د چپ جوړولو لپاره د لیتوګرافي ماشینونو کې، یوه نه لیدونکي تېروتنه کولی شي د ملیونونو ډالرو په ارزښت ویفرونه له منځه یوسي. دلته د بې ځایه کیدو هر مایکرومیټر د نانو پیمانه سرکټونو بریالیتوب یا ناکامۍ لپاره خورا مهم دی، او هغه کور چې د دې دقیق نڅا ملاتړ کوي نن ورځ زموږ اصلي لوبغاړی دی:د سیلیکون کاربایډ سیرامیک مواد- دا په مایکروسکوپي نړۍ کې د ثبات ځواک په څیر دی، چې په سختو چاپیریالونو کې د عصري سیمیکمډکټر صنعت دقیق ژوند لیکه ساتي.
۱، کله چې سیرامیکونه د چپس سره مخ کیږي: په دقت کې یوه وروستۍ ننګونه
د لیتوګرافي ماشینونو دقیق سیرامیک اجزا باید په یو وخت کې درې رولونه ولوبوي:
ډېر مستحکم اساس: د مخامخ کېدو په وخت کې د څو ټنو فشارونو سره مقاومت کوي مګر بې حرکته پاتې کیږي.
د تودوخې ساتونکی: د لیزر د لوړ حرارتي شاک لاندې حرارتي ثبات ساتي.
ویکیوم ګارډین: د صفر وایبریشن چاپیریال کې د لسو کلونو لپاره د اټومي کچې فلیټنس ساتي.
دودیز فلزي مواد به د تودوخې پراختیا او انقباض له امله "مایکروکرې ټکانونه" تولید کړي، پداسې حال کې چې پولیمر مواد د پلازما زنګ وهلو په وړاندې مقاومت کول ستونزمن دي. د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه، د دوی ځانګړي کرسټال جوړښت سره، په سختۍ، حرارتي چالکتیا، او د خرابوالي مقاومت کې یو بشپړ توازن ترلاسه کوي، چې دوی د لیتوګرافي ماشینونو اصلي برخو لپاره غوره انتخاب جوړوي.
۲، د نانو کچې دقیقیت 'ناڅرګند ساتونکی'
په لوړ پوړو لیتوګرافي ماشینونو لکه په هالنډ کې ASML، په جاپان کې NIKON او CANON کې، د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه په خاموشۍ سره د دقیق تولید قواعد بیا لیکي:
د ماسک مرحله: د سرو زرو په څیر ارزښت لرونکی عکس ماسک لیږدول، د لوړ سرعت حرکت په جریان کې د نانومیټر کچې موقعیت دقت ساتل.
د انعکاسي هنداره سبسټریټ: د سطحې ناهموارۍ خورا کوچنۍ ده، حتی د هنداره سطحې په پرتله نرمه ده.
ویکیوم چیمبر: د لسو کلونو کارولو وروسته، د انسان د ویښتو د زرو برخو څخه کم بدلون راځي
دا تقریبا 'د عقل ضد' ثبات د سیلیکون کاربایډ موادو د درې ګوني جینونو څخه سرچینه اخلي:
۱. د تودوخې پراختیا ضریب صفر ته نږدې کیږي: تقریبا "کنګل شوی عمر" له -۱۵۰ ℃ څخه تر ۵۰۰ ℃ پورې
۲. د فولادو په پرتله درې ځله سخت: د ذراتو بمبارۍ له امله رامینځته شوي مایکروسکوپي زیانونو په وړاندې مقاومت لري
۳. د ځان غوړولو ځانګړتیاوې: په خلا چاپیریال کې د تیلو څخه پاک دقیق لیږد ترلاسه کړئ
۳، د سیمیکمډکټر صنعت کې 'خاموش انقلاب'
لکه څنګه چې د چپ جوړولو پروسه د 2 نانومیټر دورې ته ننوځي، د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه ډیر محدودیتونه ماتوي:
دوه ګونی کاري میز: دوه سیسټمونو ته اجازه ورکوي چې په خلا چاپیریال کې "اتومي کچه ریل" بشپړ کړي.
د EUV آپټیکل لارې سیسټم: د 13.5nm خورا الټرا وایلیټ رڼا د دوامداره بمبارۍ په وړاندې مقاومت لري.
د څو محوري اړیکو سیسټم: په هره ثانیه کې د ۲۰۰ نانو پیمانه ګامونو ترلاسه کول پرته له دې چې مجموعي غلطۍ رامینځته کړي.
د لیتوګرافي ماشین د څیړنې او پراختیا یوې ځانګړې ډلې پرتله ایزې ازموینې ترسره کړې دي: د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ورک پیس مرحلې کارولو وروسته، د سیسټم موقعیت دقت 40٪ ښه شوی، او د تجهیزاتو د ساتنې دوره له 3 میاشتو څخه 2 کلونو ته غځول شوې ده. دا بدلون نه یوازې د چپس تولید لګښت کموي، بلکې د لومړي ځل لپاره د "چینایي چپس" د تولید دقت هم د نړیوالو معیارونو په سر کې راولي.
۴، له لابراتوار څخه تر صنعتي کېدو پورې د ختلو لاره
د لیتوګرافي درجې سیلیکون کاربایډ سیرامیکونو جوړول په مایکروسکوپي نړۍ کې د 'بې عیب ماڼۍ' جوړولو په څیر دي:
د خامو موادو پاکوالی: خورا خالص سیلیکون کاربایډ پوډر، د خوراک وړ مالګې په پرتله زرګونه ځله پاک.
د سینټر کولو پروسه: په لوړه تودوخه کې د کرسټال ودې لوري دقیق کنټرول.
د فرعي مایکرون کچې نقاشۍ لپاره د الماس پرې کولو وسیلو په کارولو سره دقیق ماشین کول د کلتوري اثارو بیارغونې په څیر ډیر وخت نیسي.
دا د "موادو ساینس + دقیق تولید" دوه ګونی پرمختګ دی چې پرمختللي توکي یې رامینځته کړي دي، کوم چې یو وخت په فضا او نظامي صنعتونو پورې محدود وو، اوس د ډیجیټل تمدن ملاتړ کونکي بنسټیز اجزا ګرځیدلي دي.
د نن ورځې د چپ جوړولو په پروسه کې، چې فزیکي حد ته رسیدلی، د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه د خپلو "صفر جوړجاړي" ځانګړتیاو سره ثابتوي چې ریښتینی دقت د معلوماتو راټولول نه دي، بلکې د موادو په جوهر باندې وروستی کنټرول دی. کله چې د سیرامیک هر جز د ملیونونو نانو پیمانه حرکتونو ژمنه لري، هغه څه چې موږ یې ګورو نه یوازې د سیمیکمډکټر تجهیزاتو ارتقا ده، بلکې د یو هیواد د صنعت هوډ هم دی چې د دقت لوړوالي ته حرکت وکړي.
د پوسټ وخت: اپریل-۰۳-۲۰۲۵