Sic tïpako mo te paninga kiriata cvd

Te Whakatuturutanga Taputapu Taiao

Ko te whakahekenga o te kohinga matū (CVD) he tukanga tipu te rahinga ka riro te hau angiangi ki te kiriata angiangi ki te kaikiri. Ko te tukanga tipu he iti te pāmahana me te nui o te tipu o te tipu ka whakaritea kiwaiariki. Ka whakaputa hoki i nga paparanga silicon tino pai na te mea kua tukuna te kiriata, kaua ki te tupu. Ko tenei mahinga ka whakaputa i te kiriata me te whakaeke hiko teitei, he mea nui ki te whakamahi i nga taputapu me nga mahi maeneene, i roto i etahi atu tono.

Ko te whakahekenga o te kohinga matū (CVD) ka mahia i te wa e hiahiatia ana te papanga o waho engari kaore pea e taea te whakakii i te paparanga o waho.

Ko te tipu o te whakahekenga o te kohurutanga matū:

Ka tipu te tipu CVD i te whakaurutanga o te hau me te vapo ranei (Precersor) ki te kaiwhakawao pāmahana iti i te wa e whakarite ana nga piringa i te whakapae ranei. Ka neke te hau i roto i te punaha me te tohatoha noa puta noa i te mata o nga kaana. I te nekehanga o enei kaiwhakaputa i roto i te kaiwhakanao, ka tiimata nga rafers ki te tango i a raatau ki to raatau mata.

Ina tohatoha noa atu nga kaiwhakaputa puta noa i te punaha, ka timata nga tauhohenga matū i te mata o nga tihi. Ka tiimata enei tauhohenga matū, ka rite tonu te mahi, ka tipu haere nga moutere ki te hanga i te kiriata e hiahiatia ana. Ko nga tauhohenga matū ka waihanga i te biproducts i runga i te papa o te rohe, e rere ke ana i te paparanga o te rohe, ka rere ke atu i te kaakahu me o raatau paninga kiriata.

Whakaahua 1

Nga painga o te whakahekenga kohinga matū:

• Te tukanga tipu pāmahana iti.
• Tere tere tere (rawa apcvd).
• Kaore e tika kia waiho hei otaota silicon.
• He pai te taahiraa taahiraa (ina koa ko te pecvd).

Whakaata 2
Silicon Dioxide Tukunga VS. Te tipu

Mo te roanga atu o nga korero mo te whakakorenga o te kohurutanga matū, ki te tono ranei i tetahi korero, tēnā koeWhakapa atu ki te SVMI tenei ra ki te korero me tetahi mema o ta maatau roopu hoko.

Nga momo CVD

Lpcvd

Ko te whakahekenga o te whakahekenga o te kohurutanga o te kohurutanga matūriki he tukanga whakahekehanga a te kohu paerewa kore e parea. Ko te rereketanga nui i waenga i te LPCVD me etahi atu tikanga CVD ko te pāmahana whakahekenga. Ka whakamahi a LPCVD i te pāmahana teitei ki te penapena i nga kiriata, i runga ake i te 600 ° C.

Ko te taiao iti-te-kaha ka hangaia he kiriata tino rite ki te tino ma, te whakaputa uri, me te homogeneity. Ka mahia tenei i waenga i te 10 - 1,000 pa, ko te taumaha o te rūma paerewa he 101,325 te pa ki te matotoru me te pokekore o enei kiriata, he nui ake nga kiriata.

• Ko nga kiriata noa kua penapena:polysilicon, peia me te aukati i nga oxides,nitrides.

Pecvd

Ko te whakahekenga o te kohurutanga o te kohurutanga miihini he iti te pāmahana, te tikanga whakahekenga o te kiriata mo te kiriata kiriata. Ko te Pecvd ka uru ki tetahi taapiri CVD me te taapiri o te plasma, he hau miiharo he mea nui me te ihirangi hiko koreutu (~ 50%). Koinei te tikanga whakahekenga o te pāmahana e tupu ana i waenga i te 100 ° C - 400 ° C. Ka taea te mahi a Pecvd i nga pāmahana iti na te mea ko te kaha o nga hiko-kore-kore e raru i nga miihini reactive ki te hanga kiriata i runga i te mata o te mata.

