ໃນໂລກຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາທີ່ທັນສະໄຫມ, ການຜິດປົກກະຕິຂະຫນາດນ້ອຍຂອງວັດສະດຸມັກຈະກໍານົດປະສິດທິພາບສູງສຸດຂອງອຸປະກອນ.ເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບດ້ວຍຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງເຂົາເຈົ້າ, ໄດ້ກາຍເປັນ "ຜູ້ປົກປ້ອງທີ່ເຂັ້ມງວດ" ທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະແຫນງການຜະລິດຊັ້ນສູງ. ຄວາມຕ້ານທານພິເສດຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ກ້າວຫນ້າຕໍ່ການຜິດປົກກະຕິແມ່ນການກໍານົດມາດຕະຖານການປະຕິບັດສໍາລັບອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ.
1, ລະຫັດວິທະຍາສາດເຂັ້ມແຂງ
Modulus elastic ຂອງວັດສະດຸແມ່ນຄ້າຍຄືໄມ້ບັນທັດສໍາລັບການວັດແທກຄວາມເຂັ້ມງວດ, ໂດຍກົງກໍານົດຄວາມສາມາດຂອງຕົນໃນການຕ້ານການຜິດປົກກະຕິພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນ. Modulus elastic ຂອງ silicon carbide ceramics ແມ່ນຫຼາຍກ່ວາສາມເທົ່າຂອງເຫຼັກທໍາມະດາ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນຄ້າຍຄືກັນກັບໂຄງກະດູກເສີມເຫຼັກໃນອາຄານໃນເວລາທີ່ໄດ້ຮັບຄວາມກົດດັນ - ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການໂຫຼດຂອງອຸປະກອນຫນັກທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ການຜິດປົກກະຕິແມ່ນມີພຽງແຕ່ 1/4 ຂອງວັດສະດຸໂລຫະ.
ຄວາມເຂັ້ມງວດພິເສດນີ້ມາຈາກໂຄງສ້າງພັນທະບັດ covalent ທີ່ເຂັ້ມແຂງພາຍໃນວັດສະດຸ. ແຕ່ລະປະລໍາມະນູຂອງຄາບອນຖືກເຊື່ອມຕໍ່ຢ່າງແຫນ້ນຫນາກັບສີ່ອະຕອມຂອງຊິລິໂຄນໂດຍຜ່ານປະຕິສໍາພັນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ປະກອບເປັນໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນສາມມິຕິລະດັບ. ເມື່ອກໍາລັງພາຍນອກປະຕິບັດ, ໂຄງສ້າງເສັ້ນດ່າງທີ່ຫມັ້ນຄົງນີ້ສາມາດກະຈາຍຄວາມກົດດັນແລະຄວບຄຸມການຜິດປົກກະຕິພາຍໃນຂອບເຂດ micrometer ໄດ້. ໃນຂົງເຂດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເວທີ optical ຄວາມແມ່ນຍໍາແລະອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີຄວາມທົນທານສູນສໍາລັບການ deformation, ລັກສະນະນີ້ຈະກາຍເປັນກຸນແຈສໍາລັບການຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງ.
2, ປັດຊະຍາຂອງອຸປະກອນທີ່ປະສົມຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມຢືດຢຸ່ນ
Silicon carbide ceramics ບໍ່ພຽງແຕ່ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມເຂັ້ມງວດສູງ, ແຕ່ຍັງມີປະສິດທິພາບທີ່ສົມບູນແບບທີ່ຫນ້າປະຫລາດໃຈ:
1. ແຂງແຕ່ບໍ່ເສື່ອມ: ຄວາມແຂງແຮງຂອງງໍຂອງມັນເກີນເຫຼັກພິເສດ, ແລະເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນທຽບເທົ່າກັບຊ້າງຜູ້ໃຫຍ່ຢືນຢູ່ຕີນຫນຶ່ງ (ປະມານ 400MPa), ມັນຍັງສາມາດຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງ. ການປະສົມປະສານຂອງຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນສູງນີ້ແກ້ໄຂບັນຫາອຸດສາຫະກໍາຂອງເຊລາມິກແບບດັ້ງເດີມທີ່ອ່ອນແອ.
2. ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນຄ້າຍຄືພູເຂົາ: ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸແມ່ນພຽງແຕ່ 1/4 ຂອງເຫຼັກກ້າ, ແລະການເຫນັງຕີງຂອງຂະຫນາດແມ່ນຫນ້ອຍໃນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມ 200 ℃. ສົມທົບກັບການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງມັນ, ມັນສາມາດດຸ່ນດ່ຽງການ gradient ອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາແລະຫຼີກເວັ້ນການສະສົມ deformation ທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ.
3. ການບໍ່ປ່ຽນຮູບ: ພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ອັດຕາການ creep ຂອງ silicon carbide ແມ່ນສອງຄໍາສັ່ງຂອງຂະຫນາດຕ່ໍາກວ່າວັດສະດຸໂລຫະ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າເຖິງແມ່ນວ່າຈະໄດ້ຮັບການໂຫຼດດຽວກັນສໍາລັບສິບປີ, ການປ່ຽນແປງຮູບຮ່າງຂອງມັນຍັງສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຕ່ໍາກວ່າຂອບເຂດຈໍາກັດການຊອກຄົ້ນຫາເຄື່ອງມື.
3, ມູນຄ່າເຕັກໂນໂລຊີແຂງ
ຄວາມສາມາດພິເສດນີ້ເພື່ອຕ້ານການຜິດປົກກະຕິແມ່ນການສ້າງຄວາມເປັນໄປໄດ້ອຸດສາຫະກໍາໃຫມ່:
ໃນລະບົບ optical ດາວທຽມ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າກະຈົກຮັກສາຄວາມຮາບພຽງຂອງລະດັບ nanometer ພາຍໃຕ້ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ຮ້າຍກາດໃນອາວະກາດ.
ຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງ sub micron ຂອງເວທີການເຄື່ອນໄຫວຂອງອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ semiconductor wafer ໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຄວາມໄວສູງ.
ຮັກສາສະຖຽນລະພາບທາງເລຂາຄະນິດຂອງໂຄງສ້າງປະທັບຕາຂອງຫ້ອງຄວາມກົດດັນຂອງອຸປະກອນການຂຸດຄົ້ນໃນທະເລເລິກເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມກົດດັນນ້ໍາລະດັບກິໂລແມັດ.
ພວກເຮົາຫັນຄວາມໄດ້ປຽບດ້ານອຸປະກອນນີ້ເປັນການແຂ່ງຂັນດ້ານເຕັກໂນໂລຊີໂດຍຜ່ານຂະບວນການນະວັດຕະກໍາ: ການນໍາໃຊ້ວິທີການຜະລິດທີ່ກ້າວຫນ້າເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງວັດສະດຸ; ໂດຍການນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີສິດທິບັດທີ່ກ້າວຫນ້າ, ຄວາມທົນທານຈະຖືກປັບປຸງໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມເຂັ້ມງວດສູງສຸດ. ແຕ່ລະຊຸດຂອງວັດສະດຸຜ່ານການທົດສອບຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຜະລິດຕະພັນທີ່ສົ່ງໄດ້ຕອບສະຫນອງຫຼືເກີນຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.
ໃນມື້ນີ້, ໃນຂະນະທີ່ການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາກ້າວໄປສູ່ລະດັບນາໂນ, ຊິລິໂຄນຄາໄບເຊລາມິກກໍາລັງຕີຄວາມມຸ່ງຫວັງຫຼັກຂອງອຸດສາຫະກໍາທີ່ທັນສະໄຫມດ້ວຍ "ປັດຊະຍາທີ່ເຄັ່ງຄັດ" - ການນໍາໃຊ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງຢ່າງແທ້ຈິງຂອງວັດສະດຸເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນຄວາມເປັນໄປໄດ້ທີ່ບໍ່ມີຂອບເຂດຂອງການຜະລິດ. ຄວາມກ້າວໜ້າທາງເທັກໂນໂລຍີນີ້, ເຊິ່ງປະກອບດ້ວຍປັນຍາຂອງວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ຈະສືບຕໍ່ໃສ່ຫົວຄິດປະດິດສ້າງຂອງ "ການໃຊ້ຄວາມເຄັ່ງຄັດເພື່ອເອົາຊະນະຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ" ເຂົ້າໃນການຜະລິດອຸປະກອນຊັ້ນສູງ.
ເວລາປະກາດ: 29-04-2025