ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် ပုံသဏ္ဍာန်ရိုက်စက်များတွင် မမြင်နိုင်သောအမှားတစ်ခုက ဒေါ်လာသန်းပေါင်းများစွာတန်သော wafer များကို ဖျက်ဆီးနိုင်သည်။ ဤနေရာတွင် ရွှေ့ပြောင်းခြင်း၏ မိုက်ခရိုမီတာတိုင်းသည် နာနိုစကေးဆားကစ်များ၏ အောင်မြင်မှု သို့မဟုတ် ကျရှုံးမှုအတွက် အရေးကြီးပြီး ဤတိကျမှုအကကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အဓိကအချက်မှာ ယနေ့ကျွန်ုပ်တို့၏ အဓိကဇာတ်ကောင်ဖြစ်သည်-ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်ပစ္စည်း- ၎င်းသည် လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ခေတ်မီတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်း၏တိကျသောအသက်သွေးကြောကိုကာကွယ်ပေးသည့် အဏုကြည့်ကမ္ဘာရှိ တည်ငြိမ်သောစွမ်းအားနှင့်တူသည်။
1၊ ကြွေထည်များသည် ချစ်ပ်ပြားများနှင့် တွေ့ဆုံသောအခါ- တိကျမှု၌ အဆုံးစွန်သော စိန်ခေါ်မှု
lithography စက်များ၏ တိကျသော ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများသည် အခန်းကဏ္ဍသုံးခုကို တစ်ပြိုင်နက်တည်း လုပ်ဆောင်ရန် လိုအပ်သည်-
အလွန်တည်ငြိမ်သောအခြေခံ- ထိတွေ့ချိန်တွင် ဖိအားတန်ပေါင်းများစွာကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော်လည်း မလှုပ်မယှက်ဖြစ်နေသည်။
Temperature Sentinel- လေဆာ၏ မြင့်မားသော အပူလှိုင်းအောက်တွင် အပူတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းသည်။
Vacuum Guardian- တုန်ခါမှု လုံးဝကင်းသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အနုမြူအဆင့် ညီညာမှုကို ဆယ်နှစ်ကြာ ထိန်းသိမ်းထားသည်။
ရိုးရာသတ္တုပစ္စည်းများသည် အပူချဲ့ခြင်းနှင့် ကျုံ့ခြင်းကြောင့် "မိုက်ခရိုတုန်လှုပ်ခြင်း" ကို ထုတ်လုပ်မည်ဖြစ်ပြီး ပိုလီမာပစ္စည်းများသည် ပလာစမာတိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ခက်ခဲပါသည်။ Silicon carbide ကြွေထည်များသည် ၎င်းတို့၏ထူးခြားသောပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံဖြင့် မာကျောခြင်း၊ အပူစီးကူးခြင်းနှင့် ပုံပျက်ခြင်းခံနိုင်ရည်အတွက် ပြီးပြည့်စုံသောဟန်ချက်ရရှိစေပြီး ၎င်းတို့ကို lithography စက်များ၏ အဓိကအစိတ်အပိုင်းများအတွက် ထိပ်တန်းရွေးချယ်မှုဖြစ်လာစေသည်။
2၊ နာနိုအဆင့် တိကျမှု 'မမြင်နိုင်သော သက်တော်စောင့်'
နယ်သာလန်ရှိ ASML ၊ NIKON နှင့် CANON ကဲ့သို့သော ထိပ်တန်းအဆင့်ရှိ ပုံတူရုပ်ပုံရေးစက်များတွင် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်များသည် တိကျစွာထုတ်လုပ်ခြင်းဆိုင်ရာ စည်းမျဉ်းများကို တိတ်တဆိတ် ပြန်လည်ရေးသားနေကြသည်-
Mask အဆင့်- အရှိန်မြင့်ရွေ့လျားနေစဉ်အတွင်း နာနိုမီတာအဆင့် တိကျမှန်ကန်မှုကို ထိန်းသိမ်းပေးသည့် ရွှေကဲ့သို့ တန်ဖိုးရှိသော ဓာတ်ပုံမျက်နှာဖုံးကို ဆောင်ထားပါ။
Reflective mirror substrate- မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုသည် မှန်မျက်နှာပြင်ထက်ပင် အလွန်သေးငယ်ပါသည်။
ဖုန်စုပ်ခန်း- ဆယ်နှစ်ကြာအသုံးပြုပြီးနောက်၊ လူ့ဆံပင်တစ်ထောင်၏ ပုံသဏ္ဍာန်သည် ပုံပျက်သွားပါသည်။
ဤ 'ဆန့်ကျင်ဘက် အသိတရား' နီးပါး တည်ငြိမ်မှုသည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းများ၏ သုံးဆသော ဗီဇမှ ပေါက်ဖွားလာခြင်းဖြစ်သည်။
1. အပူချဲ့ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်းသည် သုညသို့ချဉ်းကပ်သည်- "အေးခဲနေသောအသက်" နီးပါး -150 ℃မှ 500 ℃
2. သံမဏိထက် သုံးဆပိုမိုခက်ခဲသည်- အမှုန်အမွှားများကို ဗုံးကြဲခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အဏုကြည့်ပျက်စီးမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
