سي وي ڊي فلمي ڪوٽنگ لاء SIC سبسڪيٽ

ڪيميائي وانپ جمع ڪرائڻ

ڪيميائي وانپ جمع ڪرائڻ (سي وي ڊي) آڪسائيڊ هڪ ليڪورس جو عمل آهي جتي هڪ ابتدائي گيس هڪ ريڪٽر ۾ هڪ ريڪٽر تي هڪ ريڪٽر تي هڪ پتلي فلم جمع ڪري ٿو. واڌ جو عمل گهٽ درجه حرارت آهي ۽ انهي جي مقابلي ۾ گهڻي واڌ جي شرح آهيحرارتي آڪسائيڊ. اهو پڻ گهڻو پتلي سلڪون ڊاء آڪسائيڊ ليڊر پيدا ڪندو آهي ڇاڪاڻ ته فلم جمع ٿي وئي آهي، بلڪه پوڙها ٿيڻ بدران. هي عمل تيز برقي هدايتڪارسي سان هڪ فلمي پيدا ڪندو آهي، جيڪو ڪيترن ئي ٻين ايپليڪيشنن ۾ استعمال لاء وڏو آهي، ڪيترن ئي ٻين ايپليڪيشنن جي وچ ۾ آهي.

ڪيميائي وانپ جمع ڪرائڻ (سي وي ڊي) آڪسائيڊ جڏهن ٻاهرين پرت جي ضرورت آهي پر سلڪون سبسٽرس شايد آڪسائيڊائزڊ نه ٿي سگهي.

ڪيميائي وانپ جمع ڪرائڻ جي واڌ:

سي وي ڊي جي واڌ ٿيندي آهي جڏهن هڪ گئس يا واپر (اڳڪٿي) گهٽ درجه حرارت ري ايڪٽر ۾ متعارف ڪرايو ويو آهي جتي وفا يا افقي طور تي يا افقي طور تي ترتيب ڏنل آهن. گئس سسٽم ذريعي هلندي آهي ۽ هڪجهڙائي وارين سطح جي سطح تي ورهائجي ٿو. جئين اهي پريسر ري ايڪٽر ذريعي منتقل ٿين ٿا، وافر انهن کي انهن جي سطح تي جذب ڪرڻ شروع ڪندا آهن.

هڪ ڀيرو چشمي ۾ هڪ حالات ۾ برابر ورهائي چڪا آهن، ڪيميائي ردعمل سبسٽرز جي مٿاڇري تي شروع ٿين ٿا. اهي ڪيميائي ردعمل جزائر طور شروع ٿي رهيا آهن، ۽ جيئن ته عمل جاري آهي، اهي ٻيٽ وڌندا آهن ۽ مطلوب فلم ٺاهڻ لاء. ڪيميائي رد عملن جي سطح تي بي ترتيب پيدا ڪري ٿي، جنهن جي سطح تي لفافن جي مٿان وهندي، ريڪٽرن جي ڪوٽنگ ۾ وهندي آهي.

شڪل 1

ڪيميائي وانپ جمع ڪرائڻ جا فائدا:

• گهٽ درجه حرارت جي واڌ جو عمل.
• فاسٽ جمع جي شرح (خاص طور تي اي پي سي وي ڊي).
• سلڪون سبسٽرٽ نه هجڻ گهرجي.
• سٺو قدم ڪوريج (خاص طور تي پيڪ وي ڊي).

شڪل 2
سلڪون ڊاء آڪسائيڊ جمع بمقابلي واڌ

وڌيڪ معلومات لاء ڪيميائي وپشن تي يا هڪ اقتباس جي درخواست ڪرڻ لاء، مهرباني ڪريايس ايم روم هڪٻئي سان رابطو ڪريوا today اسان جي سيلز ٽيم جي ميمبر سان ڳالهائڻ لاء.

