சி.வி.டி பிலிம் பூச்சுக்கான எஸ்.ஐ.சி அடி மூலக்கூறு

வேதியியல் நீராவி படிவு

வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) ஆக்சைடு என்பது ஒரு நேரியல் வளர்ச்சி செயல்முறையாகும், அங்கு ஒரு முன்னோடி வாயு ஒரு மெல்லிய படத்தை ஒரு உலையில் ஒரு செதில் மீது வைக்கிறது. வளர்ச்சி செயல்முறை குறைந்த வெப்பநிலை மற்றும் ஒப்பிடும்போது அதிக வளர்ச்சி விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளதுவெப்ப ஆக்சைடு. இது மிகவும் மெல்லிய சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்குகளையும் உருவாக்குகிறது, ஏனெனில் படம் வளர்ந்ததை விட, படம் பிடிக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த செயல்முறை அதிக மின் எதிர்ப்பைக் கொண்ட ஒரு திரைப்படத்தை உருவாக்குகிறது, இது பல பயன்பாடுகளிடையே ஐ.சி.எஸ் மற்றும் எம்இஎம்எஸ் சாதனங்களில் பயன்படுத்த சிறந்தது.

வெளிப்புற அடுக்கு தேவைப்படும்போது வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) ஆக்சைடு செய்யப்படுகிறது, ஆனால் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு ஆக்ஸிஜனேற்றப்பட முடியாது.

வேதியியல் நீராவி படிவு வளர்ச்சி:

ஒரு வாயு அல்லது நீராவி (முன்னோடி) குறைந்த வெப்பநிலை உலையில் அறிமுகப்படுத்தப்படும்போது சி.வி.டி வளர்ச்சி ஏற்படுகிறது, அங்கு செதில்கள் செங்குத்தாக அல்லது கிடைமட்டமாக ஏற்பாடு செய்யப்படுகின்றன. வாயு கணினி வழியாக நகர்ந்து செதில்களின் மேற்பரப்பு முழுவதும் சமமாக விநியோகிக்கிறது. இந்த முன்னோடிகள் உலை வழியாக நகரும்போது, ​​செதில்கள் அவற்றை அவற்றின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சத் தொடங்குகின்றன.

முன்னோடிகள் கணினி முழுவதும் சமமாக விநியோகிக்கப்பட்டவுடன், ரசாயன எதிர்வினைகள் அடி மூலக்கூறுகளின் மேற்பரப்பில் தொடங்குகின்றன. இந்த வேதியியல் எதிர்வினைகள் தீவுகளாகத் தொடங்குகின்றன, மேலும் செயல்முறை தொடர்கையில், தீவுகள் வளர்ந்து விரும்பிய படத்தை உருவாக்க ஒன்றிணைகின்றன. வேதியியல் எதிர்வினைகள் செதில்களின் மேற்பரப்பில் இருதரப்பு உருவாக்குகின்றன, அவை எல்லை அடுக்கு முழுவதும் பரவுகின்றன மற்றும் உலைக்கு வெளியே பாய்கின்றன, மேலும் செதில்களை அவற்றின் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட திரைப்பட பூச்சு மூலம் விட்டுவிடுகின்றன.

படம் 1

வேதியியல் நீராவி படிவுகளின் நன்மைகள்:

• குறைந்த வெப்பநிலை வளர்ச்சி செயல்முறை.
• வேகமான படிவு வீதம் (குறிப்பாக APCVD).
• சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறாக இருக்க வேண்டியதில்லை.
• நல்ல படி கவரேஜ் (குறிப்பாக PECVD).

படம் 2
சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு படிவு எதிராக வளர்ச்சி

வேதியியல் நீராவி படிவு பற்றிய கூடுதல் தகவலுக்கு அல்லது மேற்கோளைக் கோர, தயவுசெய்துஎஸ்.வி.எம்இன்று எங்கள் விற்பனைக் குழுவின் உறுப்பினருடன் பேச.

சி.வி.டி வகைகள்

எல்பிசிவிடி

குறைந்த அழுத்த வேதியியல் நீராவி படிவு என்பது அழுத்தம் இல்லாமல் ஒரு நிலையான வேதியியல் நீராவி படிவு செயல்முறையாகும். எல்பிசிவிடி மற்றும் பிற சி.வி.டி முறைகளுக்கு இடையிலான முக்கிய வேறுபாடு படிவு வெப்பநிலை. எல்பிசிவிடி படங்களை டெபாசிட் செய்ய அதிக வெப்பநிலையைப் பயன்படுத்துகிறது, பொதுவாக 600 ° C க்கு மேல்.

