I masini lithography mo le gaosiga o chips, e mafai e se mea sese e le vaaia ona faʻaumatia ni wafers e tau i le miliona tala. O micrometer uma o le displacement iinei e taua tele mo le manuia poʻo le toilalo o nanoscale circuits, ma o le fatu e lagolagoina lenei siva saʻo o lo tatou autu autu i le aso:mea seramika silicon carbide– e pei o se malosiaga faʻamautu i le lalolagi faʻaitiitiga, e leoleoina le laina ola saʻo o le alamanuia semiconductor faʻaonaponei i siosiomaga faigata.
1. Pe a Feiloa'i Mea Omea ma Mea Fa'apala: O se Lu'itau Sili i le Sa'o
E manaʻomia e vaega seramika saʻo o masini lithography ona faia ni matafaioi se tolu i le taimi e tasi:
Fa'avae mautu tele: e tatalia le tele o tone o le mamafa i le taimi e fa'aalia ai ae e le minoi.
Leoleo o le vevela: tausia le mautu o le vevela i lalo o le te'i vevela maualuga o le laser.
Vacuum Guardian: e faatumauina le lamolemole o le tulaga atomika mo le sefulu tausaga i se siosiomaga e leai se gatete.
O mea u'amea masani o le a maua ai ni "micro tremors" ona o le fa'alauteleina ma le fa'apu'upu'uina o le vevela, ae o mea polymer e faigata ona tete'e atu i le plasma corrosion. O keramika silicon carbide, fa'atasi ai ma lo latou fausaga tulaga ese o le tioata, e ausia ai se paleni lelei atoatoa i le ma'a'a, le fa'avevela o le eletise, ma le tete'e atu i le fa'aleagaina, ma avea ai ma filifiliga sili mo vaega autu o masini lithography.
2, 'Leoleo e le vaaia' sa'o lelei i le tulaga Nano
I masini vali ata sili ona lelei e pei o le ASML i Netherlands, NIKON ma le CANON i Iapani, o loʻo toe tusia filemu e le silicon carbide ceramics tulafono o le gaosiga saʻo:
Vaega o le ufimata: o lo'o tauaveina se ufimata ata e tutusa lona tau ma le auro, ma tausia le sa'o o le tulaga o le nanometer i le taimi o le gaioiga i le saoasaoa maualuga.
Mea e fai i le fa'ata e atagia mai ai le ata: E matuā la'itiiti lava le ma'a'a o le laualuga, e sili atu ona lamolemole nai lo le laualuga o le fa'ata.
Potu e leai se ea e fa'aogaina ai le masini e fa'amama ai le ea: A mae'a tausaga e sefulu o le fa'aaogaina, o le fa'aleagaina e itiiti ifo i le tasi vaeafe o le lauulu o le tagata
O lenei tulaga mautu e toetoe lava a 'fa'asaga i le mafaufau masani' e mafua mai i kenera e tolu o mea silicon carbide:
1. O le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela e latalata i le zero: toetoe lava o le "tausaga fa'a'aisa" mai le -150 ℃ i le 500 ℃
2. E tolu taimi e sili atu le malosi nai lo le u'amea: e tete'e atu i fa'aleagaina laiti e mafua mai i le pa'ū o fasi mea laiti
3. Uiga fa'asusu e ia lava: Ausia le fa'asalalauga sa'o e aunoa ma le suau'u i se siosiomaga e leai se masini e fa'asu'i ai
3. O le 'suiga filemu' i le alamanuia semiconductor
A o ulufale atu le faagasologa o le gaosiga o chips i le vaitaimi o le 2-nanometer, o loʻo solia e le silicon carbide ceramics nisi tapulaʻa:
Laulau galue lua: e mafai ai e faiga e lua ona fa'amae'a le "atomic level relay" i se siosiomaga gaogao.
Faiga o le auala opitika EUV: tete'e i le fa'aauau pea ona pa'i atu i le malamalama ultraviolet ogaoga e 13.5nm.
Faiga feso'ota'iga tele-axis: ausiaina o la'asaga nanoscale e 200 i le sekone e aunoa ma le fa'atupuina o ni mea sese fa'aputu.
Ua faia e se vaega faapitoa o R&D o masini lithography ni suega faatusatusa: ina ua maeʻa ona faʻaaogaina se vaega o le silicon carbide ceramic workpiece, ua faʻaleleia atili le saʻo o le tulaga o le masini i le 40%, ma ua faʻalauteleina le taamilosaga o le tausiga o masini mai le 3 masina i le 2 tausaga. O lenei suiga e le gata ina faʻaitiitia ai le tau o le gaosiga o chips, ae ua aumaia ai foʻi le saʻo o le gaosiga o "chips Saina" i le tulaga muamua o tulaga faʻavaomalo.
4, O le ala e aʻe ai mai le fale suʻesuʻe i le faʻatupuina o alamanuia
O le gaosiga o keramika silicon carbide e faia i le lithography e pei o le fausiaina o se 'maota e leai se faaletonu' i se lalolagi microscopic:
Mama o mea mata: Pauta silicon carbide matuā mama, e faitau afe taimi e sili atu le mama nai lo le masima 'aina.
Fa'agasologa o le sintering: pulea sa'o o le itu e tuputupu a'e ai le tioata i le vevela maualuga.
E tutusa le umi e alu ai i le masini e tipi ai taimane i le sa'o atoatoa e fa'aaoga ai meafaigaluega vaneina i ni vaega laiti e pei o le taimi e alu ai ma le toe fa'aleleia o mea tuai o aganuu.
O lenei alualu i luma faalua o le "faasaienisi o meafaitino + gaosiga sa'o" ua avea ai meafaitino fa'aonaponei, ia sa fa'atapula'aina muamua i pisinisi tau va'alele ma le militeli, ua avea nei ma vaega autu e lagolagoina ai le lalolagi fa'atekinolosi.
I le faiga o le gaosiga o chips i aso nei, lea ua oʻo atu i le tulaga faʻaletino, ua faʻamaonia ai e le silicon carbide ceramics i ona uiga "leai se faʻaletonu" e faʻapea o le saʻo moni e le o le faʻaputuina o faʻamatalaga, ae o le pulea atoatoa o le uiga moni o meafaitino. Pe a tauaveina e vaega taʻitasi o le seramika le folafolaga o le faitau miliona o gaioiga nanoscale, o le mea tatou te vaʻaia e le gata o le alualu i luma o meafaigaluega semiconductor, ae faʻapea foi le naunautaʻiga o le alamanuia a se atunuʻu e agai atu i le tumutumuga o le saʻo.
Taimi na lafoina ai: Ape-03-2025