ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಂಬಂಧಿಸಿರುವ ಪರಿಭಾಷೆ

ಮರುಸೃಷ್ಟಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಆರ್ಎಕ್ಸ್ಎಸ್ಐಸಿ, ರೆಸಿಕ್, ಆರ್ಎಸ್ಐಸಿ, ಆರ್-ಎಸ್ಐಸಿ). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆಗಿದೆ. ಯಾವುದೇ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಅಂತಿಮ ಬಲವರ್ಧನೆಗಾಗಿ ಹಸಿರು ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್‌ಗಳನ್ನು 2200ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಬಿಸಿಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಉಂಟಾಗುವ ವಸ್ತುವು ಸುಮಾರು 25% ಸರಂಧ್ರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಅದು ಅದರ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ವಸ್ತುವು ತುಂಬಾ ಶುದ್ಧವಾಗಬಹುದು. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ತುಂಬಾ ಆರ್ಥಿಕವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಬಂಧಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಆರ್ಬಿಎಸ್ಐಸಿ). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಬನ್. ಹಸಿರು ಘಟಕವನ್ನು ನಂತರ 1450ºC ಗಿಂತ ಕರಗಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯೊಂದಿಗೆ ಒಳನುಸುಳಲಾಗುತ್ತದೆ: sic + c + si -> sic. ಮೈಕ್ರೊಸ್ಟ್ರಕ್ಚರ್ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕೆಲವು ಪ್ರಮಾಣದ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ವಲ್ಪ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅಂತಿಮ ಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪದರವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಕಂಡುಬರುತ್ತದೆ. ZPC RBSIC ಅನ್ನು ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ, ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಲೈನಿಂಗ್, ಫಲಕಗಳು, ಅಂಚುಗಳು, ಸೈಕ್ಲೋನ್ ಲೈನಿಂಗ್, ಬ್ಲಾಕ್ಗಳು, ಅನಿಯಮಿತ ಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕ ಎಫ್‌ಜಿಡಿ ನಳಿಕೆಗಳು, ಶಾಖ ವಿನಿಮಯಕಾರಕ, ಪೈಪ್‌ಗಳು, ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಮುಂತಾದವುಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

ನೈಟ್ರೈಡ್ ಬಂಧಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಎನ್ಬಿಎಸ್ಐಸಿ, ಎನ್ಎಸ್ಐಸಿ). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪೌಡರ್. ಹಸಿರು ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್ ಅನ್ನು ಸಾರಜನಕ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಹಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ sic + 3si + 2n2 -> sic + si3n4 ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಅಂತಿಮ ವಸ್ತುವು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುವು ಕೆಲವು ಮಟ್ಟದ ಸರಂಧ್ರತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸುಮಾರು 20%).

ನೇರ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಎಸ್‌ಎಸ್‌ಐಸಿ). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳು ಬೋರಾನ್ ಪ್ಲಸ್ ಕಾರ್ಬನ್, ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆಯು 2200ºC ಗಿಂತ ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಧಾನ್ಯದ ಗಡಿಗಳಲ್ಲಿ ಗಾಜಿನ ಎರಡನೇ ಹಂತದ ಕೊರತೆಯಿಂದಾಗಿ ಇದರ ಹೈಟ್‌ಂಪೆರೇಚರ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ.

ದ್ರವ ಹಂತದ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಎಲ್ಎಸ್ಎಸ್ಐಸಿ). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳು ಯಟ್ರಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್. ದ್ರವ-ಹಂತದ ಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ 2100ºC ಗಿಂತ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗಾಜಿನ ಎರಡನೇ ಹಂತಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎಸ್‌ಎಸ್‌ಐಸಿಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಅಷ್ಟು ಉತ್ತಮವಾಗಿಲ್ಲ.

ಬಿಸಿ ಒತ್ತಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಎಚ್‌ಪಿಎಸ್‌ಐಸಿ). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪುಡಿಯನ್ನು ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬೋರಾನ್ ಪ್ಲಸ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಅಥವಾ ಯಟ್ರಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಜೊತೆಗೆ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಡೈ ಕುಹರದೊಳಗೆ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಏಕಕಾಲಿಕ ಅನ್ವಯದಿಂದ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಆಕಾರಗಳು ಸರಳ ಫಲಕಗಳಾಗಿವೆ. ಕಡಿಮೆ ಪ್ರಮಾಣದ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಏಡ್ಸ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಬಿಸಿ ಒತ್ತಿದ ವಸ್ತುಗಳ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಸುವ ಬೇಸ್‌ಲೈನ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಂದ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು.

ಸಿವಿಡಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಸಿವಿಡಿಎಸ್ಐಸಿ). ಈ ವಸ್ತುವು ಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (ಸಿವಿಡಿ) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ: CH3SICL3 -> sic + 3HCl. ಎಚ್ 2 ವಾತಾವರಣದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಎಸ್‌ಐಸಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸಂಗ್ರಹವಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಸ್ತುವಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸರಳ ಫಲಕಗಳನ್ನು ಮಾತ್ರ ತಯಾರಿಸಬಹುದು. ನಿಧಾನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಿಂದಾಗಿ ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ತುಂಬಾ ದುಬಾರಿಯಾಗಿದೆ.

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಸಂಯೋಜಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಸಿವಿಸಿಎಸ್ಐಸಿ). ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸ್ವಾಮ್ಯದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಯೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುತ್ತದೆ, ಅದನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿ ನೆಟ್ ಆಕಾರಗಳಿಗೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರಿವರ್ತನೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗವನ್ನು ಸಿತು ಆವಿ ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗೆ ಒಳಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್, ಸ್ಟೊಚಿಯೊಮೆಟ್ರಿಕ್ ಸರಿಯಾದ ಸಿಕ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಬಿಗಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸಂಕೀರ್ಣವಾದ ವಿನ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸಿದ ಎಸ್‌ಐಸಿ ಭಾಗದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ಅದು ಬಿಗಿಯಾದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ. ಪರಿವರ್ತನೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇತರ ವಿಧಾನಗಳಿಗಿಂತ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.* ಮೂಲ (ಗಮನಿಸಿದ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ): ಸೆರಾಡಿನ್ ಇಂಕ್., ಕೋಸ್ಟಾ ಮೆಸಾ, ಕ್ಯಾಲಿಫ್.