குறைந்த அழுத்த சூழல் அதிக தூய்மை, இனப்பெருக்கம் மற்றும் ஒருமைப்பாடு கொண்ட மிக சீரான திரைப்படத்தை உருவாக்குகிறது. இது 10 - 1,000 PA க்கு இடையில் செய்யப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் நிலையான அறை அழுத்தம் 101,325 பா ஆகும். வெப்பநிலை இந்த படங்களின் தடிமன் மற்றும் தூய்மையை தீர்மானிக்கிறது, அதிக வெப்பநிலை தடிமனான மற்றும் தூய்மையான படங்களை ஏற்படுத்துகிறது.

• பொதுவான படங்கள் டெபாசிட் செய்யப்பட்டன:பாலிசிலிகான், டோப் & திறக்கப்படாத ஆக்சைடுகள்,நைட்ரைடுகள்.

Pecvd

பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு குறைந்த வெப்பநிலை, அதிக திரைப்பட அடர்த்தி படிவு நுட்பமாகும். பிளாஸ்மாவைச் சேர்ப்பதன் மூலம் சி.வி.டி உலையில் பி.இ.சி.வி.டி நடைபெறுகிறது, இது அதிக இலவச எலக்ட்ரான் உள்ளடக்கம் (~ 50%) கொண்ட ஓரளவு அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட வாயு ஆகும். இது குறைந்த வெப்பநிலை படிவு முறையாகும், இது 100 ° C - 400. C க்கு இடையில் நடைபெறுகிறது. பி.இ.சி.வி.டி குறைந்த வெப்பநிலையில் செய்யப்படலாம், ஏனெனில் இலவச எலக்ட்ரான்களிலிருந்து வரும் ஆற்றல் எதிர்வினை வாயுக்களை பிரித்து செதில் மேற்பரப்பில் ஒரு படத்தை உருவாக்குகிறது.

இந்த படிவு முறை இரண்டு வெவ்வேறு வகையான பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்துகிறது:

1. குளிர் (வெப்பமற்றது): நடுநிலை துகள்கள் மற்றும் அயனிகளை விட எலக்ட்ரான்கள் அதிக வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளன. இந்த முறை படிவு அறையில் அழுத்தத்தை மாற்றுவதன் மூலம் எலக்ட்ரான்களின் ஆற்றலைப் பயன்படுத்துகிறது.
2. வெப்ப: எலக்ட்ரான்கள் படிவு அறையில் உள்ள துகள்கள் மற்றும் அயனிகளின் அதே வெப்பநிலையாகும்.

படிவு அறைக்குள், ரேடியோ-அதிர்வெண் மின்னழுத்தம் செதில் மேலேயும் கீழேயும் உள்ள மின்முனைகளுக்கு இடையில் அனுப்பப்படுகிறது. இது எலக்ட்ரான்களை வசூலிக்கிறது மற்றும் விரும்பிய படத்தை டெபாசிட் செய்வதற்காக அவற்றை உற்சாகமான நிலையில் வைத்திருக்கிறது.

PECVD வழியாக வளர்ந்து வர நான்கு படிகள் உள்ளன:

1. படிவு அறைக்குள் ஒரு மின்முனையில் இலக்கு செதில் வைக்கவும்.
2. எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் படிவு கூறுகளை அறைக்கு அறிமுகப்படுத்துங்கள்.
3. மின்முனைகளுக்கு இடையில் பிளாஸ்மாவை அனுப்பவும், பிளாஸ்மாவை உற்சாகப்படுத்த மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்தவும்.
4. எதிர்வினை வாயு ஒரு மெல்லிய படத்தை உருவாக்க செதில் மேற்பரப்புடன் விலகி வினைபுரிந்து, துணை தயாரிப்புகள் அறையிலிருந்து பரவுகின்றன.

• பொதுவான படங்கள் டெபாசிட் செய்யப்பட்டன: சிலிக்கான் ஆக்சைடுகள், சிலிக்கான் நைட்ரைடு, உருவமற்ற சிலிக்கான்,சிலிக்கான் ஆக்ஸினைட்ரைடுகள் (எஸ்.ஐ._xO_yN_z).