3. ကိုယ်တိုင်ချောဆီပေးသည့်လက္ခဏာများ- လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဆီကင်းစင်သော တိကျသောဂီယာကို ရရှိစေပါသည်။
၃၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် 'အသံတိတ်တော်လှန်ရေး'
ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းစဉ်သည် 2-nanometer ခေတ်သို့ဝင်ရောက်လာသည်နှင့်အမျှ၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်များသည် ကန့်သတ်ချက်များကို ပိုမိုကျော်လွန်လာပါသည်။
Dual worktable- လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် "atomic level relay" ကို အပြီးသတ်ရန် စနစ်နှစ်ခုကို ခွင့်ပြုသည်။
EUV အလင်းပြန်လမ်းကြောင်းစနစ်- 13.5nm ပြင်းထန်သော ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်ကို အဆက်မပြတ် ဗုံးကြဲခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
Multi axis ချိတ်ဆက်မှုစနစ်- တစ်စက္ကန့်လျှင် 200 nanoscale ခြေလှမ်းများ အမှားအယွင်းများမဖြစ်ပေါ်စေဘဲ အောင်မြင်မှုရရှိခြင်း။
အချို့သော lithography စက် R&D အဖွဲ့သည် နှိုင်းယှဉ်စမ်းသပ်မှုများ ပြုလုပ်ခဲ့သည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်လုပ်ငန်းခွင်အဆင့်ကို အသုံးပြုပြီးနောက်၊ စနစ်တည်နေရာတိကျမှုကို 40% မြှင့်တင်ခဲ့ပြီး စက်ပစ္စည်းထိန်းသိမ်းမှုစက်ဝန်းအား 3 လမှ 2 နှစ်အထိ တိုးမြှင့်ခဲ့သည်။ ဤပြောင်းလဲမှုသည် ချစ်ပ်များ၏ ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချရုံသာမက “တရုတ်ချစ်ပ်များ” ၏ ထုတ်လုပ်မှု တိကျမှုကို နိုင်ငံတကာစံနှုန်း၏ ရှေ့တန်းသို့ ပထမဆုံးအကြိမ် ပို့ဆောင်ပေးပါသည်။
4, ဓာတ်ခွဲခန်းမှစက်မှုလုပ်ငန်းသို့တက်လမ်း
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်များကို ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် အဏုကြည့်ကမ္ဘာတွင် 'အပြစ်ကင်းသောနန်းတော်' ကို တည်ဆောက်ခြင်းနှင့် တူသည်-
ကုန်ကြမ်း သန့်စင်မှု- အလွန်သန့်စင်သော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်မှုန့်၊ စားသုံးနိုင်သော ဆားထက် အဆထောင်ပေါင်းများစွာ ပိုသန့်စင်သည်။
Sintering လုပ်ငန်းစဉ်- မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလမ်းကြောင်းကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ခြင်း။
မိုက်ကရိုအဆင့် ထွင်းထုခြင်းအတွက် စိန်ဖြတ်တောက်ခြင်းကိရိယာများကို အသုံးပြု၍ တိကျသောစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ခြင်းသည် ယဉ်ကျေးမှုအမွေအနှစ်များ ပြန်လည်ထူထောင်ရေးကဲ့သို့ အချိန်များစွာကြာပါသည်။
၎င်းသည် တစ်ချိန်က အာကာသယာဉ်နှင့် စစ်ဘက်ဆိုင်ရာ လုပ်ငန်းများတွင် ကန့်သတ်ထားသည့် နောက်ဆုံးပေါ်ပစ္စည်းများကို ဖန်တီးခဲ့သည့် "ပစ္စည်းသိပ္ပံ+ တိကျမှုထုတ်လုပ်မှု" ၏ နှစ်ဆင့်အောင်မြင်မှုဖြစ်ပြီး ယခုအခါ ဒစ်ဂျစ်တယ်ယဉ်ကျေးမှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အခြေခံအစိတ်အပိုင်းများဖြစ်လာသည်။
ယနေ့ခေတ် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ တိကျမှုမှာ ဒေတာစုပုံခြင်းမဟုတ်သော်လည်း ပစ္စည်းများ၏ အနှစ်သာရအပေါ် အဆုံးစွန်သော ထိန်းချုပ်မှုဖြစ်ကြောင်း ၎င်း၏ "သုညအလျှော့အတင်း" လက္ခဏာများဖြင့် သက်သေပြခဲ့သည်။ ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းတိုင်းသည် သန်းပေါင်းများစွာသော နာနိုစကေးလှုပ်ရှားမှုများ၏ ကတိကို သယ်ဆောင်လာသောအခါတွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့တွေ့မြင်ရသည့်အရာမှာ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းကိရိယာများ၏ ဆင့်ကဲဖြစ်စဉ်သာမက တိကျမှု၏အထွတ်အထိပ်သို့ အရောက်လှမ်းရန် နိုင်ငံတစ်နိုင်ငံ၏စက်မှုလုပ်ငန်း၏ ဆုံးဖြတ်ချက်လည်းဖြစ်သည်။
ပို့စ်အချိန်- ဧပြီလ 03-2025