सीव्हीडी फिल्म कोटिंगसाठी एसआयसी सब्सट्रेट

रासायनिक बाष्प संचय

रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) ऑक्साईड ही एक रेषीय वाढ प्रक्रिया आहे जिथे एक पूर्वगामी वायू अणुभट्टीमधील वेफरवर एक पातळ थर जमा करतो. ही वाढ प्रक्रिया कमी तापमानाची असते आणि तुलनेत त्याचा वाढीचा दर खूपच जास्त असतो.थर्मल ऑक्साईड. तसेच ते सिलिकॉन डायऑक्साइडचे थर खूपच पातळ करते कारण फिल्म वाढण्याऐवजी डिपोस्ट केली जाते. ही प्रक्रिया उच्च विद्युत प्रतिरोधकतेसह फिल्म तयार करते, जी इतर अनेक अनुप्रयोगांसह IC आणि MEMS उपकरणांमध्ये वापरण्यासाठी उत्तम आहे.

जेव्हा बाह्य थराची आवश्यकता असते परंतु सिलिकॉन सब्सट्रेटचे ऑक्सिडीकरण होऊ शकत नाही तेव्हा रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) ऑक्साइड केले जाते.

रासायनिक बाष्प संचयन वाढ:

जेव्हा कमी तापमानाच्या रिअॅक्टरमध्ये वायू किंवा वाफ (पूर्वसूचक) आणली जाते तेव्हा हृदयरोगाची वाढ होते जिथे वेफर्स उभ्या किंवा आडव्या पद्धतीने व्यवस्थित केले जातात. वायू प्रणालीतून फिरतो आणि वेफर्सच्या पृष्ठभागावर समान रीतीने वितरित होतो. हे पूर्वसूचक रिअॅक्टरमधून फिरत असताना, वेफर्स त्यांना त्यांच्या पृष्ठभागावर शोषू लागतात.

एकदा संपूर्ण प्रणालीमध्ये पूर्वसूचकांचे समान वितरण झाले की, सब्सट्रेट्सच्या पृष्ठभागावर रासायनिक अभिक्रिया सुरू होतात. या रासायनिक अभिक्रिया बेटांच्या रूपात सुरू होतात आणि प्रक्रिया चालू राहिल्याने, बेटे वाढतात आणि इच्छित फिल्म तयार करण्यासाठी विलीन होतात. रासायनिक अभिक्रियांमुळे वेफर्सच्या पृष्ठभागावर द्विउत्पादने तयार होतात, जी सीमा थर ओलांडून पसरतात आणि अणुभट्टीतून बाहेर पडतात, ज्यामुळे फक्त वेफर्सवर त्यांचा जमा केलेला फिल्म कोटिंग राहतो.

आकृती १

रासायनिक वाष्प संचयनाचे फायदे:

• कमी तापमानात वाढ प्रक्रिया.
• जलद जमा होण्याचा दर (विशेषतः APCVD).
• सिलिकॉन सब्सट्रेट असणे आवश्यक नाही.
• चांगले स्टेप कव्हरेज (विशेषतः PECVD).

आकृती २
सिलिकॉन डायऑक्साइडचे साठेबाजी विरुद्ध वाढ

रासायनिक वाष्प निक्षेपणाबद्दल अधिक माहितीसाठी किंवा कोटची विनंती करण्यासाठी, कृपयाएसव्हीएमशी संपर्क साधाआज आमच्या विक्री पथकातील सदस्याशी बोलण्यासाठी.

सीव्हीडीचे प्रकार

एलपीसीव्हीडी

कमी दाबाच्या रासायनिक बाष्प निक्षेपण ही दाबाशिवाय एक मानक रासायनिक बाष्प निक्षेपण प्रक्रिया आहे. LPCVD आणि इतर CVD पद्धतींमधील मुख्य फरक म्हणजे निक्षेपण तापमान. LPCVD फिल्म निक्षेपित करण्यासाठी सर्वाधिक तापमान वापरते, सामान्यतः 600°C पेक्षा जास्त.

कमी दाबाचे वातावरण उच्च शुद्धता, पुनरुत्पादनक्षमता आणि एकरूपतेसह एकसमान फिल्म तयार करते. हे १० - १,००० पाउंड दरम्यान केले जाते, तर मानक खोलीचा दाब १०१,३२५ पाउंड असतो. तापमान या फिल्म्सची जाडी आणि शुद्धता ठरवते, उच्च तापमानामुळे जाड आणि अधिक शुद्ध फिल्म्स तयार होतात.

• सामान्य चित्रपट जमा केले जातात:पॉलिसिलिकॉन, डोप केलेले आणि अनपेड केलेले ऑक्साइड,नायट्राइड्स.

पीईसीव्हीडी

प्लाझ्मा वर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेपण ही कमी तापमानाची, उच्च फिल्म घनतेची निक्षेपण पद्धत आहे. PECVD हे CVD रिअॅक्टरमध्ये प्लाझ्मा जोडून केले जाते, जो अंशतः आयनीकृत वायू आहे ज्यामध्ये उच्च मुक्त इलेक्ट्रॉन सामग्री (~५०%) असते. ही कमी तापमान निक्षेपण पद्धत आहे जी १००°C - ४००°C दरम्यान होते. PECVD कमी तापमानात करता येते कारण मुक्त इलेक्ट्रॉनमधील ऊर्जा प्रतिक्रियाशील वायूंना विलग करून वेफर पृष्ठभागावर एक फिल्म तयार करते.

