ଚିପ୍ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ଗୁଡ଼ିକରେ, ଏକ ଅଦୃଶ୍ୟ ତ୍ରୁଟି ଲକ୍ଷ ଲକ୍ଷ ଡଲାର ମୂଲ୍ୟର ୱେଫର୍ଗୁଡ଼ିକୁ ନଷ୍ଟ କରିପାରେ। ନାନୋସ୍କେଲ୍ ସର୍କିଟର ସଫଳତା କିମ୍ବା ବିଫଳତା ପାଇଁ ଏଠାରେ ପ୍ରତ୍ୟେକ ମାଇକ୍ରୋମିଟର ବିସ୍ଥାପନ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, ଏବଂ ଏହି ସଠିକ୍ ନୃତ୍ୟକୁ ସମର୍ଥନ କରୁଥିବା ମୂଳ ହେଉଛି ଆଜି ଆମର ନାୟକ:ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ- ଏହା ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ ବିଶ୍ୱରେ ଏକ ସ୍ଥିର ଶକ୍ତି ପରି, ଯାହା ଅତ୍ୟନ୍ତ ପରିବେଶରେ ଆଧୁନିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପର ସଠିକ ଜୀବନରେଖାକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦିଏ।
୧, ଯେତେବେଳେ ସିରାମିକ୍ସ ଚିପ୍ସକୁ ଭେଟିଥାଏ: ସଠିକତାରେ ଏକ ଚରମ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ
ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ସଠିକ୍ ସିରାମିକ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ଏକକାଳୀନ ତିନୋଟି ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିବାକୁ ପଡିବ:
ଅଲ୍ଟ୍ରା ଷ୍ଟାବିଲ୍ ବେସ୍: ଏକ୍ସପୋଜର ହେବା ସମୟରେ ଅନେକ ଟନ୍ ଚାପ ସହ୍ୟ କରେ କିନ୍ତୁ ଗତିହୀନ ରହିଥାଏ।
ତାପମାତ୍ରା ସେଣ୍ଟିନେଲ୍: ଲେଜରର ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଆଘାତରେ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖେ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଗାର୍ଡିଆନ୍: ଶୂନ୍ୟ କମ୍ପନ ପରିବେଶରେ ଦଶ ବର୍ଷ ପାଇଁ ପରମାଣୁ ସ୍ତରର ସମତଳତା ବଜାୟ ରଖେ।
ପାରମ୍ପରିକ ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ସଂକୋଚନ ଯୋଗୁଁ "ସୂକ୍ଷ୍ମ କମ୍ପନ" ସୃଷ୍ଟି କରିବ, ଯେତେବେଳେ ପଲିମର ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ ପ୍ଲାଜ୍ମା କ୍ଷୟକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବା କଷ୍ଟକର। ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍, ସେମାନଙ୍କର ଅନନ୍ୟ ସ୍ଫଟିକ ଗଠନ ସହିତ, କଠୋରତା, ତାପଜ ପରିବାହିତା ଏବଂ ବିକୃତି ପ୍ରତିରୋଧରେ ଏକ ଉତ୍ତମ ସନ୍ତୁଳନ ହାସଲ କରେ, ଯାହା ସେମାନଙ୍କୁ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ମୂଳ ଉପାଦାନ ପାଇଁ ଶ୍ରେଷ୍ଠ ପସନ୍ଦ କରିଥାଏ।
୨, ନାନୋ ସ୍ତରର ସଠିକତା 'ଅଦୃଶ୍ୟ ଅଙ୍ଗରକ୍ଷୀ'
ନେଦରଲ୍ୟାଣ୍ଡର ASML, ଜାପାନର NIKON ଏବଂ CANON ପରି ଉଚ୍ଚସ୍ତରୀୟ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନଗୁଡ଼ିକରେ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଚୁପଚାପ୍ ସଠିକ୍ ଉତ୍ପାଦନର ନିୟମଗୁଡ଼ିକୁ ପୁନଃଲେଖି ଦେଉଛନ୍ତି:
