Sicon carbide e ile ea fumanoa ka 1893 e le tšilafalo ea liindasteri bakeng sa mabili le li-pakets tsa likoloi. Hoo e ka bang bohareng ba lekholo la bo20 la lilemo, sesoleng se sebetsa ho hola ho kenyelletsa theknoloji ea etele. Ho tloha ka nako eo, e atolositsoe likopo tsa semiconductor ka lebaka la thepa e joalo ea 'mele. Mesebetsi ena e bonahala e le libakeng tsa eona tse fapaneng tsa ts'ebeliso ho le ka ntle ho indasteri ea semiconductor. Le molao oa Moore o hlaha ho fihlella, lik'hamphani tse ngata tse mabapi le indasteri ea senicondtor li batla ho latela semiconductor tsa bokamoso. SIC e ka hlahisoa e sebelisa pelytypes tse ngata tsa SIC, leha e le indasteri ea semiconductor, e ka ba joalo ka 4h-sc, le 'maraka oa stic o holile. Ha a bua ka 4h-le 6h- Palo e emela tatellano ea liathomo ka har'a Crystal sebopeho sa kristal, sena se hlalositsoe ho svm capater e amehang ka tlase. Melemo ea ho thatafala ha carbion carbisitness ho na le menyetla e mengata ea ho sebelisa silicon ho tšela ka ho eketsehileng ka silicon ea setso. E 'ngoe ea melemo e meholo ea boitsebiso bona. Sena se fana ka boitsebiso bo bongata, ka lebelo le phahameng, mocheso o phahameng le / kapa lits'ebetso tse phahameng tsa voltage. Li-pione tsa cralion li na le boitšoaro ba khang ea ho silafala, ho bolelang hore ba ka fetisetsa mocheso ho tloha moo ho leng teng. Sena se ntlafatsa boitšoaro ba sona sa ntlafatso 'me qetellong, e leng e' ngoe ea lipheo tse tloaelehileng tsa ho fetohela likhele tsa sephara. Ho na le bokhoni ba ho futhumatsa serifikeiti le bona ba na le mokhoa o tlase bakeng sa keketseho ea liqhomane. Keketseho ea mocheso ke palo ebile e tataisang thepa e atolositsoeng kapa likonteraka kaha e futhumatsa kapa e phumula tlase. Tlhaloso e tloaelehileng haholo ke leqhoa, leha e itšoara ka lehlakoreng le leng, ha e phela ka lehlakoreng le leng, ha e ea eketseha ha e ntse e kokota le ho hlaphoheloa ha e ntse e lla. Tekanyetso e tlase ea carbide ea silise bakeng sa keketseho ea mafura e bolela hore ha e fetohe haholo ka boholo kapa sebopeho kaha e se e loketse lisebelisoa tse nyane. Monyetla o mong o moholo oa subrate ena ke ha ho na le ho hanyetsa ho makala ha a futhumatsang. Sena se bolela hore ba na le bokhoni ba ho fetola mocheso ka potlako ea ho roba kapa ho senyeha. Sena se theha mokhoa o hlakileng ha e le lisebelisoa tse ntle tse re ntlafatsa bophelo le ts'ebetso ea silise ea setso. Ka holim'a bokhoni ba lona ba futhumetseng, ke sehlahisoa se tšoarellang haholo ebile se sa arabele ka maqheku, alkali kapa mafura a futhumetseng ho fihlela ho 800 ° C. Sena se fana ka phapang ena likopo tsa tsona le ho thusa bokhoni ba bona ba ho etsa silicon ea bongata likolong tse ngata. Matla a eona a mochesong a phahameng le a boetse a a lumella hore a sebetse ka mokhoa o sireletsehileng mochesong oa 1600 ° C. Sena se e etsa substrate e loketseng ho batla tšebeliso ea mocheso o phahameng.
Nako ea poso: Jul-09-2019