Ka whakamahia e tenei tikanga whakahekenga nga momo rereke e rua o te plasma:

1. Makariri (kore-wera): He teitei ake te pāmahana i te matūriki kaore i te matūriki. Ko tenei tikanga e whakamahi ana i te kaha o nga hikohiko ma te huri i te pehanga i roto i te ruma whakahekenga.
2. Te Thermal: Ko nga hikohiko te rite te pāmahana rite te matūriki me nga amo i roto i te ruma whakahekenga.

Kei roto i te ruma whakahekenga, ka tukuna te huringa reo irirangi-i te reo irirangi i waenga i nga hiko i runga ake nei me raro o te kaawene. Ka utua tenei i nga hikohiko me te pupuri i a raatau i roto i te ahua hihiri ki te penapena i te kiriata e hiahiatia ana.

E wha nga hikoinga ki te whakatipu kiriata ma te pecvd:

1. A tuu i te whaainga whaainga i runga i te hiko i roto i te ruma whakahekenga.
2. Whakauruhia nga haunga reactive me nga waahanga whakahekenga ki te ruma.
3. Tukuna he plasma i waenga i nga hiko me te tono i te ngaohiko hei whakaihiihi i te papa.
4. Ko nga huringa o te hau reaceacticates me te tauhohe ki te mata o te waka ki te hanga i te kiriata angiangi, he rereke nga hua o te ruma.

• Ko nga kiriata noa e penapena ana: Nga Ope Maniko, Silicon Nitride, Amorph Silicon,Oxynitrides oxynitrides (SI_xO_yN_z).

PCVD

ATMospheric Te Whakaputanga ATMospheric Ko te rerenga kohinga pākahiko matū he tikanga whakahekenga pāmahana e pa ana ki te oumu i te pehanga ATMospheric paerewa. Ka rite ki etahi atu tikanga CVD, me kii te APCVD ki te hau tuururu i roto i te ruma whakahekenga, katahi ka ara ake te pāmahana ki te peehi i te mata o te mata me te penapena kiriata. Na te ngawari o tenei tikanga, he reiti whakahekeheke rawa te nui.

• Ko nga kiriata noa e penapena ana: I whakahekehia, me nga orilicon silicon ranei, silicon nitrides. Whakamahia hoki i rotoāhui.

HDP CVD

Ko te putunga nui o te kohinga o te kohinga matūriki mo te kohinga matūriki e whakamahi ana i te paparanga teitei, ka taea e te hunga te mate o te pāmahana iti ake (i waenga i te 80 ° C-150 ° C) i roto i te ruma whakahekenga. Ka hangaia ano hoki e tenei tetahi kiriata me nga kaha o te tiihi mutunga nui.

• Ko nga kiriata noa kua penapena: Silicon Dioxide (Sio₂), Silicon Nitride (SI₃N₄),Silicon Carbide (SIC).

Sacv

Ko te whakahekenga o te whakahekenga o te dubtatmospheric he rereke mai i etahi atu tikanga na te mea ka puta i raro o te pehanga o te rūma paerewa me te whakamahi ozone (O₃) Hei awhina i te urupare i te tauhohenga. Ko te mahinga whakahekenga ka piki ake i te LPCVD engari ko te APCVD, i waenga i te 130,000 pa me te 80,000 te pikinga o te pāmahana kia tae noa ki te 490 °

• Ko nga kiriata noa kua penapena:Pērā, PSG,Tei.

Shandong Zhongpeng Motuhake Motuhake Co. Maatarangi Hangarau Hangarau: Ko te Hardness o Moh ko te 9 (Ko te pakeke o te moa hou he 13), me te kaha ki te horopaki me te korokoro, te aukati me te aukati me te aukati. Ko te koiora ratonga SIC ko te 4 ki te 5 nga wa roa atu i te 92% o nga rawa a Alumina. Ko te mor o RBBIC ko te 5 ki te 7 nga wa o te SNBSC, ka taea te whakamahi mo nga momo uaua ake. He tere te whakahaere i te huringa, ko te tuku i te kupu whakaari me te kounga ko te tuarua ki te kore. Kei te mau tonu taatau ki te wero i o maatau whaainga me te whakahoki mai i o maatau ngakau ki te hapori.