APCVD

வளிமண்டல அழுத்தம் வேதியியல் நீராவி படிவு என்பது குறைந்த வெப்பநிலை படிவு நுட்பமாகும், இது நிலையான வளிமண்டல அழுத்தத்தில் உலையில் நடைபெறுகிறது. மற்ற சி.வி.டி முறைகளைப் போலவே, ஏபிசிவிடிக்கு படிவு அறைக்குள் ஒரு முன்னோடி வாயு தேவைப்படுகிறது, பின்னர் வெப்பநிலை மெதுவாக உயர்ந்து செதில் மேற்பரப்பில் எதிர்வினைகளை ஊக்குவிக்கவும், மெல்லிய படத்தை டெபாசிட் செய்யவும். இந்த முறையின் எளிமை காரணமாக, இது மிக உயர்ந்த படிவு விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது.

• பொதுவான படங்கள் டெபாசிட் செய்யப்பட்டன: அளவிடப்படாத மற்றும் திறக்கப்படாத சிலிக்கான் ஆக்சைடுகள், சிலிக்கான் நைட்ரைடுகள். பயன்படுத்தப்படுகிறதுஅனீலிங்.

எச்டிபி சி.வி.டி.

அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மா வேதியியல் நீராவி படிவு என்பது PECVD இன் பதிப்பாகும், இது அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்துகிறது, இது செதில்களை இன்னும் குறைந்த வெப்பநிலையுடன் (80 ° C-1550 ° C க்கு இடையில்) படிவு அறைக்குள் செயல்பட அனுமதிக்கிறது. இது சிறந்த அகழி நிரப்பு திறன்களைக் கொண்ட ஒரு படத்தையும் உருவாக்குகிறது.

• பொதுவான படங்கள் டெபாசிட் செய்யப்பட்டன: சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (சியோ₂), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (si₃N₄),சிலிக்கான் கார்பைடு (sic).

Sacvd

சபாட்மோஸ்பெரிக் பிரஷர் வேதியியல் நீராவி படிவு மற்ற முறைகளிலிருந்து வேறுபடுகிறது, ஏனெனில் இது நிலையான அறை அழுத்தத்திற்கு கீழே நடைபெறுகிறது மற்றும் ஓசோனைப் பயன்படுத்துகிறது (o₃) எதிர்வினையை ஊக்குவிக்க உதவும். படிவு செயல்முறை எல்பிசிவிடியை விட அதிக அழுத்தத்தில் நடைபெறுகிறது, ஆனால் ஏபிசிவிடியை விட குறைவாக, சுமார் 13,300 பா முதல் 80,000 பா வரை உள்ளது. SACVD படங்கள் அதிக படிவு விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் இது 490 ° C வரை வெப்பநிலை அதிகரிக்கும் போது மேம்படுகிறது, அந்த நேரத்தில் அது குறையத் தொடங்குகிறது.

• பொதுவான படங்கள் டெபாசிட் செய்யப்பட்டன:பிபிஎஸ்ஜி, Psg,TEOS.

சீனாவின் மிகப்பெரிய சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் புதிய பொருள் தீர்வுகளில் ஒன்றாகும் ஷாண்டோங் ஜோங்பெங் சிறப்பு மட்பாண்டங்கள் நிறுவனம், லிமிடெட். SIC தொழில்நுட்ப பீங்கான்: மோஹின் கடினத்தன்மை 9 (புதிய மோஹின் கடினத்தன்மை 13), அரிப்பு மற்றும் அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பு, சிறந்த சிராய்ப்பு-எதிர்ப்பு மற்றும் எதிர்ப்பு ஆக்ஸிஜனேற்றம். SIC தயாரிப்பின் சேவை வாழ்க்கை 92% அலுமினா பொருளை விட 4 முதல் 5 மடங்கு நீளமானது. RBSIC இன் MOR SNBSC ஐ விட 5 முதல் 7 மடங்கு வரை ஆகும், இது மிகவும் சிக்கலான வடிவங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படலாம். மேற்கோள் செயல்முறை விரைவானது, டெலிவரி வாக்குறுதியளிக்கப்பட்டபடி உள்ளது மற்றும் தரம் எதுவும் இல்லை. நாங்கள் எப்போதும் எங்கள் குறிக்கோள்களை சவால் செய்வதிலும், நம் இதயங்களை மீண்டும் சமூகத்திற்குத் தருகிறோம்.