நுண்ணிய உலகின் கண்ணுக்குத் தெரியாத சிற்பி: சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் சிப் உற்பத்தியில் துல்லியத்தின் உச்சத்தை எவ்வாறு தக்கவைத்துக்கொள்கின்றன.

சிப் உற்பத்திக்கான லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில், ஒரு கண்ணுக்குத் தெரியாத பிழை மில்லியன் கணக்கான டாலர்கள் மதிப்புள்ள செதில்களை அழிக்கக்கூடும். இங்குள்ள ஒவ்வொரு மைக்ரோமீட்டர் இடப்பெயர்ச்சியும் நானோ அளவிலான சுற்றுகளின் வெற்றி அல்லது தோல்விக்கு முக்கியமானது, மேலும் இந்த துல்லியமான நடனத்தை ஆதரிக்கும் மையமானது இன்று நமது கதாநாயகன்:சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருள்- இது நுண்ணிய உலகில் ஒரு நிலைப்படுத்தும் சக்தியைப் போன்றது, தீவிர சூழல்களில் நவீன குறைக்கடத்தித் தொழிலின் துல்லியமான உயிர்நாடியைப் பாதுகாக்கிறது.
1、 மட்பாண்டங்கள் சில்லுகளை சந்திக்கும் போது: துல்லியத்தில் ஒரு இறுதி சவால்
லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் துல்லியமான பீங்கான் கூறுகள் ஒரே நேரத்தில் மூன்று பாத்திரங்களை வகிக்க வேண்டும்:
மிகவும் நிலையான அடித்தளம்: வெளிப்படும் நேரத்தில் பல டன் அழுத்தத்தைத் தாங்கும் ஆனால் அசைவில்லாமல் இருக்கும்.
வெப்பநிலை காவலாளி: லேசரின் அதிக வெப்ப அதிர்ச்சியின் கீழ் வெப்ப நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது.
வெற்றிடக் காப்பாளர்: பூஜ்ஜிய அதிர்வு சூழலில் பத்து ஆண்டுகளுக்கு அணு மட்ட தட்டையான தன்மையைப் பராமரிக்கிறது.
பாரம்பரிய உலோகப் பொருட்கள் வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கம் காரணமாக "மைக்ரோ ட்ரையர்களை" உருவாக்கும், அதே நேரத்தில் பாலிமர் பொருட்கள் பிளாஸ்மா அரிப்பை எதிர்ப்பது கடினம். சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள், அவற்றின் தனித்துவமான படிக அமைப்புடன், கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிதைவு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றில் சரியான சமநிலையை அடைகின்றன, இதனால் அவை லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் முக்கிய கூறுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.
2, நானோ நிலை துல்லியம் 'கண்ணுக்குத் தெரியாத மெய்க்காப்பாளர்'
நெதர்லாந்தில் ASML, ஜப்பானில் NIKON மற்றும் CANON போன்ற உயர்மட்ட லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில், சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் துல்லியமான உற்பத்தி விதிகளை அமைதியாக மீண்டும் எழுதுகின்றன:
முகமூடி நிலை: தங்கத்தைப் போன்ற மதிப்புள்ள புகைப்பட முகமூடியை எடுத்துச் செல்வது, அதிவேக இயக்கத்தின் போது நானோமீட்டர் அளவிலான நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தை பராமரித்தல்.
பிரதிபலிப்பு கண்ணாடி அடி மூலக்கூறு: மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மிகவும் சிறியது, கண்ணாடி மேற்பரப்பை விட மென்மையானது.
வெற்றிட அறை: பத்து வருட பயன்பாட்டிற்குப் பிறகு, சிதைவு மனித முடியின் ஆயிரத்தில் ஒரு பங்கிற்கும் குறைவாகவே உள்ளது.
இந்த கிட்டத்தட்ட 'பொது அறிவுக்கு எதிரான' நிலைத்தன்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களின் மூன்று மரபணுக்களிலிருந்து உருவாகிறது:
1. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் பூஜ்ஜியத்தை நெருங்குகிறது: கிட்டத்தட்ட "உறைந்த வயது" -150 ℃ முதல் 500 ℃ வரை
2. எஃகு விட மூன்று மடங்கு கடினமானது: துகள் குண்டுவீச்சினால் ஏற்படும் நுண்ணிய சேதங்களுக்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது.
