ଜାପାନୀମାନେ ଅନୁସନ୍ଧାନକାରୀମାନେ Al2o3 ସେରାମିକ୍ସ ଏବଂ SI3N4 ସିରାମିକ୍ସ କାଟିବା ପାଇଁ ପଲିମ୍ରାଇଟାଲ୍ ପାର୍ଟି ହୀରା ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରିଥିଲେ | ଏହା ଦେଖିବାକୁ ମିଳିଥିଲା ଯେ କୁମ୍ଭୀର-ଗ୍ରାଇଜ୍ ପଲିସିଏଣ୍ଟାଲ୍ ହୀରା ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ କମ୍ ପୋଷାକ ଥିଲା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରଭାବ ଭଲ ଥିଲା | ଯେତେବେଳେ ହୀରା ସିରାମିକ୍ସ କାଟିବାବେଳେ, ଏହା ପ୍ରଭାବ କାଟିବା ସମୟରେ ସମାନ ଅଟେ | ସେମାନେ ସିରାମିକ୍ ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍ କଟିଙ୍ଗର ସୀମା ଅନୁସନ୍ଧାନ କରିଥିଲେ | Al2o3 ସିରାମିକ୍ସର ଜଟିଳ କାଟିବା ଗଭୀରତା ହେଉଛି APMAX = 2UM, SIC ସିରାମିକ୍ସ ଆପିକ୍ସ = 1um (AP> APomAX, Si3n 4 ସେବାକାରୀ ଉପଲବ୍ଧ ହେବାରେ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର -1118 |