سي وي ڊي جا قسم

ايل پي سي وي ڊي

دٻاء جي ڪيميائي واپرائڻ واري فصل جي جمع ڪرائڻ هڪ معياري ڪيميائي وپوريشن جو عمل آهي ايل پي سي وي ڊي ۽ ٻين سي وي ڊي طريقن جي وچ ۾ وڏو فرق جمع حرارت آهي. ايل پي سي وي وي ڊي فلمن کي فلمن کي جمع ڪرائڻ لاء، عام طور تي 600 ° C کان مٿي عام طور تي استعمال ڪندو آهي.

گهٽ دٻاء وارو ماحول هڪ تمام گهڻو يونيفارم آهي، وڏي پاڪائي، تاخير ۽ هومنيت سان. اهو 10 - 1،000 پي جي وچ ۾ ڪيو ويو آهي، جڏهن ته معياري ڪمرو جو دٻاء انهن فلمن جو دٻاء آهي. گرمي پد انهن فلمن جي ٿلهي ۽ پاڪائي جو تعين ڪري ٿو.

• عام فلمون جمع ڪرايون ويون آهن:پولسيلين، ڪٽي ۽ اڻ کٽ آلوز،نائٽريڊس.

موس ڀ vin

پلازما وڌايل ڪيميائي واپرائڻ جو هڪ گهٽ درجه حرارت، تيز درجه حرارت جي کثافت واري ٽيڪنالاجي آهي. پي سي وي ڊي پلازما جي اضافي سان گڏ سي وي ڊي ري ايڪٽر ۾ ٿيندي آهي، جيڪو هڪ جزوي طور تي مفت مفت اليڪٽران جي مواد سان گڏ آهي (~ 50٪). اهو گهٽ درجه حرارت جي جمع ڪرائڻ جو طريقو آهي جيڪو 100 ° C - 400 ° C جي وچ ۾ ٿئي ٿو. پي سي ڊي وي ڊي گهٽ درجه حرارت تي ڪري سگهجي ٿو ڇاڪاڻ ته مفت اليڪٽران کان توانائي جي توانائي تي توانائي واري سطح تي هڪ فلم ٺاهيندڙ گيسن کي ڌار ڪري ٿو.

اهو جمع ڪرائڻ جو طريقو پلازما جا ٻه مختلف قسم استعمال ڪندو آهي:

1. ٿڌي (غير حرارتي): اليڪٽرانز کي غير جانبدار ذرات ۽ آئنز کان وڌيڪ درجه حرارت آهي. اهو طريقو جمع ڪرائڻ واري چيمبر ۾ دٻاء بدلائڻ سان اليڪٽرانن جي توانائي استعمال ڪندو آهي.
2. حرارتي چيمبر ۾ ذرات ۽ آئنز جا ذرات ۽ آئنس آهن.

جمع ڪرائڻ واري چيمبر جي اندر، ريڊيو فريڪئنسي وولٽ جي وچ ۾ ريڊيو فريڪئنسي جي وچ ۾ ۽ هيٺ ڏنل اليڪٽرروڊز جي وچ ۾ موڪلي وئي آهي. اهو اليڪٽرانز کي چارج ڪري ٿو ۽ انهن کي گهربل فلم جمع ڪرڻ لاء گهربل حالت ۾ رکڻ لاء.

پي سي وي ڊي ذريعي فلمن کي وڌائڻ لاء چار قدم آهن:

1. جمع ڪرائڻ واري چيمبر جي اندر هڪ اليڪٽرروڊ تي ٽارگيٽ ويفر کي جاء ڏيو.
2. چيمبر کي رد عمل واري گيس ۽ جمع ڪرائڻ جا عنصر متعارف ڪرايو.
3. اليڪٽرزما جي وچ ۾ پلازما موڪليو ۽ پلازما کي جوش ۾ وجهڻ لاء وولٽيج کي لاڳو ڪريو.
4. رد عمل گئس کي ڌار ڪري ٿو ۽ هڪ پتلي فلم ٺاهڻ لاء ويفر جي سطح سان رد ڪري ٿو، ضمني پيداوار کي چيمبر کان ٻاهر ڪ diffect و.