ମାସ୍କ ପର୍ଯ୍ୟାୟ: ସୁନା ପରି ମୂଲ୍ୟର ଏକ ଫଟୋମାସ୍କ ବହନ କରିବା, ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ ଗତି ସମୟରେ ନାନୋମିଟର ସ୍ତରର ସ୍ଥିତି ସଠିକତା ବଜାୟ ରଖିବା।
ପ୍ରତିଫଳିତ ଦର୍ପଣ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍: ପୃଷ୍ଠର ଖରଫତା ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷୁଦ୍ର, ଏକ ଦର୍ପଣ ପୃଷ୍ଠ ଅପେକ୍ଷା ମଧ୍ୟ ମସୃଣ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର: ଦଶ ବର୍ଷ ବ୍ୟବହାର ପରେ, ବିକୃତି ମଣିଷ କେଶର ଏକ ହଜାର ଭାଗରୁ କମ୍।
ଏହି ପ୍ରାୟ 'ସାଧାରଣ ଜ୍ଞାନ ବିରୋଧୀ' ସ୍ଥିରତା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସାମଗ୍ରୀର ତ୍ରିସ୍ତରୀୟ ଜିନ୍ ରୁ ଉତ୍ପନ୍ନ ହୁଏ:
1. ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ଶୂନ୍ୟ ପାଖକୁ ପହଞ୍ଚୁଛି: -150 ℃ ରୁ 500 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପ୍ରାୟ "ଜମିଯାଇଥିବା ବୟସ"।
୨. ଇସ୍ପାତ ଅପେକ୍ଷା ତିନିଗୁଣ କଠିନ: କଣିକା ବୋମା ମାଡ଼ ଦ୍ୱାରା ହେଉଥିବା ସୂକ୍ଷ୍ମ କ୍ଷତି ପ୍ରତି ପ୍ରତିରୋଧୀ
3. ସ୍ୱୟଂ ଲୁବ୍ରିକେସନ୍ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ: ଏକ ଶୂନ୍ୟ ପରିବେଶରେ ତେଲ-ମୁକ୍ତ ସଠିକ୍ ପ୍ରସାରଣ ହାସଲ କରନ୍ତୁ।
3, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପରେ 'ନୀରବ ବିପ୍ଳବ'
ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ୨-ନାନୋମିଟର ଯୁଗରେ ପ୍ରବେଶ କରୁଥିବାରୁ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଅଧିକ ସୀମା ଅତିକ୍ରମ କରୁଛି:
ଦ୍ୱୈତ କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀ: ଏକ ଶୂନ୍ୟ ପରିବେଶରେ ଦୁଇଟି ସିଷ୍ଟମକୁ "ପରମାଣୁ ସ୍ତର ରିଲେ" ସମାପ୍ତ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।
EUV ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଥ ସିଷ୍ଟମ: 13.5nm ଅତ୍ୟନ୍ତ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଆଲୋକର ନିରନ୍ତର ବୋମା ମାଡ଼ ପ୍ରତି ପ୍ରତିରୋଧୀ।
ମଲ୍ଟି ଅକ୍ଷ ଲିଙ୍କେଜ୍ ସିଷ୍ଟମ୍: କ୍ରମବର୍ଦ୍ଧିତ ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି ନକରି ପ୍ରତି ସେକେଣ୍ଡରେ 200 ନାନୋସ୍କେଲ ପଦକ୍ଷେପ ହାସଲ କରିବା।
ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ R&D ଦଳ ତୁଳନାତ୍ମକ ପରୀକ୍ଷଣ କରିଛନ୍ତି: ଏକ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ୱର୍କପିସ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରେ, ସିଷ୍ଟମ୍ ସ୍ଥିତିକରଣ ସଠିକତା 40% ଉନ୍ନତ ହୋଇଛି, ଏବଂ ଉପକରଣ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଚକ୍ରକୁ 3 ମାସରୁ 2 ବର୍ଷକୁ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇଛି। ଏହି ପରିବର୍ତ୍ତନ କେବଳ ଚିପ୍ସର ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରେ ନାହିଁ, ବରଂ ପ୍ରଥମ ଥର ପାଇଁ "ଚାଇନିଜ୍ ଚିପ୍ସ"ର ଉତ୍ପାଦନ ସଠିକତାକୁ ମଧ୍ୟ ଅନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ମାନଦଣ୍ଡର ଶୀର୍ଷକୁ ଆଣିଥାଏ।
