Чип үйлдвэрлэх зориулалттай литографийн машинд үл үзэгдэх алдаа нь олон сая долларын өртөгтэй вафельсыг устгадаг. Эндхийн шилжилтийн микрометр бүр нь нано хэмжээний хэлхээний амжилт эсвэл бүтэлгүйтэлд маш чухал бөгөөд энэхүү нарийн бүжгийг дэмждэг гол цөм нь өнөөдрийн бидний гол дүр юм.цахиурын карбидын керамик материал- Энэ нь орчин үеийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн утсыг эрс тэс орчинд хамгаалж, микроскопийн ертөнцөд тогтворжуулах хүч юм.
1、 Керамик чипстэй уулзах үед: Нарийвчлалын хамгийн том сорилт
Литографийн машинуудын нарийн керамик эд ангиуд нь нэгэн зэрэг гурван үүрэг гүйцэтгэх ёстой.
Хэт тогтвортой суурь: өртөх үед хэдэн тонн даралтыг тэсвэрлэх боловч хөдөлгөөнгүй хэвээр байна.
Температурын харуул: лазерын өндөр дулааны цохилтын үед дулааны тогтвортой байдлыг хадгална.
Вакуум хамгаалагч: чичиргээгүй орчинд атомын түвшний тэгш байдлыг арван жилийн турш хадгална.
Уламжлалт металл материал нь дулааны тэлэлт, агшилтын улмаас "бичил чичиргээ" үүсгэдэг бол полимер материал нь плазмын зэврэлтийг тэсвэрлэхэд хэцүү байдаг. Цахиур карбид керамик нь өвөрмөц талст бүтэцтэй тул хатуулаг, дулаан дамжилтын чанар, хэв гажилтын эсэргүүцлийг төгс тэнцвэржүүлж, литографийн машины үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хамгийн шилдэг сонголт болгодог.
2、 Нано түвшний нарийвчлалтай "үл үзэгдэх бие хамгаалагч"
Нидерландын ASML, Японы NIKON, CANON зэрэг дээд түвшний чулуун зургийн машинуудад цахиур карбид керамик нь нарийн үйлдвэрлэлийн дүрмийг чимээгүйхэн дахин бичиж байна.
Маскийн үе шат: алт шиг үнэтэй фото маск авч явах, өндөр хурдтай хөдөлгөөний үед нанометрийн түвшний байршлын нарийвчлалыг хадгалах.
Толин тусгал субстрат: Гадаргуугийн барзгар байдал нь маш бага, бүр толин тусгал гадаргуугаас ч илүү жигд байдаг.
Вакуум камер: Арван жил ашигласны дараа хүний үсний мянганы нэг хүрэхгүй хэв гажилт
Энэхүү бараг "ерөнхий ойлголтын эсрэг" тогтвортой байдал нь цахиурын карбидын материалын гурвалсан генээс үүдэлтэй.
1. Дулааны тэлэлтийн коэффициент тэг рүү ойртоно: бараг "хөлдөөсөн нас" -150 ℃-аас 500 ℃ хүртэл.
2. Ганаас 3 дахин хатуу: бөөмийн бөмбөгдөлтөөс үүдэлтэй бичил харуурын гэмтэлд тэсвэртэй
3. Өөрөө тосолгооны шинж чанар: Вакуум орчинд тосгүй нарийн дамжуулалтыг бий болгоно.
3、 Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн “чимээгүй хувьсгал”
Чип үйлдвэрлэх үйл явц 2 нанометрийн эрин үе рүү шилжиж байгаа тул цахиурын карбидын керамикууд илүү олон хязгаарлалтыг давж байна:
Хос ажлын ширээ: хоёр системд вакуум орчинд "атомын түвшний реле" хийх боломжийг олгодог.
EUV оптик замын систем: 13.5 нм хэт ягаан туяаны тасралтгүй бөмбөгдөлтөд тэсвэртэй.
Олон тэнхлэгийн холболтын систем: хуримтлагдсан алдаа гаргахгүйгээр секундэд 200 нано хэмжээст алхамд хүрэх.
Литографийн машины R&D баг харьцуулсан туршилтуудыг хийсэн: цахиурын карбидын керамик бэлдэцийн үе шатыг ашигласны дараа системийн байршлын нарийвчлал 40% -иар сайжирч, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний хугацаа 3 сараас 2 жил хүртэл нэмэгдэв. Энэхүү өөрчлөлт нь чипсийн үйлдвэрлэлийн өртгийг бууруулаад зогсохгүй “Хятад чипс”-ийн үйлдвэрлэлийн нарийвчлалыг олон улсын стандартад анх удаа хүргэж байна.
4、 Лабораториос үйлдвэржилт хүртэл авирах зам
Литографийн зэрэглэлийн цахиур карбид керамик үйлдвэрлэх нь бичил харуурын ертөнцөд "өөгүй ордон" барихтай адил юм.
Түүхий эдийн цэвэр байдал: Хэт цэвэр цахиурын карбидын нунтаг, хүнсний давснаас хэдэн мянга дахин цэвэр.
Синтерлэх үйл явц: өндөр температурт болор өсөлтийн чиглэлийг нарийн хянах.
Микрон түвшний сийлбэр хийхэд алмаазан зүсэгч багаж ашиглан нарийн боловсруулалт хийх нь соёлын дурсгалт зүйлсийг сэргээн засварлахтай адил цаг хугацаа шаарддаг.
"Материалын шинжлэх ухаан+нарийн үйлдвэрлэл"-ийн энэхүү хоёрдмол нээлт нь сансар огторгуй, цэргийн үйлдвэрээр хязгаарлагдаж байсан хамгийн сүүлийн үеийн материалуудыг одоо дижитал соёл иргэншлийг дэмжих үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг болгосон юм.
Физик хязгаарт хүрсэн өнөөгийн чипний үйлдвэрлэлийн процесст цахиур карбид керамик нь "тэг буулт" шинж чанараараа жинхэнэ нарийвчлал нь өгөгдлийг давхарлах биш, харин материалын мөн чанарыг дээд зэргээр хянах явдал гэдгийг баталж байна. Керамик эд анги бүр нь сая сая нано хэмжээний хөдөлгөөнийг амлаж байгаа үед бидний харж байгаа зүйл бол хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хувьсал төдийгүй тухайн улсын үйлдвэрлэлийн нарийн нарийвчлалын оргилд хүрэх шийдэмгий байдал юм.
Шуудангийн цаг: 2025-04-03