បំពង់ការពារស៊ីលីកុនកាបូន
នៅក្នុងឧស្សាហកម្មដែលលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរគំរាមកំហែងដល់សុចរិតភាពឧបករណ៍។បំពង់ការពារ silicon carbide (SiC)លេចចេញជាដំណោះស្រាយដ៏អស្ចារ្យ។ មិនដូចសម្ភារៈការពារធម្មតាទេ បំពង់ SiC រួមបញ្ចូលគ្នានូវវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈកម្រិតខ្ពស់ជាមួយនឹងវិស្វកម្មដ៏រឹងមាំដើម្បីការពារឧបករណ៍ និងដំណើរការសំខាន់ៗ។ វាមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោមៈ
1. ការការពារដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាននៅក្នុងលក្ខខណ្ឌអរិភាព
បំពង់ការពារ SiC ដើរតួជាខ្សែការពារទីមួយនៅក្នុងបរិស្ថាន ដែលការបរាជ័យមិនមែនជាជម្រើសទេ៖
(1) ការការពារកម្ដៅ៖ ទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពជាប់លាប់រហូតដល់ 1600 អង្សារសេ ការពារឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា ទែម៉ូគូបល ឬឧបករណ៍ស៊ើបអង្កេតពីលោហធាតុរលាយ អណ្តាតភ្លើង និងប្លាស្មា។
(2) ភាពស៊ាំគីមី៖ ទប់ទល់នឹងការច្រេះពីអាស៊ីត (ឧទាហរណ៍ ស៊ុលហ្វួរី អ៊ីដ្រូក្លរ) អាល់កាឡាំង និងឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មដូចជាក្លរីន ឬស្ពាន់ធ័រអុកស៊ីដ។
ភាពធន់នឹងសំណឹក៖ ការពារប្រឆាំងនឹងភាគល្អិតសំណឹកនៅក្នុងគ្រែដែលមានសារធាតុរាវ ឧស្ម័នធ្យូងថ្ម ឬប្រតិបត្តិការរុករករ៉ែ។
2. ភាពជាក់លាក់ និងស្ថេរភាពសម្រាប់ការវាស់វែងសំខាន់
នៅក្នុងដំណើរការឧស្សាហកម្មដែលមានភាគហ៊ុនខ្ពស់ ភាពត្រឹមត្រូវគឺសំខាន់បំផុត។ បំពង់ SiC បង្កើនភាពជឿជាក់ដោយ៖
(1) កាត់បន្ថយការជ្រៀតជ្រែកនៃសញ្ញា៖ លក្ខណៈសម្បត្តិមិនដំណើរការការពារការរំខានអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៅក្នុងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអេឡិចត្រូនិច។
(2) ស្ថេរភាពកម្ដៅ៖ ការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅជិតសូន្យធានានូវការតម្រឹមជាប់គ្នា និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងនៅក្រោមការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពយ៉ាងលឿន។
(3) Gas-Tight Integrity: រចនាសម្ព័ន្ធមិនអាចជ្រាបចូលបានការពារការជ្រៀតចូលនៃឧស្ម័ន ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ប្រព័ន្ធបូមធូលី ឬបរិយាកាសដែលបានគ្រប់គ្រង។
3. ការបើកបំពង់ការពារ SiC បច្ចេកវិទ្យាជំនាន់ក្រោយ ដោះសោការច្នៃប្រឌិតក្នុងវិស័យដែលកំពុងរីកចម្រើន៖
(1) សេដ្ឋកិច្ចអ៊ីដ្រូសែន៖ បម្រើជាសំបកជាប់បានយូរសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាក្នុងការផលិតអ៊ីដ្រូសែន ការផ្ទុក និងកោសិកាឥន្ធនៈ ទប់ទល់នឹងការបំប្លែង និងការប៉ះពាល់ជាមួយ H₂ សម្ពាធខ្ពស់។
(2) ការផលិតសារធាតុ Semiconductor៖ ការពារឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអុបទិក និងកម្ដៅនៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រ CVD (Chemical Vapor Deposition) ពីសារធាតុមុនដែលច្រេះដូចជា silane ឬអាម៉ូញាក់។