• عام فلمون جمع ڪرايون ويون آهنسلڪون آڪسيجنائڊس (سي_xO_yN_z).

pd

فضا جي دٻاء واري ڪيمپ جي جمع ڪرائڻ جو گهٽ درجه حرارت واري ٽيڪنالاجي آهي جيڪا معياري فضائي دٻاء تي فرنس ۾ ٿيندي آهي. ٻين سي وي ڊي طريقن وانگر، اي پي سي وي ڊي جمع ڪرائڻ واري چيمبر جي اندر هڪ اڳڀرائي گيس کي سستو آهي، پوء گرمي پد کي آهستي آهستي آهستي آهستي آهستي آهستي اڀري ٿو. هن طريقي جي سادگي جي ڪري، ان ۾ تمام گهڻي رقم جي شرح آهي.

• عام فلمن جي جمع ٿيل: ڊاپ ڪيل سلڪون آڪسائيڊز، سلکن نائٽائڊس. پڻ استعمال ڪيو ويو آهياينگلنگ.

ايڇ ڊي پي سي ڊي

اضافي کثافت پلازما ڪيميائي واپاري هڪ کپٽر جو هڪ نسخو آهي جيڪو هڪ وڌيڪ حرف پلازا جي اندر استعمال ڪندو آهي (80 ° C-150 ° C جي وچ ۾ گهٽ درجه حرارت سان) استعمال ڪري ٿو. اهو پڻ هڪ فلم کي وڏي خندق ڀرڻ جي صلاحيتن سان ٺاهي ٿو.

• عام فلمون جمع ڪرايون ويون: سلڪون ڊاء آڪسائيڊ (SIO₂)، سلڪون نائٽائڊ (سي₃N₄)،سلڪون ڪاربائڊ (SIC).

sacwd

ذيلي قسم جو دٻاء ڪيميائي واپرائڻ ٻين طريقن مان مختلف آهي ڇاڪاڻ ته اهو معياري ڪمري جي دٻاء کان گهٽ آهي ۽ اوزون (او زون)₃) رد عمل کي ڪي ڏيڻ ۾ مدد ڏيڻ. جمع ڪرائڻ جو عمل LPcdd تي هڪ وڏي دٻاء تي ٿئي ٿو، اي سي سي ۽ 80،000 صدين جي وچ ۾ هڪ وڏي پئماني تي اضافو آهي ۽ جيڪو 490،000 پيڪ تائين گهٽجڻ جي برابر آهي.

• عام فلمون جمع ڪرايون ويون آهن:ب ايس ايس جي، پي ايس جي،موقعو.

شنونگ زونگپانگ اسپيشل سيرامڪس ڪمپني، ايل ٽي ڊي جو سڀ کان وڏو سلڪون ڪاربائڊ سرامڪ سرامڪ سرخرو آهي. SIC ٽيڪنيڪل سيرامڪ: موه جي سختي 9 آهي (نئين موهن جي سختي آهي 13)، نيڪال ۽ سنکنينشن ۽ سورن جي مزاحمت سان. SIC پراڊڪٽ جي سروس زندگي 92 سيڪڙو ايلومينينا مادي کان 5 تائين 5 کان 5 ڀيرا وڌيڪ آهي. آر بي ايس بي جو مور 5 کان 7 ڀيرا آهي، اهو وڌيڪ پيچيده شڪلن لاء استعمال ڪري سگهجي ٿو. اقتباس جو عمل جلدي آهي، پهچائڻ جو واعدو ڪيو ويو آهي ۽ معيار ٻئي ڪنهن کي ناهي. اسان هميشه پنهنجن مقصدن کي چئلينج ۾ جاري رکون ٿا ۽ اسان جي دلين کي معاشري ڏانهن واپس ڏيو.