CVD படல பூச்சுக்கான SiC அடி மூலக்கூறு

வேதியியல் நீராவி படிவு

வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) ஆக்சைடு என்பது ஒரு நேரியல் வளர்ச்சி செயல்முறையாகும், இதில் ஒரு முன்னோடி வாயு ஒரு உலையில் ஒரு மெல்லிய படலத்தை ஒரு உலையில் ஒரு வேஃபரில் வைக்கிறது. வளர்ச்சி செயல்முறை குறைந்த வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் ஒப்பிடும்போது மிக அதிக வளர்ச்சி விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது.வெப்ப ஆக்சைடு. படலம் வளர்க்கப்படுவதற்குப் பதிலாக அகற்றப்படுவதால் இது மிகவும் மெல்லிய சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்குகளையும் உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறை அதிக மின் எதிர்ப்பைக் கொண்ட ஒரு படலத்தை உருவாக்குகிறது, இது பல பயன்பாடுகளில் ICகள் மற்றும் MEMS சாதனங்களில் பயன்படுத்த சிறந்தது.

வெளிப்புற அடுக்கு தேவைப்படும்போது வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) ஆக்சைடு செய்யப்படுகிறது, ஆனால் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறை ஆக்ஸிஜனேற்ற முடியாமல் போகலாம்.

வேதியியல் நீராவி படிவு வளர்ச்சி:

குறைந்த வெப்பநிலை உலைக்குள் ஒரு வாயு அல்லது நீராவி (முன்னோடி) செலுத்தப்படும்போது CVD வளர்ச்சி ஏற்படுகிறது, அங்கு செதில்கள் செங்குத்தாகவோ அல்லது கிடைமட்டமாகவோ அமைக்கப்பட்டிருக்கும். வாயு அமைப்பு வழியாக நகர்ந்து செதில்களின் மேற்பரப்பு முழுவதும் சமமாக விநியோகிக்கப்படுகிறது. இந்த முன்னோடிகள் உலை வழியாக நகரும்போது, ​​செதில்கள் அவற்றை அவற்றின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சத் தொடங்குகின்றன.

முன்னோடிகள் அமைப்பு முழுவதும் சமமாக பரவியவுடன், அடி மூலக்கூறுகளின் மேற்பரப்பில் வேதியியல் எதிர்வினைகள் தொடங்குகின்றன. இந்த வேதியியல் எதிர்வினைகள் தீவுகளாகத் தொடங்குகின்றன, மேலும் செயல்முறை தொடரும்போது, ​​தீவுகள் வளர்ந்து ஒன்றிணைந்து விரும்பிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன. வேதியியல் எதிர்வினைகள் செதில்களின் மேற்பரப்பில் இரு தயாரிப்புகளை உருவாக்குகின்றன, அவை எல்லை அடுக்கு முழுவதும் பரவி உலையிலிருந்து வெளியேறி, செதில்களை அவற்றின் வைப்பு படல பூச்சுடன் விட்டுவிடுகின்றன.

படம் 1

வேதியியல் நீராவி படிவின் நன்மைகள்:

• குறைந்த வெப்பநிலை வளர்ச்சி செயல்முறை.
• வேகமான படிவு விகிதம் (குறிப்பாக APCVD).
• சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறாக இருக்க வேண்டிய அவசியமில்லை.
• நல்ல படி பாதுகாப்பு (குறிப்பாக PECVD).

படம் 2
சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு படிவு vs. வளர்ச்சி

வேதியியல் நீராவி படிவு பற்றிய கூடுதல் தகவலுக்கு அல்லது விலைப்புள்ளி கோர, தயவுசெய்துSVM-ஐத் தொடர்பு கொள்ளவும்இன்று எங்கள் விற்பனை குழு உறுப்பினருடன் பேச.

இதய நோய் வகைகள்

எல்பிசிவிடி

குறைந்த அழுத்த வேதியியல் நீராவி படிவு என்பது அழுத்தம் இல்லாமல் ஒரு நிலையான வேதியியல் நீராவி படிவு செயல்முறையாகும். LPCVD மற்றும் பிற CVD முறைகளுக்கு இடையிலான முக்கிய வேறுபாடு படிவு வெப்பநிலை ஆகும். LPCVD படலங்களை வைப்பதற்கு அதிகபட்ச வெப்பநிலையைப் பயன்படுத்துகிறது, பொதுவாக 600°C க்கு மேல்.

