மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RXSIC, ReSIC, RSIC, R-SIC). தொடக்க மூலப்பொருள் சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகும். அடர்த்தியாக்கும் கருவிகள் பயன்படுத்தப்படவில்லை. இறுதி ஒருங்கிணைப்புக்காக பச்சை நிற காம்பாக்ட்கள் 2200ºC க்கு மேல் சூடேற்றப்படுகின்றன. இதன் விளைவாக வரும் பொருள் சுமார் 25% போரோசிட்டியைக் கொண்டுள்ளது, இது அதன் இயந்திர பண்புகளை கட்டுப்படுத்துகிறது; இருப்பினும், பொருள் மிகவும் தூய்மையானதாக இருக்கும். செயல்முறை மிகவும் சிக்கனமானது.
எதிர்வினை பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RBSIC). ஆரம்ப மூலப்பொருட்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் கார்பன் ஆகும். பச்சைக் கூறு பின்னர் 1450ºC க்கு மேல் உருகிய சிலிக்கானுடன் எதிர்வினையுடன் ஊடுருவுகிறது: SiC + C + Si -> SiC. நுண் கட்டமைப்பில் பொதுவாக சில அளவு அதிகப்படியான சிலிக்கான் உள்ளது, இது அதன் உயர் வெப்பநிலை பண்புகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. செயல்பாட்டின் போது சிறிய பரிமாண மாற்றம் ஏற்படுகிறது; இருப்பினும், சிலிக்கானின் ஒரு அடுக்கு பெரும்பாலும் இறுதிப் பகுதியின் மேற்பரப்பில் இருக்கும். ZPC RBSiC மேம்பட்ட தொழில்நுட்பத்தை ஏற்றுக்கொண்டது, உடைகள் எதிர்ப்பு புறணி, தட்டுகள், ஓடுகள், சைக்ளோன் லைனிங், தொகுதிகள், ஒழுங்கற்ற பாகங்கள், மற்றும் தேய்மானம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு FGD முனைகள், வெப்பப் பரிமாற்றி, குழாய்கள், குழாய்கள் மற்றும் பலவற்றை உருவாக்குகிறது.
நைட்ரைடு பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (NBSIC, NSIC). ஆரம்ப மூலப்பொருட்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் சிலிக்கான் பவுடர் ஆகும். SiC + 3Si + 2N2 -> SiC + Si3N4 எதிர்வினை நிகழும் நைட்ரஜன் வளிமண்டலத்தில் பச்சை காம்பாக்ட் சுடப்படுகிறது. இறுதிப் பொருள் செயலாக்கத்தின் போது சிறிய பரிமாண மாற்றத்தை வெளிப்படுத்துகிறது. பொருள் சில அளவிலான போரோசிட்டியை வெளிப்படுத்துகிறது (பொதுவாக சுமார் 20%).
நேரடி சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு (SSIC). சிலிக்கான் கார்பைடு ஆரம்ப மூலப்பொருள். அடர்த்தியாக்கும் கருவிகள் போரான் மற்றும் கார்பன் ஆகும், மேலும் அடர்த்தியானது 2200ºCக்கு மேல் திட-நிலை எதிர்வினை செயல்முறையால் ஏற்படுகிறது. தானிய எல்லைகளில் கண்ணாடி இரண்டாம் கட்டம் இல்லாததால் அதன் உயர் வெப்பநிலை பண்புகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை சிறந்தவை.
திரவ நிலை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு (LSSIC). சிலிக்கான் கார்பைடு ஆரம்ப மூலப்பொருள். யட்ரியம் ஆக்சைடு மற்றும் அலுமினியம் ஆக்சைடு ஆகியவை அடர்த்தியாக்கும் உதவிகள். ஒரு திரவ நிலை எதிர்வினை மூலம் 2100ºC க்கு மேல் அடர்த்தி நிகழ்கிறது மற்றும் ஒரு கண்ணாடி இரண்டாம் கட்டத்தில் விளைகிறது. இயந்திர பண்புகள் பொதுவாக SSIC ஐ விட உயர்ந்தவை, ஆனால் அதிக வெப்பநிலை பண்புகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை சிறப்பாக இல்லை.
சூடான அழுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (HPSIC). சிலிக்கான் கார்பைடு தூள் ஆரம்ப மூலப்பொருளாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. அடர்த்தியாக்கும் கருவிகள் பொதுவாக போரான் மற்றும் கார்பன் அல்லது யட்ரியம் ஆக்சைடு மற்றும் அலுமினியம் ஆக்சைடு ஆகும். கிராஃபைட் டை குழிக்குள் இயந்திர அழுத்தம் மற்றும் வெப்பநிலையை ஒரே நேரத்தில் பயன்படுத்துவதன் மூலம் அடர்த்தி நிகழ்கிறது. வடிவங்கள் எளிய தட்டுகள். குறைந்த அளவு சின்டரிங் எய்ட்ஸ் பயன்படுத்தப்படலாம். சூடான அழுத்தப்பட்ட பொருட்களின் இயந்திர பண்புகள் மற்ற செயல்முறைகளை ஒப்பிடும் அடிப்படையாக பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அடர்த்தியாக்கும் கருவிகளில் ஏற்படும் மாற்றங்களால் மின் பண்புகளை மாற்றலாம்.
CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (CVDSIC). இந்த பொருள் ஒரு இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையால் உருவாகிறது: CH3SiCl3 -> SiC + 3HCl. எதிர்வினை ஒரு H2 வளிமண்டலத்தின் கீழ் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, SiC ஒரு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மீது டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. செயல்முறை மிகவும் உயர் தூய்மையான பொருளை விளைவிக்கிறது; இருப்பினும், எளிய தட்டுகளை மட்டுமே செய்ய முடியும். மெதுவான எதிர்வினை நேரங்கள் காரணமாக செயல்முறை மிகவும் விலை உயர்ந்தது.
இரசாயன நீராவி கலப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு (CVCSiC). இந்த செயல்முறையானது தனியுரிம கிராஃபைட் முன்னோடியுடன் தொடங்குகிறது. மாற்றும் செயல்முறையானது கிராஃபைட் பகுதியை ஒரு இன் சிட்டு நீராவி திட-நிலை எதிர்வினைக்கு உட்படுத்துகிறது, இது ஒரு பாலிகிரிஸ்டலின், ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் முறையில் சரியான SiC ஐ உருவாக்குகிறது. இந்த இறுக்கமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை, இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மை அம்சங்கள் மற்றும் உயர் தூய்மை கொண்ட முற்றிலும் மாற்றப்பட்ட SiC பகுதியில் சிக்கலான வடிவமைப்புகளை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது. மாற்றும் செயல்முறையானது சாதாரண உற்பத்தி நேரத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் பிற முறைகளைக் காட்டிலும் செலவுகளைக் குறைக்கிறது.
இடுகை நேரம்: ஜூன்-16-2018