Tïpako SiC mo te paninga kiriata CVD

Kohu Kohu Matū

Ko te waikura kohu matū (CVD) he tukanga tipu ahorangi ka whakatakotohia e te hau omua he kiriata angiangi ki runga i te angiangi i roto i te reactor. He iti te pāmahana te tukanga tipu, he nui ake te tipu o te tipu ina whakaritea kiwaikura waiariki. Ka whakaputa ano hoki i nga paparanga hiako hauhautanga angiangi ake na te mea kua whakahekehia te kiriata, kaua ki te tipu. Ko tenei tukanga e whakaputa ana i te kiriata me te kaha o te hiko hiko, he pai mo te whakamahi i roto i nga IC me nga taputapu MEMS, i roto i te maha atu o nga tono.

Ka mahia te waikura kohu matū (CVD) i te wa e hiahiatia ana he paparanga o waho engari kare pea te tïpako silicon e taea ki te waikura.

Te Tiputanga Whakaputanga Maama Kohu:

Ka tupu te tipu o te CVD ina whakaurua he hau, he kohu ranei (muamu) ki roto i te reactor pāmahana iti ka whakaritea nga angiangi kia poutū, whakapae ranei. Ka neke te hau i roto i te punaha, ka tohatoha rite ki te mata o nga angiangi. I te wa e nuku haere ana enei mea i roto i te reactor, ka timata nga angiangi ki te kuhu ki runga i te mata.

Kia taurite te tohatoha o nga kaimatai puta noa i te punaha, ka timata nga tauhohenga matū ki te mata o nga taputapu. Ko enei tauhohenga matū ka timata hei moutere, a, i te wa e haere tonu ana te mahi, ka tipu haere nga moutere ka hanumi ki te hanga i te kiriata e hiahiatia ana. Ko nga tauhohenga matū ka hanga huarua ki runga i te mata o nga angiangi, ka marara puta noa i te paparanga rohe ka rere ki waho o te reactor, ka waiho ko nga angiangi me o ratou paninga kiriata kua whakatakotoria.

Whakaahua 1

Nga Painga o te Wehenga Kohu Matū:

• Te tukanga tipu iti o te pāmahana.
• Te reiti tukunga tere (ina koa ko te APCVD).
• Karekau me waiho he tïpako silika.
• He pai te kapi o te taahiraa (ina koa ko te PECVD).

Whakaahua 2
Ko te waikura hauhauora me te tipu

Mo te roanga atu o nga korero mo te whakangao matū kohu, ki te tono utu ranei, tena koaWHAKAPONO SVMi tenei ra ki te korero ki tetahi mema o ta matou roopu hoko.

Nga momo CVD

LPCVD

Ko te whakahekenga matū kohu matū iti he mahinga whakangao matū matū kaore he pehanga. Ko te rereketanga nui i waenga i te LPCVD me etahi atu tikanga CVD ko te pāmahana waipara. Ka whakamahia e te LPCVD te pāmahana teitei rawa atu ki te whakatakoto kiriata, i runga ake i te 600°C.

Ko te taiao iti-pēhanga ka hangaia he kiriata tino rite me te tino ma, te whakaputa, me te riterite. Ka mahia tenei i waenga i te 10 - 1,000 Pa, i te mea ko te pehanga o te ruma paerewa ko te 101,325 Pa. Ko te pāmahana e whakatau ana i te matotoru me te ma o enei kiriata, me te teitei ake o te pāmahana ka puta mai he kiriata matotoru me te parakore.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia:polysilicon, te waikura,nitrides.

PECVD

Ko te whakahekenga matū matū kua whakarei ake i te plasma he iti te pāmahana, he tikanga whakaheke kiato kiriata teitei. Ka mahia te PECVD i roto i te reactor CVD me te taapiri o te plasma, he hau katote-a-waa me te nui o te irahiko kore utu (~50%). He tikanga whakaheke pāmahana iti tenei ka mahia i waenga i te 100°C – 400°C. Ka taea te mahi i te PECVD i te iti o te mahana na te mea ko te kaha mai i nga irahiko koreutu ka wehewehe i nga hau hohenga hei hanga kiriata i runga i te mata angiangi.

