Tïpako SiC mo te paninga kiriata CVD

Kohu Kohu Matū

Ko te waikura kohu matū (CVD) he tukanga tipu ahorangi ka whakatakotohia e te hau omua he kiriata angiangi ki runga i te angiangi i roto i te reactor. He iti te pāmahana te tukanga tipu, he nui ake te tipu o te tipu ina whakaritea kiwaikura waiariki. Ka whakaputa ano hoki i nga paparanga hiako hauhautanga angiangi ake na te mea kua whakahekehia te kiriata, kaua ki te tipu. Ko tenei tukanga e whakaputa ana i te kiriata me te kaha o te hiko hiko, he mea pai mo te whakamahi i nga IC me nga taputapu MEMS, i roto i te maha atu o nga tono.

Ka mahia te waikura kohu matū (CVD) i te wa e hiahiatia ana he paparanga o waho engari kare pea te tïpako silicon e taea ki te waikura.

Te Tiputanga Whakaputanga Maama Kohu:

Ka tupu te tipu o te CVD ina whakaurua he hau, he kohu ranei (muamu) ki roto i te reactor pāmahana iti ka whakaritea nga angiangi kia poutū, whakapae ranei. Ka neke te hau i roto i te punaha, ka tohatoha rite ki te mata o nga angiangi. I te wa e nuku haere ana enei mea i roto i te reactor, ka timata nga angiangi ki te kuhu ki runga i te mata.

Kia taurite te tohatoha o nga kaimatai puta noa i te punaha, ka timata nga tauhohenga matū ki te mata o nga taputapu. Ko enei tauhohenga matū ka timata hei moutere, a, i te wa e haere tonu ana te mahi, ka tipu haere nga moutere ka hanumi ki te hanga i te kiriata e hiahiatia ana. Ko nga tauhohenga matū ka hanga huarua ki runga i te mata o nga angiangi, ka marara puta noa i te paparanga rohe ka rere ki waho o te reactor, ka waiho ko nga angiangi me o ratou paninga kiriata kua whakatakotoria.

Whakaahua 1

Nga Painga o te Whakapae Kohu Matū:

• Te tukanga tipu iti o te pāmahana.
• Te reiti tukunga tere (ina koa ko te APCVD).
• Kaore e tika kia waiho he taputapu silicon.
• He pai te kapi o te taahiraa (ina koa ko te PECVD).

Whakaahua 2
Ko te waikura hauhauora me te tipu

Mo te roanga atu o nga korero mo te whakangao matū kohu, ki te tono utu ranei, tena koaWHAKAPONO SVMi tenei ra ki te korero ki tetahi mema o ta matou roopu hoko.

Nga momo CVD

LPCVD

Ko te whakahekenga matū kohu matū iti he mahinga whakangao matū matū kaore he pehanga. Ko te rereketanga nui i waenga i te LPCVD me etahi atu tikanga CVD ko te pāmahana waipara. Ka whakamahia e te LPCVD te pāmahana teitei rawa atu ki te whakatakoto kiriata, i runga ake i te 600°C.

Ko te taiao iti-pēhanga ka hangaia he kiriata tino rite me te tino ma, te whakaputa, me te riterite. Ka mahia tenei i waenga i te 10 - 1,000 Pa, i te mea ko te pehanga o te ruma paerewa ko te 101,325 Pa. Ko te pāmahana e whakatau ana i te matotoru me te ma o enei kiriata, me te teitei ake o te pāmahana ka puta mai he kiriata matotoru me te parakore.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia:polysilicon, te waikura,nitrides.

PECVD

Ko te whakahekenga matū matū kua whakarei ake i te plasma he iti te pāmahana, he tikanga whakaheke kiato kiriata teitei. Ka mahia te PECVD i roto i te reactor CVD me te taapiri o te plasma, he hau katote-a-waa me te nui o te irahiko kore utu (~50%). He tikanga whakaheke pāmahana iti tenei ka mahia i waenga i te 100°C – 400°C. Ka taea te mahi i te PECVD i te iti o te mahana na te mea ko te kaha mai i nga irahiko koreutu ka wehewehe i nga hau hohenga hei hanga kiriata i runga i te mata angiangi.