या निक्षेपण पद्धतीमध्ये दोन वेगवेगळ्या प्रकारचे प्लाझ्मा वापरले जातात:

1. थंड (औष्णिक नसलेले): इलेक्ट्रॉनचे तापमान तटस्थ कण आणि आयनांपेक्षा जास्त असते. ही पद्धत निक्षेपण कक्षातील दाब बदलून इलेक्ट्रॉनची ऊर्जा वापरते.
2. औष्णिक: इलेक्ट्रॉनचे तापमान निक्षेपण कक्षातील कण आणि आयनांच्या तापमानाइतकेच असते.

डिपॉझिशन चेंबरमध्ये, वेफरच्या वर आणि खाली इलेक्ट्रोडमध्ये रेडिओ-फ्रिक्वेन्सी व्होल्टेज पाठवला जातो. हे इलेक्ट्रॉन चार्ज करते आणि इच्छित फिल्म जमा करण्यासाठी त्यांना उत्तेजित स्थितीत ठेवते.

PECVD द्वारे चित्रपट वाढवण्याचे चार टप्पे आहेत:

1. डिपॉझिशन चेंबरच्या आत इलेक्ट्रोडवर टार्गेट वेफर ठेवा.
2. चेंबरमध्ये प्रतिक्रियाशील वायू आणि निक्षेपण घटकांचा परिचय द्या.
3. इलेक्ट्रोडमध्ये प्लाझ्मा पाठवा आणि प्लाझ्मा उत्तेजित करण्यासाठी व्होल्टेज लावा.
4. प्रतिक्रियाशील वायू विलग होतो आणि वेफर पृष्ठभागाशी प्रतिक्रिया देऊन एक पातळ थर तयार करतो, उपउत्पादने चेंबरच्या बाहेर पसरतात.

• सामान्यपणे जमा होणारे चित्रपट: सिलिकॉन ऑक्साईड, सिलिकॉन नायट्राइड, अनाकार सिलिकॉन,सिलिकॉन ऑक्सिनायट्राइड्स (Si_xO_yN_z).

एपीसीव्हीडी

वातावरणीय दाब रासायनिक वाष्प निक्षेपण ही कमी तापमान निक्षेपण तंत्र आहे जी भट्टीमध्ये मानक वातावरणीय दाबावर केली जाते. इतर CVD पद्धतींप्रमाणे, APCVD ला निक्षेपण कक्षेत एक पूर्वगामी वायू आवश्यक असतो, नंतर तापमान हळूहळू वाढते जेणेकरून वेफर पृष्ठभागावरील प्रतिक्रिया उत्प्रेरित होतील आणि एक पातळ थर जमा होईल. या पद्धतीच्या साधेपणामुळे, त्याचा निक्षेपण दर खूप जास्त आहे.

• सामान्यपणे जमा केलेले चित्रपट: डोप केलेले आणि न काढलेले सिलिकॉन ऑक्साइड, सिलिकॉन नायट्राइड. यामध्ये देखील वापरले जातेअॅनिलिंग.

एचडीपी सीव्हीडी

उच्च घनता प्लाझ्मा रासायनिक वाष्प निक्षेपण ही PECVD ची एक आवृत्ती आहे जी उच्च घनता प्लाझ्मा वापरते, ज्यामुळे वेफर्सना निक्षेपण चेंबरमध्ये आणखी कमी तापमानात (८०°C-१५०°C दरम्यान) प्रतिक्रिया देता येते. यामुळे उत्तम खंदक भरण्याची क्षमता असलेला एक चित्रपट देखील तयार होतो.

• सामान्यपणे जमा होणारे चित्रपट: सिलिकॉन डायऑक्साइड (SiO₂), सिलिकॉन नायट्राइड (Si₃N₄),सिलिकॉन कार्बाइड (SiC).

एसएसीव्हीडी

उपवातावरणीय दाब रासायनिक बाष्प संचयन इतर पद्धतींपेक्षा वेगळे आहे कारण ते मानक खोलीच्या दाबापेक्षा कमी होते आणि ओझोन (O₃) अभिक्रिया उत्प्रेरक करण्यास मदत करण्यासाठी. निक्षेपण प्रक्रिया LPCVD पेक्षा जास्त परंतु APCVD पेक्षा कमी दाबाने होते, सुमारे १३,३०० Pa आणि ८०,००० Pa दरम्यान. SACVD फिल्म्समध्ये निक्षेपण दर जास्त असतो आणि तापमान वाढल्याने ते ४९०°C पर्यंत सुधारते, ज्या वेळी ते कमी होऊ लागते.

• सामान्य चित्रपट जमा केले जातात:बीपीएसजी, पीएसजी,टीईओएस.

शेडोंग झोंगपेंग स्पेशल सिरॅमिक्स कंपनी लिमिटेड ही चीनमधील सर्वात मोठ्या सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक नवीन मटेरियल सोल्यूशन्सपैकी एक आहे. SiC तांत्रिक सिरेमिक: Moh ची कडकपणा 9 आहे (न्यू Moh ची कडकपणा 13 आहे), क्षरण आणि गंज यांना उत्कृष्ट प्रतिकार, उत्कृष्ट घर्षण - प्रतिकार आणि अँटी-ऑक्सिडेशनसह. SiC उत्पादनाचे सेवा आयुष्य 92% अॅल्युमिना मटेरियलपेक्षा 4 ते 5 पट जास्त आहे. RBSiC चा MOR SNBSC पेक्षा 5 ते 7 पट आहे, तो अधिक जटिल आकारांसाठी वापरला जाऊ शकतो. कोटेशन प्रक्रिया जलद आहे, वितरण वचन दिल्याप्रमाणे आहे आणि गुणवत्ता कोणत्याहीपेक्षा कमी नाही. आम्ही नेहमीच आमच्या ध्येयांना आव्हान देत राहतो आणि समाजाला आमचे मन देतो.