E rua nga momo momo plasma e whakamahia ana e tenei tikanga tukunga:

1. Matao (kore-waariki): he teitei ake te pāmahana o nga irahiko i nga matūriki me nga katote. Ka whakamahia e tenei tikanga te kaha o nga irahiko ma te huri i te pehanga i roto i te ruuma waipara.
2. Ngaaariki: he rite tonu te mahana o nga irahiko ki nga matūriki me nga katote i roto i te ruuma waipara.

I roto i te ruuma waipara, ka tukuna te ngaohiko reo irirangi i waenga i nga hiko o runga me raro o te angiangi. Ka utu tenei i nga irahiko me te pupuri i a raatau i roto i te ahua whakahihiri hei whakatakoto i te kiriata e hiahiatia ana.

E wha nga taahiraa ki te whakatipu kiriata ma te PECVD:

1. Whakanohoia te angiangi whai i runga i te hiko i roto i te ruuma waipara.
2. Whakauruhia nga hau hohenga me nga huānga waipara ki te ruuma.
3. Tukuna te plasma ki waenga i nga hikohiko me te whakamahi i te ngaohiko hei whakaohooho i te plasma.
4. Ka wehe te hau hohenga me te tauhohe ki te mata angiangi kia hanga he kiriata angiangi, ka marara atu nga hua ki waho o te ruma.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia: nga waikura silicon, silicon nitride, silicon amorphous,oxynitrides silicon (Si_xO_yN_z).

APCVD

Ko te pehanga matū kohu kohu he tikanga whakaheke pāmahana iti ka mahia i roto i te oumu i te pehanga hau paerewa. Pērā i ētahi atu tikanga CVD, ka hiahia te APCVD i te hau kaamata ki roto i te ruuma waipara, katahi ka piki te pāmahana ki te whakakorikori i nga tauhohenga ki te mata angiangi me te whakatakoto i tetahi kiriata kikokore. Na te ngawari o tenei tikanga, he nui rawa te reiti waipara.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia: ko nga waikura hiraka karekau, karehia hoki, nga nitrides. Ka whakamahia ano i roto iwhakapouri.

HDP CVD

Ko te whakahekenga matū matū matū kiato teitei he putanga o te PECVD e whakamahi ana i te plasma kiato teitei ake, e taea ai e nga angiangi te tauhohe me te iti ake o te pāmahana (i waenga i te 80°C-150°C) i roto i te ruuma waipara. Ka hanga ano he kiriata me nga kaha whakaki i te awaawa nui.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia: te hauhā (SiO₂), silicon nitride (Si₃N₄),carbide silicon (SiC).

SACVD

He rereke te pehanga matū matū te pehanga hau-a-roto i etahi atu tikanga na te mea ka puta i raro i te pehanga o te ruma paerewa me te whakamahi i te ozone (O₃) hei awhina i te whakakorikori i te tauhohenga. Ko te tukanga tukunga ka puta i te pehanga teitei ake i te LPCVD engari he iti iho i te APCVD, i waenga i te 13,300 Pa me te 80,000 Pa. Ko nga kiriata SACVD he nui te reiti wairewa, ka pai ake i te pikinga o te pāmahana tae noa ki te 490°C, i tera wa ka timata te heke.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia:BPSG, PSG,TEOS.

Ko Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd tetahi o nga rongoa hou rawa hou o te carbide silicon carbide i Haina. SiC hangarau uku: Ko te pakeke o Moh he 9 (Ko te pakeke hou o Moh he 13), he tino pai te atete ki te horo me te waikura, tino pai te abrasion – te atete me te aukati i te waikura. Ko te ora ratonga o te hua SiC ko 4 ki te 5 wa roa atu i te 92% rauemi alumina. Ko te MOR o RBSiC he 5 ki te 7 nga wa o te SNBSC, ka taea te whakamahi mo nga ahua uaua ake. He tere te mahi tuku korero, he rite tonu te tukunga mai me te kounga he tuarua ki te kore. Ka tohe tonu matou ki te wero i a matou whainga me te whakahoki i o matou ngakau ki te hapori.