(3) ការរុករកអវកាស៖ ឧបករណ៍ការពារនៅក្នុងម៉ាស៊ីនរ៉ុក្កែត និងការស៊ើបអង្កេតភពពីជម្រាលកម្ដៅខ្លាំង និងវិទ្យុសកម្មលោហធាតុ។
4. ប្រសិទ្ធភាពនៃការចំណាយតាមរយៈការជាប់បានយូរ
ខណៈពេលដែលបំពង់ SiC មានថ្លៃដើមខ្ពស់ជាងមុន អត្ថប្រយោជន៍វដ្តជីវិតរបស់ពួកគេកំណត់តម្លៃឡើងវិញ៖
(1) កាត់បន្ថយពេលវេលាមិនដំណើរការ៖ ជំនួសលោហៈ ឬរ៉ែថ្មខៀវ 4-6x នៅក្នុងការកំណត់សំណឹក ឬអាស៊ីត កាត់បន្ថយការថែទាំដែលមិនបានគ្រោងទុក។
(2) Zero Coating Requirements៖ មិនដូចលោហធាតុដែលត្រូវការថ្នាំកូតការពារទេ លក្ខណៈសម្បត្តិដែលមានស្រាប់របស់ SiC លុបបំបាត់ការចំណាយលើការព្យាបាលផ្ទៃដែលកើតឡើងដដែលៗ។
(3) លទ្ធភាពប្រើប្រាស់ឡើងវិញ៖ រស់រានមានជីវិតពីវដ្តដំណើរការជាច្រើននៅក្នុងកម្មវិធីដូចជាការបញ្ចោញលោហធាតុ ឬការបង្កើតកញ្ចក់ដោយគ្មានការរិចរិល។
5. ការប្ដូរតាមបំណងសម្រាប់តម្រូវការឯកទេស
បំពង់ការពារ SiC សម្របខ្លួនទៅនឹងបញ្ហាប្រឈមពិសេសតាមរយៈវិស្វកម្មដែលកាត់តាម៖
(1) ការរចនាកូនកាត់៖ រួមបញ្ចូលជាមួយលោហធាតុ ឬសេរ៉ាមិចសម្រាប់ការផ្គុំពហុមុខងារ (ឧ. ឧបករណ៍ភ្ជាប់ខ្សែស្រឡាយ ប្រឡោះ)។
(2) ការកែប្រែផ្ទៃ៖ ផ្នែកខាងក្នុងប៉ូលាសម្រាប់កម្មវិធីអុបទិក ឬផ្នែកខាងក្រៅដែលមានវាយនភាព ដើម្បីបង្កើនការសាយភាយកំដៅ។
(3) ភាពបត់បែននៃទំហំ៖ ផលិតពីមីលីម៉ែត្រ (ម៉ាស៊ីនរ៉េអាក់ទ័រខ្នាតពិសោធន៍) ទៅម៉ែត្រ (ឡដុតឧស្សាហកម្ម)។
6. ការតម្រឹមប្រកបដោយនិរន្តរភាព
បំពង់ SiC គាំទ្រការអនុវត្តឧស្សាហកម្មដែលមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថាន៖
(1) ការសន្សំថាមពល៖ ប្រសិទ្ធភាពកំដៅខ្ពស់កាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់ប្រេងឥន្ធនៈក្នុងឡរហូតដល់ 20% បើប្រៀបធៀបទៅនឹងខែលដែក។
(2) ការកាត់បន្ថយកាកសំណល់៖ អាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរកាត់បន្ថយកាកសំណល់សម្ភារៈពីការជំនួសញឹកញាប់។
(3) ការកាត់បន្ថយជាតិពុល៖ លុបបំបាត់តម្រូវការសម្រាប់ថ្នាំកូតដែលមានគ្រោះថ្នាក់ (ឧ. យ៉ាន់ស្ព័រដែលមានមូលដ្ឋានលើនីកែល) នៅក្នុងបរិស្ថានដែលច្រេះ។
Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd គឺជាផ្នែកមួយនៃដំណោះស្រាយសម្ភារៈសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនដ៏ធំបំផុតនៅក្នុងប្រទេសចិន។ សេរ៉ាមិចបច្ចេកទេស SiC៖ ភាពរឹងរបស់ Moh គឺ 9 (ភាពរឹងរបស់ Moh ថ្មីគឺ 13) ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងសំណឹក និងការ corrosion ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ធន់នឹងសំណឹក និងប្រឆាំងអុកស៊ីតកម្ម។ អាយុកាលសេវាកម្មរបស់ផលិតផល SiC គឺ 4 ទៅ 5 ដងយូរជាងសម្ភារៈអាលុយមីញ៉ូម 92% ។ MOR នៃ RBSiC គឺ 5 ទៅ 7 ដងនៃ SNBSC វាអាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់រាងស្មុគស្មាញ។ ដំណើរការសម្រង់គឺរហ័ស ការដឹកជញ្ជូនគឺដូចដែលបានសន្យា ហើយគុណភាពមិនចាញ់អ្នកណាឡើយ។ យើងតែងតែតស៊ូក្នុងការប្រឈមនឹងគោលដៅរបស់យើង ហើយផ្តល់ចិត្តរបស់យើងត្រឡប់ទៅសង្គមវិញ។