குறைந்த அழுத்த சூழல் அதிக தூய்மை, மறுஉருவாக்கம் மற்றும் ஒருமைப்பாடு கொண்ட மிகவும் சீரான படலத்தை உருவாக்குகிறது. இது 10 – 1,000 Pa க்கு இடையில் செய்யப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் நிலையான அறை அழுத்தம் 101,325 Pa ஆகும். வெப்பநிலை இந்த படலங்களின் தடிமன் மற்றும் தூய்மையை தீர்மானிக்கிறது, அதிக வெப்பநிலை தடிமனான மற்றும் அதிக தூய்மையான படலங்களை உருவாக்குகிறது.

• டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொதுவான படங்கள்:பாலிசிலிக்கான், கலப்படம் செய்யப்பட்ட & கலப்படம் செய்யப்படாத ஆக்சைடுகள்,நைட்ரைடுகள்.

பி.இ.சி.வி.டி.

பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு என்பது குறைந்த வெப்பநிலை, அதிக படல அடர்த்தி படிவு நுட்பமாகும். PECVD என்பது பிளாஸ்மாவைச் சேர்ப்பதன் மூலம் ஒரு CVD உலையில் நடைபெறுகிறது, இது அதிக இலவச எலக்ட்ரான் உள்ளடக்கம் (~50%) கொண்ட பகுதியளவு அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட வாயு ஆகும். இது 100°C - 400°C க்கு இடையில் நடைபெறும் குறைந்த வெப்பநிலை படிவு முறையாகும். PECVD ஐ குறைந்த வெப்பநிலையில் செய்ய முடியும், ஏனெனில் இலவச எலக்ட்ரான்களின் ஆற்றல் வினைத்திறன் மிக்க வாயுக்களைப் பிரித்து வேஃபர் மேற்பரப்பில் ஒரு படலத்தை உருவாக்குகிறது.

இந்த படிவு முறை இரண்டு வெவ்வேறு வகையான பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்துகிறது:

1. குளிர் (வெப்பமற்றது): எலக்ட்ரான்கள் நடுநிலை துகள்கள் மற்றும் அயனிகளை விட அதிக வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளன. இந்த முறை படிவு அறையில் அழுத்தத்தை மாற்றுவதன் மூலம் எலக்ட்ரான்களின் ஆற்றலைப் பயன்படுத்துகிறது.
2. வெப்பம்: எலக்ட்ரான்கள் படிவு அறையில் உள்ள துகள்கள் மற்றும் அயனிகளின் அதே வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளன.

படிவு அறைக்குள், வேஃபருக்கு மேலேயும் கீழேயும் உள்ள மின்முனைகளுக்கு இடையில் ரேடியோ-அதிர்வெண் மின்னழுத்தம் அனுப்பப்படுகிறது. இது எலக்ட்ரான்களை சார்ஜ் செய்து, விரும்பிய படலத்தை படிவு செய்வதற்காக அவற்றை ஒரு உற்சாகமான நிலையில் வைத்திருக்கிறது.

PECVD வழியாக திரைப்படங்களை வளர்ப்பதற்கு நான்கு படிகள் உள்ளன:

1. படிவு அறைக்குள் ஒரு மின்முனையில் இலக்கு வேஃபரை வைக்கவும்.
2. எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் படிவு கூறுகளை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்துங்கள்.
3. மின்முனைகளுக்கு இடையில் பிளாஸ்மாவை அனுப்பி, பிளாஸ்மாவைத் தூண்டுவதற்கு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துங்கள்.
4. வினைபுரியும் வாயு, வேஃபர் மேற்பரப்புடன் பிரிந்து வினைபுரிந்து ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகிறது, துணை தயாரிப்புகள் அறைக்கு வெளியே பரவுகின்றன.

• பொதுவாக படியெடுக்கப்படும் படலங்கள்: சிலிக்கான் ஆக்சைடுகள், சிலிக்கான் நைட்ரைடு, அமார்பஸ் சிலிக்கான்,சிலிக்கான் ஆக்சிநைட்ரைடுகள் (Si)_xO_yN_z).

