재결정 탄화규소(RXSIC, ReSIC, RSIC, R-SIC)는 탄화규소를 원료로 사용하며, 치밀화 보조제는 사용하지 않습니다. 성형체를 2200℃ 이상으로 가열하여 최종 소결을 진행합니다. 이렇게 얻어진 재료는 약 25%의 다공성을 가지므로 기계적 특성이 제한되지만, 매우 순수한 재료를 얻을 수 있습니다. 이 공정은 매우 경제적입니다.
반응 결합 탄화규소(RBSiC)는 탄화규소와 탄소를 원료로 하여 제조됩니다. 1450℃ 이상의 고온에서 용융된 탄화규소를 성형체에 침투시켜 SiC + C + Si → SiC 반응을 진행합니다. 이 공정을 통해 생성된 탄화규소는 일반적으로 과량의 탄화규소를 함유하고 있어 고온 특성 및 내식성이 제한됩니다. 제조 과정에서 치수 변화는 거의 발생하지 않지만, 최종 제품 표면에 탄화규소 층이 형성되는 경우가 많습니다. ZPC RBSiC는 이러한 첨단 기술을 적용하여 내마모성 라이닝, 플레이트, 타일, 사이클론 라이닝, 블록, 비정형 부품, 내마모성 및 내식성 탈황조 노즐, 열교환기, 파이프, 튜브 등을 생산합니다.
질화물 결합 탄화규소(NBSIC, NSIC)는 탄화규소와 실리콘 분말을 원료로 하여 만들어집니다. 성형체를 질소 분위기에서 소성하면 SiC + 3Si + 2N2 → SiC + Si3N4 반응이 일어납니다. 최종 재료는 가공 과정에서 치수 변화가 거의 없으며, 일정 수준의 다공성(일반적으로 약 20%)을 나타냅니다.
직접 소결 탄화규소(SSIC)는 탄화규소를 원료로 사용하며, 붕소와 탄소를 치밀화 보조제로 첨가하여 2200℃ 이상의 고온에서 고체상 반응을 통해 소결합니다. 결정립계에 유리질의 제2상이 형성되지 않아 고온 특성과 내식성이 우수합니다.
액상 소결 탄화규소(LSSIC)는 탄화규소를 원료로 사용하며, 치밀화 보조제로 산화이트륨과 산화알루미늄을 첨가합니다. 2100℃ 이상의 온도에서 액상 반응을 통해 치밀화가 진행되며, 유리질의 제2상이 형성됩니다. LSSIC는 일반적으로 고체 탄화규소(SSIC)에 비해 기계적 특성이 우수하지만, 고온 특성 및 내식성은 다소 떨어집니다.
고온압축 탄화규소(HPSIC)는 탄화규소 분말을 원료로 사용하는 소결 공정입니다. 소결 보조제로는 일반적으로 붕소와 탄소 또는 이트륨 산화물과 산화알루미늄이 사용됩니다. 소결은 흑연 금형 내부에서 기계적 압력과 온도를 동시에 가하여 이루어집니다. 성형품은 단순한 판형입니다. 소량의 소결 보조제를 사용할 수도 있습니다. 고온압축 성형품의 기계적 특성은 다른 공정의 특성을 비교하는 기준점으로 사용됩니다. 전기적 특성은 소결 보조제의 종류를 변경하여 조절할 수 있습니다.
CVD 탄화규소(CVDSIC)는 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 형성되는 소재입니다. 이 공정은 CH₃SiCl₃ → SiC + 3HCl의 반응을 이용하며, 수소(H₂) 분위기 하에서 SiC가 흑연 기판 위에 증착되는 방식으로 진행됩니다. CVDSIC는 매우 높은 순도의 소재이지만, 단순한 판형 구조만 제작할 수 있습니다. 또한 반응 속도가 느리기 때문에 제조 비용이 매우 높습니다.
화학 기상 복합 탄화규소(CVCSiC). 이 공정은 특허받은 흑연 전구체를 사용하여 흑연 상태에서 거의 최종 형상으로 가공하는 것으로 시작됩니다. 변환 공정은 흑연 부품을 현장 증기 고체 상태 반응에 노출시켜 화학양론적으로 정확한 다결정 SiC를 생성합니다. 엄격하게 제어되는 이 공정을 통해 복잡한 설계도 정밀한 공차와 높은 순도를 갖춘 완전히 변환된 SiC 부품으로 제작할 수 있습니다. 이 변환 공정은 일반적인 생산 시간을 단축하고 다른 방법에 비해 비용을 절감합니다.* 출처(별도로 명시된 경우 제외): Ceradyne Inc., Costa Mesa, Calif.
게시 시간: 2018년 6월 16일