E rua nga momo momo plasma e whakamahia ana e tenei tikanga tukunga:

1. Matao (kore-waariki): he teitei ake te pāmahana o nga irahiko i nga matūriki me nga katote. Ka whakamahia e tenei tikanga te kaha o nga irahiko ma te huri i te pehanga i roto i te ruuma waipara.
2. Ngaaariki: he rite tonu te mahana o nga irahiko ki nga matūriki me nga katote i roto i te ruuma waipara.

I roto i te ruuma waipara, ka tukuna te ngaohiko reo irirangi i waenga i nga hiko o runga me raro o te angiangi. Ka utu tenei i nga irahiko me te pupuri i a raatau i roto i te ahua whakahihiri hei whakatakoto i te kiriata e hiahiatia ana.

E wha nga taahiraa ki te whakatipu kiriata ma te PECVD:

1. Whakanohoia te angiangi whai i runga i te hiko i roto i te ruuma waipara.
2. Whakauruhia nga hau hohenga me nga huānga waipara ki te ruuma.
3. Tukuna te plasma ki waenga i nga hikohiko me te whakamahi i te ngaohiko hei whakaohooho i te plasma.
4. Ka wehe te hau hohenga me te tauhohe ki te mata angiangi kia hanga he kiriata angiangi, ka marara atu nga hua ki waho o te ruma.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia: nga waikura silicon, silicon nitride, silicon amorphous,oxynitrides silicon (Si_xO_yN_z).

APCVD

Ko te pehanga matū kohu kohu he tikanga whakaheke pāmahana iti ka mahia i roto i te oumu i te pehanga hau paerewa. Pērā i ētahi atu tikanga CVD, ka hiahia te APCVD i te hau kaamata ki roto i te ruuma waipara, katahi ka piki te pāmahana ki te whakakorikori i nga tauhohenga ki te mata angiangi me te whakatakoto i tetahi kiriata kikokore. Na te ngawari o tenei tikanga, he nui rawa te reiti waipara.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia: ko nga waikura hiraka karekau, karehia hoki, nga nitrides. Ka whakamahia ano i roto iwhakapouri.

HDP CVD

Ko te whakahekenga matū matū matū kiato teitei he putanga o te PECVD e whakamahi ana i te plasma kiato teitei ake, e taea ai e nga angiangi te tauhohe me te iti ake o te pāmahana (i waenga i te 80°C-150°C) i roto i te ruuma waipara. Ka hanga ano he kiriata me nga kaha whakaki i te awaawa nui.

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia: te hauhā (SiO₂), silicon nitride (Si₃N₄),carbide silicon (SiC).

SACVD

He rereke te pehanga matū matū te pehanga hau-a-roto i etahi atu tikanga na te mea ka puta i raro i te pehanga o te ruma paerewa me te whakamahi i te ozone (O₃) hei awhina i te whakakorikori i te tauhohenga. Ko te tukanga tukunga ka puta i te pehanga teitei ake i te LPCVD engari he iti iho i te APCVD, i waenga i te 13,300 Pa me te 80,000 Pa. Ko nga kiriata SACVD he nui te reiti whakahekenga ka pai ake i te pikinga o te pāmahana tae noa ki te 490°C, ka timata te heke. .

• Ko nga kiriata noa i whakatakotohia:BPSG, PSG,TEOS.

Ko Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd tetahi o te nui rawa atu o te silicon carbide ceramic otinga rauemi hou i Haina. SiC hangarau uku: Ko te pakeke o Moh he 9 (Ko te pakeke o Moh hou he 13), he tino pai te atete ki te horo me te waikura, tino pai te abrasion – te atete me te aukati i te waikura. Ko te ora ratonga o te hua SiC ko 4 ki te 5 wa roa atu i te 92% rauemi alumina. Ko te MOR o RBSiC he 5 ki te 7 nga wa o te SNBSC, ka taea te whakamahi mo nga ahua uaua ake. He tere te mahi tuku korero, he rite te tukunga mai i oati, he tuarua te kounga. Ka tohe tonu matou ki te wero i a matou whainga me te whakahoki i o matou ngakau ki te hapori.