3. சுய உயவு பண்புகள்: வெற்றிட சூழலில் எண்ணெய் இல்லாத துல்லியமான பரிமாற்றத்தை அடையுங்கள்.
3, குறைக்கடத்தித் துறையில் 'அமைதியான புரட்சி'
சில்லு உற்பத்தி செயல்முறை 2-நானோமீட்டர் சகாப்தத்தில் நுழைகையில், சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அதிக வரம்புகளை உடைத்து வருகின்றன:
இரட்டை பணிமேசை: இரண்டு அமைப்புகள் வெற்றிட சூழலில் "அணு நிலை ரிலேவை" முடிக்க அனுமதிக்கிறது.
EUV ஒளியியல் பாதை அமைப்பு: 13.5nm தீவிர புற ஊதா ஒளியின் தொடர்ச்சியான தாக்குதலை எதிர்க்கும்.
பல அச்சு இணைப்பு அமைப்பு: ஒட்டுமொத்த பிழைகளை உருவாக்காமல் வினாடிக்கு 200 நானோ அளவிலான படிகளை அடைதல்.
ஒரு குறிப்பிட்ட லித்தோகிராஃபி இயந்திர ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டுக் குழு ஒப்பீட்டு சோதனைகளை நடத்தியது: சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பணிப்பகுதி கட்டத்தைப் பயன்படுத்திய பிறகு, கணினி நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் 40% மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் உபகரண பராமரிப்பு சுழற்சி 3 மாதங்களிலிருந்து 2 ஆண்டுகளாக நீட்டிக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த மாற்றம் சில்லுகளின் உற்பத்திச் செலவைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், "சீன சில்லுகளின்" உற்பத்தி துல்லியத்தை முதல் முறையாக சர்வதேச தரநிலைகளின் முன்னணியில் கொண்டு வருகிறது.

4, ஆய்வகத்திலிருந்து தொழில்மயமாக்கலுக்கு ஏறும் பாதை
லித்தோகிராஃபி தர சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களை தயாரிப்பது நுண்ணிய உலகில் ஒரு 'குறைபாடற்ற அரண்மனையை' கட்டுவது போன்றது:
மூலப்பொருள் தூய்மை: மிகவும் தூய சிலிக்கான் கார்பைடு தூள், உண்ணக்கூடிய உப்பை விட ஆயிரக்கணக்கான மடங்கு தூய்மையானது.
சின்டரிங் செயல்முறை: அதிக வெப்பநிலையில் படிக வளர்ச்சி திசையின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு.
சப்-மைக்ரான் அளவிலான செதுக்கலுக்கான வைர வெட்டும் கருவிகளைப் பயன்படுத்தி துல்லியமான எந்திரமயமாக்கல், கலாச்சார நினைவுச்சின்ன மறுசீரமைப்பைப் போலவே அதிக நேரத்தை எடுக்கும்.
"பொருள் அறிவியல்+துல்லிய உற்பத்தி" என்ற இரட்டை முன்னேற்றம்தான், ஒரு காலத்தில் விண்வெளி மற்றும் இராணுவத் தொழில்களுக்கு மட்டுமே வரையறுக்கப்பட்டிருந்த அதிநவீன பொருட்களை இப்போது டிஜிட்டல் நாகரிகத்தை ஆதரிக்கும் அடிப்படை கூறுகளாக மாற்றியுள்ளது.
இன்றைய சிப் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், இயற்பியல் வரம்பை எட்டியுள்ள நிலையில், சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அதன் "பூஜ்ஜிய சமரச" பண்புகளுடன் உண்மையான துல்லியம் என்பது தரவுகளை அடுக்கி வைப்பது அல்ல, மாறாக பொருட்களின் சாரத்தின் மீதான இறுதிக் கட்டுப்பாடு என்பதை நிரூபிக்கின்றன. ஒவ்வொரு பீங்கான் கூறுகளும் மில்லியன் கணக்கான நானோ அளவிலான இயக்கங்களின் வாக்குறுதியைக் கொண்டிருக்கும்போது, ​​நாம் காண்பது குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் பரிணாமத்தை மட்டுமல்ல, ஒரு நாட்டின் தொழில்துறை துல்லியத்தின் உச்சத்தை நோக்கி நகரும் உறுதியையும் காட்டுகிறது.