୪, ପରୀକ୍ଷାଗାରରୁ ଶିଳ୍ପାୟନ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଚଢ଼େଇ ପଥ
ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଗ୍ରେଡ୍ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ତିଆରି କରିବା ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ ବିଶ୍ୱରେ ଏକ 'ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ମହଲ' ନିର୍ମାଣ କରିବା ଭଳି:
କଞ୍ଚାମାଲର ବିଶୁଦ୍ଧତା: ଅଲ୍ଟ୍ରା ପିୟୁର ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ପାଉଡର, ଖାଇବା ଲୁଣ ଅପେକ୍ଷା ହଜାର ଗୁଣ ଅଧିକ ବିଶୁଦ୍ଧ।
ସିଣ୍ଟରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା: ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି ଦିଗର ସଠିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ।
ସବ୍ ମାଇକ୍ରୋନ୍ ସ୍ତରର ଖୋଦନ ପାଇଁ ହୀରା କଟିଙ୍ଗ ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରି ସଠିକ୍ ମେସିନିଂ କରିବା ସାଂସ୍କୃତିକ ଅବଶେଷ ପୁନରୁଦ୍ଧାର ପରି ସମୟ ନେଇଥାଏ।
"ବସ୍ତୁ ବିଜ୍ଞାନ + ସଠିକ୍ ଉତ୍ପାଦନ"ର ଏହି ଦ୍ୱୈତ ସଫଳତା ହିଁ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ସାମଗ୍ରୀ ତିଆରି କରିଛି, ଯାହା ପୂର୍ବରୁ ଅନ୍ତରୀକ୍ଷ ଏବଂ ସାମରିକ ଶିଳ୍ପ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସୀମିତ ଥିଲା, ଏବେ ଡିଜିଟାଲ୍ ସଭ୍ୟତାକୁ ସମର୍ଥନ କରୁଥିବା ମୌଳିକ ଉପାଦାନ ପାଲଟିଛି।
ଆଜିର ଚିପ୍ ନିର୍ମାଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଯାହା ଭୌତିକ ସୀମାରେ ପହଞ୍ଚିଛି, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଏହାର "ଶୂନ୍ୟ ସମାଧାନ" ଗୁଣ ସହିତ ପ୍ରମାଣିତ କରେ ଯେ ପ୍ରକୃତ ସଠିକତା ତଥ୍ୟର ଷ୍ଟାକିଂ ନୁହେଁ, ବରଂ ସାମଗ୍ରୀର ସାର ଉପରେ ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ। ଯେତେବେଳେ ପ୍ରତ୍ୟେକ ସେରାମିକ୍ ଉପାଦାନ ଲକ୍ଷ ଲକ୍ଷ ନାନୋସ୍କେଲ ଗତିବିଧିର ପ୍ରତିଶ୍ରୁତି ବହନ କରେ, ଆମେ ଯାହା ଦେଖୁଛୁ ତାହା କେବଳ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପକରଣର ବିବର୍ତ୍ତନ ନୁହେଁ, ବରଂ ସଠିକତାର ଶିଖର ଆଡକୁ ଯିବା ପାଇଁ ଏକ ଦେଶର ଶିଳ୍ପର ଦୃଢ଼ ନିଷ୍ପତ୍ତି ମଧ୍ୟ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଏପ୍ରିଲ-୦୩-୨୦୨୫