ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಂಬಂಧಿಸಿರುವ ಪರಿಭಾಷೆ

ಮರುಸ್ಫಟಿಕೀಕರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (RXSIC, ReSIC, RSIC, R-SIC). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆಗಿದೆ. ಯಾವುದೇ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಅಂತಿಮ ಬಲವರ್ಧನೆಗಾಗಿ ಹಸಿರು ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್‌ಗಳನ್ನು 2200ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಬಿಸಿ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಬರುವ ವಸ್ತುವು ಸುಮಾರು 25% ಸರಂಧ್ರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಅದರ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ವಸ್ತುವು ತುಂಬಾ ಶುದ್ಧವಾಗಿರಬಹುದು. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ತುಂಬಾ ಮಿತವ್ಯಯಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.
ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಬಾಂಡೆಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (RBSIC). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಬನ್. ನಂತರ ಹಸಿರು ಘಟಕವನ್ನು 1450ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕರಗಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಒಳನುಸುಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯೊಂದಿಗೆ: SiC + C + Si -> SiC. ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸ್ವಲ್ಪ ಪ್ರಮಾಣದ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸ್ವಲ್ಪ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅಂತಿಮ ಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪದರವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಇರುತ್ತದೆ. ZPC RBSiC ಗಳು ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿವೆ, ಉಡುಗೆ ನಿರೋಧಕ ಲೈನಿಂಗ್, ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು, ಟೈಲ್ಸ್, ಸೈಕ್ಲೋನ್ ಲೈನಿಂಗ್, ಬ್ಲಾಕ್‌ಗಳು, ಅನಿಯಮಿತ ಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕ FGD ನಳಿಕೆಗಳು, ಶಾಖ ವಿನಿಮಯಕಾರಕ, ಪೈಪ್‌ಗಳು, ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಮುಂತಾದವುಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ.

ನೈಟ್ರೈಡ್ ಬಂಧಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (NBSIC, NSIC). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪುಡಿ. ಹಸಿರು ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್ ಅನ್ನು ಸಾರಜನಕ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಸುಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ SiC + 3Si + 2N2 -> SiC + Si3N4 ಕ್ರಿಯೆ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅಂತಿಮ ವಸ್ತುವು ಸ್ವಲ್ಪ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುವು ಕೆಲವು ಮಟ್ಟದ ಸರಂಧ್ರತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸುಮಾರು 20%).

ನೇರ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SSIC). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಸಾಂದ್ರೀಕರಣ ಸಹಾಯಕಗಳು ಬೋರಾನ್ ಮತ್ತು ಇಂಗಾಲ, ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರೀಕರಣವು 2200ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಧಾನ್ಯದ ಗಡಿಗಳಲ್ಲಿ ಗಾಜಿನ ಎರಡನೇ ಹಂತದ ಕೊರತೆಯಿಂದಾಗಿ ಇದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ.

ದ್ರವ ಹಂತದ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (LSSIC). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆ ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಸಾಧನಗಳು ಯಟ್ರಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್. ದ್ರವ-ಹಂತದ ಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ 2100ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗಾಜಿನಂತಹ ಎರಡನೇ ಹಂತಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ SSIC ಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಉತ್ತಮವಾಗಿಲ್ಲ.

ಹಾಟ್ ಪ್ರೆಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (HPSIC). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪುಡಿಯನ್ನು ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಂದ್ರೀಕರಣ ಸಹಾಯಕಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬೋರಾನ್ ಜೊತೆಗೆ ಕಾರ್ಬನ್ ಅಥವಾ ಯಟ್ರಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಜೊತೆಗೆ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಆಗಿರುತ್ತವೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಡೈ ಕುಹರದೊಳಗೆ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯಿಸುವ ಮೂಲಕ ಸಾಂದ್ರೀಕರಣ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಆಕಾರಗಳು ಸರಳ ಫಲಕಗಳಾಗಿವೆ. ಕಡಿಮೆ ಪ್ರಮಾಣದ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಸಹಾಯಕಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಬಿಸಿ ಒತ್ತಿದ ವಸ್ತುಗಳ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಸುವ ಬೇಸ್‌ಲೈನ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಂದ್ರೀಕರಣ ಸಹಾಯಕಗಳಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಂದ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು.

CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (CVDSIC). ಈ ವಸ್ತುವು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಈ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸೇರಿದೆ: CH3SiCl3 -> SiC + 3HCl. ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು H2 ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ, SiC ಅನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅತಿ ಹೆಚ್ಚು ಶುದ್ಧತೆಯ ವಸ್ತುವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸರಳ ಫಲಕಗಳನ್ನು ಮಾತ್ರ ಮಾಡಬಹುದು. ನಿಧಾನಗತಿಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಿಂದಾಗಿ ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ತುಂಬಾ ದುಬಾರಿಯಾಗಿದೆ.

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಸಂಯೋಜಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (CVCSiC). ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸ್ವಾಮ್ಯದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಯೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿ ನಿವ್ವಳ ಆಕಾರಗಳಾಗಿ ಯಂತ್ರೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರಿವರ್ತನೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗವನ್ನು ಇನ್ ಸಿತು ಆವಿ ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗೆ ಒಳಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್, ಸ್ಟೊಚಿಯೊಮೆಟ್ರಿಕ್ ಆಗಿ ಸರಿಯಾದ SiC ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಬಿಗಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಬಿಗಿಯಾದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಪರಿವರ್ತನೆಗೊಂಡ SiC ಭಾಗದಲ್ಲಿ ಸಂಕೀರ್ಣ ವಿನ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಪರಿವರ್ತನೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇತರ ವಿಧಾನಗಳಿಗಿಂತ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.* ಮೂಲ (ಗಮನಿಸಿದಲ್ಲಿ ಹೊರತುಪಡಿಸಿ): ಸೆರಾಡಿನ್ ಇಂಕ್., ಕೋಸ್ಟಾ ಮೆಸಾ, ಕ್ಯಾಲಿಫ್.