ ва ҳарбӣ маҳдуд буданд, акнун ба ҷузъҳои бунёдии тамаддуни рақамӣ табдил доданд.
Дар раванди истеҳсоли микросхемаҳои имрӯза, ки ба ҳадди физикӣ расидааст, керамикаи карбиди кремний бо хусусиятҳои "мушкилоти сифрӣ" исбот мекунад, ки дақиқии ҳақиқӣ на ҷамъ кардани маълумот, балки назорати ниҳоӣ аз болои моҳияти мавод аст. Вақте ки ҳар як ҷузъи сафолӣ ваъдаи миллионҳо ҳаракатҳои наномикроб дорад, он чизе, ки мо мебинем, на танҳо таҳаввулоти таҷҳизоти нимноқилҳо, балки азми саноати кишвар барои ҳаракат ба қуллаи дақиқ аст.
Вақти фиристодан: апрел-03-2025