Di makîneyên lîtografiyê yên ji bo çêkirina çîpan de, xeletiyek nedîtî dikare waferên bi mîlyonan dolaran xera bike. Her mîkrometreyek cihguherînê li vir ji bo serkeftin an têkçûna devreyên di pîvana nano de girîng e, û navika ku vê reqsa rastbûnê piştgirî dike lehengê me yê îro ye:materyalê seramîk ê silîkon karbîdê- ew mîna hêzek aramker di cîhana mîkroskopîk de ye, ku xeta jiyanê ya rastîn a pîşesaziya nîvconductor a nûjen di hawîrdorên dijwar de diparêze.
1、 Dema ku seramîk bi çîpan re hevdîtin dikin: Di rastbûnê de zehmetiyek dawî
Pêkhateyên seramîk ên rastîn ên makîneyên lîtografiyê divê di heman demê de sê rolan bilîzin:
Bingeheke pir stabîl: di kêliya rûdanê de li hember çend tonan zextê li ber xwe dide lê bêliv dimîne.
Çavdêrê germahiyê: Di bin şoka germî ya bilind a lazerê de aramiya germî diparêze.
Parêzvanê Vacuumê: Di hawîrdorek bê lerizîn de deh salan sabîtîya asta atomî diparêze.
Materyalên metal ên kevneşopî ji ber berfirehbûn û girjbûna germî "lerzînên mîkro" çêdikin, lê materyalên polîmer li hember korozyona plazmayê dijwar in. Seramîkên karbîda silîkonê, bi avahiya xwe ya krîstal a bêhempa, di hişkbûn, îhtîmala germî û berxwedana deformasyonê de hevsengiyek bêkêmasî bi dest dixin, ku wan dike bijarteya herî baş ji bo pêkhateyên bingehîn ên makîneyên lîtografiyê.
2, rastbûna asta nano 'parêzvanê nedîtî'
Di makîneyên lîtografiyê yên asta jorîn de wekî ASML li Hollanda, NIKON û CANON li Japonya, seramîkên karbîda silîkonê bi bêdengî qaîdeyên çêkirina rastîn ji nû ve dinivîsin:
Qonaxa maskeyê: hilgirtina fotomaskeke bi qasî zêr, parastina rastbûna pozîsyonê ya asta nanometre di dema tevgera bi leza bilind de.
Bingeha neynika refleksîf: Xurîya rûyê pir piçûk e, hetta ji rûyê neynikê jî lûstir e.
Odeya valahiyê: Piştî deh salan karanînê, deformasyon ji hezarê porê mirovan kêmtir e.
Ev aramiya hema bêje 'dij-aqilê hevpar' ji sê genên materyalên karbîda silîkonê tê:
1. Katsayiya berfirehbûna germî nêzîkî sifirê dibe: hema bêje "serdema cemidî" ji -150 ℃ heta 500 ℃
2. Sê caran ji pola hişktir: li hember zirara mîkroskopîk a ji ber bombebarana perçeyan berxwedêr e
3. Taybetmendiyên xweser ên rûnkirinê: Veguhestina rast a bê rûn di hawîrdorek valahiyê de bi dest bixin
3, 'Şoreşa bêdeng' di pîşesaziya nîvconductor de
Her ku pêvajoya çêkirina çîpan dikeve serdema 2-nanometre, seramîkên karbîda silîkonê sînoran derbas dikin:
Maseya xebatê ya dualî: dihêle ku du pergalan "relaya asta atomî" di hawîrdorek valahiyê de temam bikin.
Sîstema rêya optîkî ya EUV: li hember bombebarana domdar a ronahiya ultraviyole ya tund a 13.5nm berxwedêr e.
Sîstema girêdana pir-eksenî: bêyî çêkirina xeletiyên berhevkirî, di saniyeyê de 200 gavên nanopîvan bi dest dixe.
Tîmeke lêkolîn û pêşvebirina makîneya lîtografiyê ceribandinên berawirdî pêk anîne: piştî karanîna qonaxa perçeya seramîk a silîkon karbîdê, rastbûna bicihkirina pergalê %40 baştir bûye, û çerxa lênêrîna alavan ji 3 mehan bo 2 salan dirêj bûye. Ev guhertin ne tenê lêçûna hilberîna çîpan kêm dike, lê di heman demê de rastbûna çêkirina "çîpên çînî" ji bo cara yekem tîne pêş standardên navneteweyî.
4, rêya hilkişînê ji laboratûarê ber bi pîşesaziyê ve
Çêkirina seramîkên karbîda silîkonê yên pola lîtografiyê mîna avakirina 'qesreke bêqusûr' di cîhana mîkroskopîk de ye:
Paqijiya madeya xav: Toza karbîda silîkonê ya pir paqij, bi hezaran caran ji xwêya xwarinê paqijtir e.
Pêvajoya sinterkirinê: kontrola rastîn a rêça mezinbûna krîstalê li germahiyên bilind.
Makînekirina rastîn bi karanîna amûrên birrîna elmasê ji bo neqişandina di asta bin mîkronê de bi qasî restorasyona bermahiyên çandî dem digire.
Ev pêşketina dualî ya "zanista materyalan + çêkirina rast" e ku materyalên pêşketî, ku berê bi pîşesaziyên hewavanî û leşkerî ve sînordar bûn, niha bûne pêkhateyên bingehîn ên ku piştgirîya şaristaniya dîjîtal dikin.
Di pêvajoya çêkirina çîpan a îroyîn de, ku gihîştiye sînorê fîzîkî, seramîkên karbîda silîkonê bi taybetmendiyên xwe yên "bê tawîz" îspat dikin ku rastbûna rastîn ne komkirina daneyan e, lê kontrola dawî li ser bingeha materyalan e. Dema ku her pêkhateyek seramîk soza mîlyonan tevgerên di pîvana nano de hildigire, tiştê ku em dibînin ne tenê pêşveçûna alavên nîvconductor e, lê di heman demê de biryardariya pîşesaziya neteweyek e ku ber bi lûtkeya rastbûnê ve biçe.
Dema şandinê: Nîsan-03-2025