Цахиурын карбидыг 1893 онд дугуй нунтаглах болон автомашины тоормосны үйлдвэрлэлийн зүлгүүр болгон нээсэн. 20-р зууны дунд үед SiC вафлийн хэрэглээ LED технологид улам бүр нэмэгдэж эхэлсэн. Түүнээс хойш энэ нь давуу талтай физик шинж чанараасаа шалтгаалан олон тооны хагас дамжуулагч хэрэглээнд өргөжсөн. Эдгээр шинж чанарууд нь хагас дамжуулагчийн салбарт болон гадна өргөн хүрээний хэрэглээнд илэрдэг. Мурын хууль хязгаартаа хүрч байгаа тул хагас дамжуулагчийн салбарын олон компаниуд цахиурын карбидыг ирээдүйн хагас дамжуулагч материал болгон ашиглахыг эрмэлзэж байна. SiC-ийг олон төрлийн SiC ашиглан үйлдвэрлэж болох боловч хагас дамжуулагчийн салбарт ихэнх суурь нь 4H-SiC байдаг бөгөөд SiC зах зээл өсөхийн хэрээр 6H- нь бага түгээмэл болж байна. 4H- ба 6H- цахиурын карбидын тухайд H нь талст торны бүтцийг илэрхийлдэг. Тоо нь талст бүтэц доторх атомуудын давхаргын дарааллыг илэрхийлдэг бөгөөд үүнийг доорх SVM чадавхийн хүснэгтэд тайлбарласан болно. Цахиурын карбидын хатуулгийн давуу талууд Цахиурын карбидыг уламжлалт цахиурын суурьтай харьцуулахад ашиглах нь олон давуу талтай. Энэ материалын гол давуу талуудын нэг нь түүний хатуулаг юм. Энэ нь материалд өндөр хурд, өндөр температур болон/эсвэл өндөр хүчдэлийн хэрэглээнд олон давуу талыг өгдөг. Цахиурын карбидын вафли нь өндөр дулаан дамжуулалттай тул дулааныг нэг цэгээс нөгөө худаг руу дамжуулж чаддаг. Энэ нь түүний цахилгаан дамжуулалтыг сайжруулж, эцэст нь жижигрүүлдэг бөгөөд энэ нь SiC вафли руу шилжих нийтлэг зорилгын нэг юм. Дулааны чадавхи SiC суурь нь дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй байдаг. Дулааны тэлэлт гэдэг нь материал халаах эсвэл хөрөх үед тэлэх эсвэл агших хэмжээ, чиглэл юм. Хамгийн түгээмэл тайлбар бол мөс боловч ихэнх металлын эсрэгээр ажилладаг бөгөөд хөрөх үед тэлж, халах үед агшдаг. Цахиурын карбидын дулааны тэлэлтийн бага коэффициент нь халаах эсвэл хөрөх үед хэмжээ, хэлбэр нь мэдэгдэхүйц өөрчлөгддөггүй гэсэн үг бөгөөд энэ нь жижиг төхөөрөмжүүдэд тохируулж, нэг чип дээр илүү олон транзисторыг савлахад төгс төгөлдөр болгодог. Эдгээр суурьуудын бас нэг гол давуу тал нь дулааны цочролд тэсвэртэй өндөр эсэргүүцэл юм. Энэ нь тэдгээр нь хагарах, хагарахгүйгээр температурыг хурдан өөрчлөх чадвартай гэсэн үг юм. Энэ нь уламжлалт задгай цахиуртай харьцуулахад цахиурын карбидын ашиглалтын хугацаа болон гүйцэтгэлийг сайжруулдаг бас нэгэн бат бөх чанарын шинж чанар тул төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд тодорхой давуу талыг бий болгодог. Дулааны чадвараас гадна энэ нь маш бат бөх суурь бөгөөд 800°C хүртэлх температурт хүчил, шүлт эсвэл хайлсан давстай урвалд ордоггүй. Энэ нь эдгээр суурь материалыг олон талт хэрэглээнд ашиглах боломжийг олгодог бөгөөд олон хэрэглээнд задгай цахиураас илүү сайн ажиллах чадварыг нь нэмэгдүүлдэг. Өндөр температурт түүний бат бөх чанар нь 1600°C-аас дээш температурт аюулгүй ажиллах боломжийг олгодог. Энэ нь бараг бүх өндөр температурт хэрэглэхэд тохиромжтой суурь болгодог.
Нийтэлсэн цаг: 2019 оны 7-р сарын 9