ਸੂਖਮ ਸੰਸਾਰ ਦਾ ਅਦਿੱਖ ਮੂਰਤੀਕਾਰ: ਕਿਵੇਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਸਿਖਰ 'ਤੇ ਹਨ

ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਇੱਕ ਅਦਿੱਖ ਗਲਤੀ ਲੱਖਾਂ ਡਾਲਰਾਂ ਦੇ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਨਸ਼ਟ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇੱਥੇ ਵਿਸਥਾਪਨ ਦਾ ਹਰ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੀਟਰ ਨੈਨੋਸਕੇਲ ਸਰਕਟਾਂ ਦੀ ਸਫਲਤਾ ਜਾਂ ਅਸਫਲਤਾ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਾਚ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਵਾਲਾ ਕੋਰ ਅੱਜ ਸਾਡਾ ਮੁੱਖ ਪਾਤਰ ਹੈ:ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਮੱਗਰੀ- ਇਹ ਸੂਖਮ ਸੰਸਾਰ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਸ਼ਕਤੀ ਵਾਂਗ ਹੈ, ਜੋ ਅਤਿਅੰਤ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਆਧੁਨਿਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਜੀਵਨ ਰੇਖਾ ਦੀ ਰਾਖੀ ਕਰਦੀ ਹੈ।
1, ਜਦੋਂ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਚਿਪਸ ਨੂੰ ਮਿਲਦੇ ਹਨ: ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਅੰਤਮ ਚੁਣੌਤੀ
ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਸਿਰੇਮਿਕ ਹਿੱਸਿਆਂ ਨੂੰ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਤਿੰਨ ਭੂਮਿਕਾਵਾਂ ਨਿਭਾਉਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ:
ਅਤਿ ਸਥਿਰ ਅਧਾਰ: ਐਕਸਪੋਜਰ ਦੇ ਸਮੇਂ ਕਈ ਟਨ ਦਬਾਅ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਪਰ ਗਤੀਹੀਣ ਰਹਿੰਦਾ ਹੈ।
ਤਾਪਮਾਨ ਸੈਂਟੀਨੇਲ: ਲੇਜ਼ਰ ਦੇ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਝਟਕੇ ਹੇਠ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।
ਵੈਕਿਊਮ ਗਾਰਡੀਅਨ: ਜ਼ੀਰੋ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਦਸ ਸਾਲਾਂ ਲਈ ਪਰਮਾਣੂ ਪੱਧਰ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।
ਪਰੰਪਰਾਗਤ ਧਾਤ ਸਮੱਗਰੀ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਅਤੇ ਸੁੰਗੜਨ ਕਾਰਨ "ਸੂਖਮ ਕੰਬਣੀ" ਪੈਦਾ ਕਰੇਗੀ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਪੋਲੀਮਰ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੋਰ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕਸ, ਆਪਣੀ ਵਿਲੱਖਣ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਬਣਤਰ ਦੇ ਨਾਲ, ਕਠੋਰਤਾ, ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ, ਅਤੇ ਵਿਕਾਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸੰਪੂਰਨ ਸੰਤੁਲਨ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਉਹ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੇ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਵਿਕਲਪ ਬਣ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।
2, ਨੈਨੋ ਲੈਵਲ ਪ੍ਰੀਸੀਜ਼ਨ 'ਅਦਿੱਖ ਬਾਡੀਗਾਰਡ'
ਨੀਦਰਲੈਂਡਜ਼ ਵਿੱਚ ASML, ਜਪਾਨ ਵਿੱਚ NIKON ਅਤੇ CANON ਵਰਗੀਆਂ ਉੱਚ ਪੱਧਰੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਚੁੱਪਚਾਪ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਨਿਯਮਾਂ ਨੂੰ ਦੁਬਾਰਾ ਲਿਖ ਰਹੇ ਹਨ:
ਮਾਸਕ ਪੜਾਅ: ਸੋਨੇ ਜਿੰਨਾ ਮੁੱਲ ਵਾਲਾ ਫੋਟੋਮਾਸਕ ਰੱਖਣਾ, ਤੇਜ਼ ਗਤੀ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਪੱਧਰ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ।
ਪ੍ਰਤੀਬਿੰਬਤ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਦਾ ਸਬਸਟਰੇਟ: ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨਾਲੋਂ ਵੀ ਮੁਲਾਇਮ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ: ਦਸ ਸਾਲਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਵਿਗਾੜ ਮਨੁੱਖੀ ਵਾਲਾਂ ਦੇ ਹਜ਼ਾਰਵੇਂ ਹਿੱਸੇ ਤੋਂ ਵੀ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਇਹ ਲਗਭਗ 'ਆਮ ਸਮਝ ਵਿਰੋਧੀ' ਸਥਿਰਤਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਤਿੰਨ ਜੀਨਾਂ ਤੋਂ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ:
1. ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ ਜ਼ੀਰੋ ਦੇ ਨੇੜੇ ਪਹੁੰਚਦਾ ਹੈ: -150 ℃ ਤੋਂ 500 ℃ ਤੱਕ ਲਗਭਗ "ਜੰਮੀ ਹੋਈ ਉਮਰ"
2. ਸਟੀਲ ਨਾਲੋਂ ਤਿੰਨ ਗੁਣਾ ਸਖ਼ਤ: ਕਣਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਸੂਖਮ ਨੁਕਸਾਨ ਪ੍ਰਤੀ ਰੋਧਕ
3. ਸਵੈ-ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ: ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਤੇਲ-ਮੁਕਤ ਸਟੀਕ ਪ੍ਰਸਾਰਣ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰੋ।
3, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ 'ਚੁੱਪ ਕ੍ਰਾਂਤੀ'
ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ 2-ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਯੁੱਗ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋ ਰਹੀ ਹੈ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਹੋਰ ਸੀਮਾਵਾਂ ਨੂੰ ਤੋੜ ਰਹੇ ਹਨ:
ਦੋਹਰਾ ਵਰਕਟੇਬਲ: ਦੋ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਨੂੰ ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ "ਪਰਮਾਣੂ ਪੱਧਰ ਰੀਲੇਅ" ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ।
EUV ਆਪਟੀਕਲ ਪਾਥ ਸਿਸਟਮ: 13.5nm ਅਤਿਅੰਤ ਅਲਟਰਾਵਾਇਲਟ ਰੋਸ਼ਨੀ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਬੰਬਾਰੀ ਪ੍ਰਤੀ ਰੋਧਕ।
ਮਲਟੀ ਐਕਸਿਸ ਲਿੰਕੇਜ ਸਿਸਟਮ: ਸੰਚਤ ਗਲਤੀਆਂ ਪੈਦਾ ਕੀਤੇ ਬਿਨਾਂ ਪ੍ਰਤੀ ਸਕਿੰਟ 200 ਨੈਨੋਸਕੇਲ ਕਦਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ।
ਇੱਕ ਖਾਸ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਆਰ ਐਂਡ ਡੀ ਟੀਮ ਨੇ ਤੁਲਨਾਤਮਕ ਟੈਸਟ ਕੀਤੇ ਹਨ: ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਵਰਕਪੀਸ ਪੜਾਅ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਿਸਟਮ ਸਥਿਤੀ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਿੱਚ 40% ਸੁਧਾਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਚੱਕਰ ਨੂੰ 3 ਮਹੀਨਿਆਂ ਤੋਂ 2 ਸਾਲ ਤੱਕ ਵਧਾ ਦਿੱਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਇਹ ਬਦਲਾਅ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਚਿਪਸ ਦੀ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਗਤ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਸਗੋਂ "ਚੀਨੀ ਚਿਪਸ" ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਪਹਿਲੀ ਵਾਰ ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੇ ਸਾਹਮਣੇ ਵੀ ਲਿਆਉਂਦਾ ਹੈ।

4, ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ ਤੋਂ ਉਦਯੋਗੀਕਰਨ ਤੱਕ ਚੜ੍ਹਾਈ ਦਾ ਰਸਤਾ
ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਗ੍ਰੇਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਬਣਾਉਣਾ ਸੂਖਮ ਸੰਸਾਰ ਵਿੱਚ ਇੱਕ 'ਨਿਰਦੋਸ਼ ਮਹਿਲ' ਬਣਾਉਣ ਵਾਂਗ ਹੈ:
ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ: ਅਤਿ ਸ਼ੁੱਧ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਪਾਊਡਰ, ਖਾਣ ਵਾਲੇ ਲੂਣ ਨਾਲੋਂ ਹਜ਼ਾਰਾਂ ਗੁਣਾ ਸ਼ੁੱਧ।
ਸਿੰਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ: ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਦਿਸ਼ਾ ਦਾ ਸਹੀ ਨਿਯੰਤਰਣ।
ਸਬ ਮਾਈਕ੍ਰੋਨ ਲੈਵਲ ਨੱਕਾਸ਼ੀ ਲਈ ਹੀਰਾ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਔਜ਼ਾਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਾਲ ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਸੱਭਿਆਚਾਰਕ ਅਵਸ਼ੇਸ਼ਾਂ ਦੀ ਬਹਾਲੀ ਜਿੰਨਾ ਸਮਾਂ ਲੱਗਦਾ ਹੈ।
ਇਹ "ਸਮੱਗਰੀ ਵਿਗਿਆਨ + ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਿਰਮਾਣ" ਦੀ ਇਸ ਦੋਹਰੀ ਸਫਲਤਾ ਹੈ ਜਿਸਨੇ ਅਤਿ-ਆਧੁਨਿਕ ਸਮੱਗਰੀਆਂ, ਜੋ ਕਿ ਕਦੇ ਏਰੋਸਪੇਸ ਅਤੇ ਫੌਜੀ ਉਦਯੋਗਾਂ ਤੱਕ ਸੀਮਿਤ ਸਨ, ਨੂੰ ਹੁਣ ਡਿਜੀਟਲ ਸਭਿਅਤਾ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਬੁਨਿਆਦੀ ਹਿੱਸੇ ਬਣਾ ਦਿੱਤਾ ਹੈ।
ਅੱਜ ਦੀ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਜੋ ਕਿ ਭੌਤਿਕ ਸੀਮਾ 'ਤੇ ਪਹੁੰਚ ਗਈ ਹੈ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਆਪਣੀਆਂ "ਜ਼ੀਰੋ ਸਮਝੌਤਾ" ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨਾਲ ਸਾਬਤ ਕਰਦੇ ਹਨ ਕਿ ਸੱਚੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਡੇਟਾ ਦਾ ਸਟੈਕਿੰਗ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਸਗੋਂ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਤੱਤ 'ਤੇ ਅੰਤਮ ਨਿਯੰਤਰਣ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਹਰ ਸਿਰੇਮਿਕ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਲੱਖਾਂ ਨੈਨੋਸਕੇਲ ਹਰਕਤਾਂ ਦਾ ਵਾਅਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਅਸੀਂ ਜੋ ਦੇਖਦੇ ਹਾਂ ਉਹ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦਾ ਵਿਕਾਸ ਹੈ, ਸਗੋਂ ਇੱਕ ਦੇਸ਼ ਦੇ ਉਦਯੋਗ ਦਾ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਸਿਖਰ ਵੱਲ ਵਧਣ ਦਾ ਦ੍ਰਿੜ ਇਰਾਦਾ ਵੀ ਹੈ।