ஏ.பி.சி.வி.டி.

வளிமண்டல அழுத்த வேதியியல் நீராவி படிவு என்பது ஒரு குறைந்த வெப்பநிலை படிவு நுட்பமாகும், இது நிலையான வளிமண்டல அழுத்தத்தில் ஒரு உலையில் நடைபெறுகிறது. மற்ற CVD முறைகளைப் போலவே, APCVD க்கும் படிவு அறைக்குள் ஒரு முன்னோடி வாயு தேவைப்படுகிறது, பின்னர் வெப்பநிலை மெதுவாக உயர்ந்து வேஃபர் மேற்பரப்பில் எதிர்வினைகளை வினையூக்கி ஒரு மெல்லிய படலத்தை படிவு செய்கிறது. இந்த முறையின் எளிமை காரணமாக, இது மிக அதிக படிவு விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது.

• பொதுவாக படியெடுக்கப்படும் படலங்கள்: கலப்படம் செய்யப்பட்ட மற்றும் கலப்படம் செய்யப்படாத சிலிக்கான் ஆக்சைடுகள், சிலிக்கான் நைட்ரைடுகள். மேலும் பயன்படுத்தப்படுகிறதுஅனீலிங்.

HDP சிவிடி

அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மா வேதியியல் நீராவி படிவு என்பது அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தும் PECVD இன் ஒரு பதிப்பாகும், இது செதில்கள் படிவு அறைக்குள் இன்னும் குறைந்த வெப்பநிலையுடன் (80°C-150°C க்கு இடையில்) வினைபுரிய அனுமதிக்கிறது. இது சிறந்த அகழி நிரப்பும் திறன்களைக் கொண்ட ஒரு படலத்தையும் உருவாக்குகிறது.

• பொதுவாக படிந்திருக்கும் படலங்கள்: சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO₂), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si₃N₄),சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC).

எஸ்.ஏ.சி.வி.டி.

வளிமண்டல அழுத்தத்திற்குக் கீழே வேதியியல் நீராவி படிவு நடைபெறுவதாலும், ஓசோனைப் பயன்படுத்துவதாலும் (O) மற்ற முறைகளிலிருந்து வேறுபடுகிறது.₃) வினையை வினையூக்க உதவுகிறது. படிவு செயல்முறை LPCVD ஐ விட அதிக அழுத்தத்தில் நடைபெறுகிறது, ஆனால் APCVD ஐ விட குறைவாக, சுமார் 13,300 Pa முதல் 80,000 Pa வரை. SACVD படலங்கள் அதிக படிவு விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் இது வெப்பநிலை சுமார் 490°C வரை அதிகரிக்கும் போது மேம்படுகிறது, அந்த நேரத்தில் அது குறையத் தொடங்குகிறது.

• டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொதுவான படங்கள்:பிபிஎஸ்ஜி, பி.எஸ்.ஜி.,TEOS (டீஓஎஸ்).

ஷாண்டோங் சோங்பெங் ஸ்பெஷல் செராமிக்ஸ் கோ., லிமிடெட் என்பது சீனாவின் மிகப்பெரிய சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் புதிய பொருள் தீர்வுகளில் ஒன்றாகும். SiC தொழில்நுட்ப பீங்கான்: மோவின் கடினத்தன்மை 9 (நியூ மோவின் கடினத்தன்மை 13), அரிப்பு மற்றும் அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பு, சிறந்த சிராய்ப்பு - எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு. SiC தயாரிப்பின் சேவை வாழ்க்கை 92% அலுமினா பொருளை விட 4 முதல் 5 மடங்கு அதிகம். RBSiC இன் MOR SNBSC ஐ விட 5 முதல் 7 மடங்கு அதிகம், இது மிகவும் சிக்கலான வடிவங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படலாம். மேற்கோள் செயல்முறை விரைவானது, டெலிவரி வாக்குறுதியளிக்கப்பட்டபடி உள்ளது மற்றும் தரம் எதற்கும் இரண்டாவதாக இல்லை. எங்கள் இலக்குகளை சவால் செய்வதில் நாங்கள் எப்போதும் விடாமுயற்சியுடன் இருக்கிறோம், மேலும் எங்கள் இதயங்களை சமூகத்திற்குத் திருப்பித் தருகிறோம்.