ಪರಿಭಾಷೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದೆ

ರಿಕ್ರಿಸ್ಟಲೈಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (RXSIC, ReSIC, RSIC, R-SIC). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆಗಿದೆ. ಯಾವುದೇ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಅಂತಿಮ ಬಲವರ್ಧನೆಗಾಗಿ ಹಸಿರು ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್‌ಗಳನ್ನು 2200ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಬಿಸಿಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ವಸ್ತುವು ಸುಮಾರು 25% ಸರಂಧ್ರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಅದರ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ವಸ್ತುವು ತುಂಬಾ ಶುದ್ಧವಾಗಿರಬಹುದು. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ತುಂಬಾ ಆರ್ಥಿಕವಾಗಿದೆ.
ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಬಾಂಡೆಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (RBSIC). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಜೊತೆಗೆ ಕಾರ್ಬನ್. ಹಸಿರು ಅಂಶವು ನಂತರ 1450ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕರಗಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯೊಂದಿಗೆ ಒಳನುಸುಳುತ್ತದೆ: SiC + C + Si -> SiC. ಮೈಕ್ರೊಸ್ಟ್ರಕ್ಚರ್ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕೆಲವು ಪ್ರಮಾಣದ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸ್ವಲ್ಪ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅಂತಿಮ ಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪದರವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಇರುತ್ತದೆ. ZPC RBSiC ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ, ವೇರ್ ರೆಸಿಸ್ಟೆನ್ಸ್ ಲೈನಿಂಗ್, ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು, ಟೈಲ್ಸ್, ಸೈಕ್ಲೋನ್ ಲೈನಿಂಗ್, ಬ್ಲಾಕ್‌ಗಳು, ಅನಿಯಮಿತ ಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕ FGD ನಳಿಕೆಗಳು, ಶಾಖ ವಿನಿಮಯಕಾರಕ, ಪೈಪ್‌ಗಳು, ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

ನೈಟ್ರೈಡ್ ಬಾಂಡೆಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (NBSIC, NSIC). ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಜೊತೆಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪುಡಿ. SiC + 3Si + 2N2 -> SiC + Si3N4 ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯು ಸಂಭವಿಸುವ ನೈಟ್ರೋಜನ್ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಹಸಿರು ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್ ಅನ್ನು ಹಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಂತಿಮ ವಸ್ತುವು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸ್ವಲ್ಪ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುವು ಕೆಲವು ಮಟ್ಟದ ಸರಂಧ್ರತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸುಮಾರು 20%).

ನೇರ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SSIC). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳು ಬೋರಾನ್ ಜೊತೆಗೆ ಕಾರ್ಬನ್ ಆಗಿದ್ದು, 2200ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಧಾನ್ಯದ ಗಡಿಗಳಲ್ಲಿ ಗಾಜಿನ ಎರಡನೇ ಹಂತದ ಕೊರತೆಯಿಂದಾಗಿ ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ.

ಲಿಕ್ವಿಡ್ ಫೇಸ್ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (LSSIC). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಹಾಯಕಗಳು ಯಟ್ರಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್. ದ್ರವ-ಹಂತದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ 2100ºC ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗಾಜಿನ ಎರಡನೇ ಹಂತಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ SSIC ಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿವೆ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಉತ್ತಮವಾಗಿಲ್ಲ.

ಹಾಟ್ ಪ್ರೆಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (HPSIC). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪುಡಿಯನ್ನು ಆರಂಭಿಕ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬೋರಾನ್ ಜೊತೆಗೆ ಕಾರ್ಬನ್ ಅಥವಾ ಯಟ್ರಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಜೊತೆಗೆ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಡೈ ಕುಹರದೊಳಗೆ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಏಕಕಾಲಿಕ ಅನ್ವಯದಿಂದ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಆಕಾರಗಳು ಸರಳವಾದ ಫಲಕಗಳಾಗಿವೆ. ಕಡಿಮೆ ಪ್ರಮಾಣದ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಬಿಸಿ ಒತ್ತಿದ ವಸ್ತುಗಳ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬೇಸ್ಲೈನ್ ​​ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅದರ ವಿರುದ್ಧ ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಂದ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು.

CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (CVDSIC). ಈ ವಸ್ತುವು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ (CVD) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ: CH3SiCl3 -> SiC + 3HCl. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ SiC ಅನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವುದರೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು H2 ವಾತಾವರಣದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಸ್ತುವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ; ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸರಳವಾದ ಫಲಕಗಳನ್ನು ಮಾತ್ರ ಮಾಡಬಹುದು. ನಿಧಾನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಿಂದಾಗಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ತುಂಬಾ ದುಬಾರಿಯಾಗಿದೆ.

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಸಂಯೋಜಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (CVCSiC). ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸ್ವಾಮ್ಯದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಯೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿ ನಿವ್ವಳ ಆಕಾರದಲ್ಲಿ ಯಂತ್ರೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರಿವರ್ತನೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗವನ್ನು ಇನ್ ಸಿಟು ಆವಿಯ ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗೆ ಒಳಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಬಹುಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ, ಸ್ಟೊಚಿಯೊಮೆಟ್ರಿಕ್‌ನಲ್ಲಿ ಸರಿಯಾದ SiC ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಬಿಗಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಬಿಗಿಯಾದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸಲಾದ SiC ಭಾಗದಲ್ಲಿ ಸಂಕೀರ್ಣ ವಿನ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ. ಪರಿವರ್ತನೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇತರ ವಿಧಾನಗಳ ಮೇಲೆ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.* ಮೂಲ (ಗಮನಿಸಿದ್ದನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ): Ceradyne Inc., Costa Mesa, Calif.