I masini lithography mo le gaosiga o chip, o se mea sese e le vaaia e mafai ona faʻaumatia ai wafers e faitau miliona tala lona tau. O micrometer uma o suiga iinei e taua tele i le manuia poʻo le toilalo o le nanoscale circuits, ma o le autu e lagolagoina ai lenei siva saʻo o lo tatou tagata autu i aso nei:silicon carbide mea keramika- e pei o se malosi faʻamautu i le lalolagi microscopic, puipuia le saʻo olaola o alamanuia semiconductor faʻaonapo nei i siosiomaga ogaoga.
1、 Pe a Feiloai Ceramic Chips: O se Luʻitau Sili i le Saʻo
O vaega sima sa'o o masini lithography e mana'omia ona faia ni matafaioi se tolu i le taimi e tasi:
Fa'avae matua mautu: e tatalia le tele o tone o le mamafa i le taimi e fa'aalia ai ae tumau pea le gaioi.
Temperature sentinel: faatumauina le mautu vevela i lalo o le maualuga vevela faate'ia o leisa.
Vacuum Guardian: fa'atumauina le tulaga fa'amafola o atomic mo le sefulu tausaga i se si'osi'omaga e leai se vibration.
O mea u'amea masani o le a maua ai le "micro tremors" ona o le faʻalauteleina o le vevela ma le faʻaitiitia, ae o mea polymer e faigata ona tetee i le pala o le plasma. Silicon carbide ceramics, faatasi ai ma lo latou fausaga tioata tulaga ese, ausia se paleni atoatoa i le maaa, conductivity vevela, ma deformation tetee, avea ai i latou ma filifiliga sili mo vaega autu o masini lithography.
2、 Nano tulaga sa'o 'le vaaia le tino'
I le pito i luga masini lithography e pei o le ASML i Netherlands, NIKON ma CANON i Iapani, silicon carbide ceramics o loʻo toe tusia filemu tulafono o le gaosiga saʻo:
Laasaga ufimata: ave se ufimata e tutusa lona tau ma le auro, fa'atumauina le sa'o sa'o o le fa'atulagaina o le nanometer i le taimi o fegasoloa'iga maualuga.
Mea fa'aata fa'ata: E matua la'ititi le talatala o luga, e sili atu le lamolemole nai lo le fa'ata.
Potu gaogao: A maeʻa le sefulu tausaga o faʻaoga, o le deformation e itiiti ifo i le tasi afe o le lauulu o le tagata
Ole mautu lea e toetoe lava a 'anti common sense' e afua mai i kenera e tolu o mea fa'amea kasa silicon:
1. O le aofa'i o le fa'alauteleina o le vevela e latalata ile zero: toetoe lava "tausaga malulu" mai le -150 ℃ i le 500 ℃
2. Faatoluina sili atu le malosi nai lo le uamea: e tetee atu i le faaleagaina o mea laiti e mafua mai i le pomuina o ni vaega
3. Uiga o le lubrication a le tagata lava ia: Ausia le suauʻu-saʻo saʻo faʻasalalau i totonu o se siosiomaga gaogao
3、 Le 'suiga leoa' i le alamanuia semiconductor
A'o o'o atu le fa'agasologa o le gaosiga o chip i le vaitaimi o le 2-nanometer, o lo'o malepe le tele o tapula'a le sima carbide silicon:
Lua laulau faigaluega: fa'atagaina faiga e lua e fa'amae'a ai le "tulaga fa'aatomika" i totonu o se si'osi'omaga gaogao.
EUV auala fa'apipi'i: fa'asa'o i le fa'ao'o fa'aauauina o le 13.5nm malamalama tele ultraviolet.
Feso'ota'iga feso'ota'iga axis tele: ausia 200 nanoscale laasaga i le sekone e aunoa ma le fa'atupuina o mea sese fa'aopoopo.
O se vaega o le R&D o masini lithography na faia ni suʻega faʻatusatusa: a maeʻa ona faʻaaogaina se laʻasaga o mea faigaluega sima carbide, ua faʻaleleia atili le saʻo o le faʻatulagaina i le 40%, ma ua faʻalauteleina le taamilosaga o meafaigaluega mai le 3 masina i le 2 tausaga. O lenei suiga e le gata ina faʻaitiitia ai le tau o le gaosiga o tupe meataalo, ae faʻapea foʻi ona aumaia le saʻo o le gaosiga o "Chinese chips" i luma o tulaga faʻavaomalo mo le taimi muamua.
4、 Le ala a'e mai falesuesue i alamanuia
O le gaosiga o le lithography grade silicon carbide ceramics e pei o le fausiaina o se 'olo e le pona' i le lalolagi microscopic:
Fa'amama mea mata'utia: E sili atu le mama silicon carbide pauta, afe taimi sili atu nai lo masima taumafa.
Fa'agasologa fa'asolo: fa'atonu sa'o le fa'atonuga o le tuputupu a'e tioata i le vevela maualuga.
O le fa'aoga sa'o lelei e fa'aaoga ai mea faigaluega tipi taimane mo le vaneina o le la'ititi micron e alu ai le tele o le taimi e pei o le toe fa'aleleia o mea fa'aleaganu'u.
O le tulaga lua lea o le "mea fa'asaienisi + sa'o gaosiga" na faia ai mea fa'apitoa, lea sa fa'atapula'aina i le va'alele ma alamanuia a le militeri, ua avea nei ma vaega fa'avae e lagolagoina ai le fa'afuainumera fa'atekinolosi.
I le faagasologa o le gaosiga o chip i aso nei, lea ua oʻo i le tapulaʻa faaletino, faʻamaonia e le silicon carbide ceramics ma ona uiga "zero compromise" o le saʻo moni e le o le faʻaputuina o faʻamaumauga, ae o le pule sili i le aano o mea. Pe a tauaveina uma vaega sima le folafolaga o le faitau miliona o nanoscale gaoioiga, o le mea tatou te vaʻaia e le gata o le faʻaleleia o masini semiconductor, ae faʻapea foʻi ma le faʻamoemoe o le alamanuia a le malo e agai atu i le tumutumu o le saʻo.
Taimi meli: Apr-03-2025