ស្រទាប់ខាងក្រោម sic សម្រាប់ថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្ត CVD

ប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមី

អុកស៊ីដអុកស៊ីដអុកស៊ីដគឺជាដំណើរការលូតលាស់លីនេអ៊ែរដែលមានអត្រាកេសកកម្មមុនពេលមានខ្សែភាពយន្តស្តើង ៗ ដាក់លើវ៉ារឃឺរក្នុងរ៉េអាក់ទ័រ។ ដំណើរការលូតលាស់មានសីតុណ្ហភាពទាបហើយមានអត្រាកំណើនខ្ពស់ជាងនេះបើប្រៀបធៀបទៅនឹងអុកស៊ីដកម្ដៅ។ វាក៏ផលិតស្រទាប់ឌីអ្លង់ឌីអ៊ីនស្តើងជាងមុនផងដែរព្រោះខ្សែភាពយន្តនេះមានចំណាប់អារម្មណ៍ប្រសើរជាងការដាំដុះ។ ដំណើរការនេះផលិតខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពធន់ទ្រាំអគ្គិសនីខ្ពស់ដែលល្អសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ក្នុងកម្មវិធីអាយស៊ីអេសនិងឧបករណ៍ MEMS ក្នុងចំណោមកម្មវិធីជាច្រើនទៀត។

អុកស៊ីដខ្យូបៃ (CVD) ត្រូវបានអនុវត្តនៅពេលដែលត្រូវការស្រទាប់ខាងក្រៅប៉ុន្តែស្រទាប់ Silicon ប្រហែលជាមិនអាចកត់សុីបានទេ។

កំណើនប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមី:

ការលូតលាស់របស់ CVD កើតឡើងនៅពេលដែលឧស្ម័នឬចំហាយទឹក (មុន) ត្រូវបានណែនាំទៅក្នុងម៉ាស៊ីនរ៉េអាក់ទ័រដែលមានសីតុណ្ហភាពទាបដែលបង្អួចត្រូវបានរៀបចំទាំងបញ្ឈរឬផ្ដេក។ ហ្គាសផ្លាស់ទីតាមប្រព័ន្ធហើយចែកចាយរាបស្មើនៅទូទាំងផ្ទៃនៃបង្អួច។ នៅពេលដែលមុនទាំងនេះផ្លាស់ប្តូរតាមរយៈរ៉េអាក់ទ័រវ៉ូហ្វ័រចាប់ផ្តើមស្រូបយកវាទៅលើផ្ទៃរបស់ពួកគេ។

នៅពេលដែលអ្នកមុនបានចែកចាយឱ្យបានច្បាស់នៅទូទាំងប្រព័ន្ធប្រតិកម្មគីមីចាប់ផ្តើមនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ប្រតិកម្មគីមីទាំងនេះចាប់ផ្តើមដូចជាកោះហើយនៅពេលដំណើរការនៅតែបន្តកោះដុះនិងបញ្ចូលគ្នាដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តដែលចង់បាន។ ប្រតិកម្មគីមីបង្កើតឱ្យមានប្រតិកម្មនៅលើផ្ទៃនៃវល្លិដែលសាយភាយឆ្លងកាត់ស្រទាប់ព្រំដែនហើយហូរចេញពីរ៉េអាក់ទ័រដោយបន្សល់ទុកនូវថ្នាំលាបខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់របស់ពួកគេ។

រូបភាពទី 1

អត្ថប្រយោជន៍នៃប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមី:

• ដំណើរការនៃការលូតលាស់សីតុណ្ហភាពទាប។
• អត្រាការប្រាក់បញ្ញាសយ៉ាងឆាប់រហ័ស (ជាពិសេស APCVD) ។
• មិនចាំបាច់ជាស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនទេ។
• គ្របដណ្តប់ជំហានល្អ (ជាពិសេស PECVD) ។

រូបភាពទី 2
ប្រាក់បញ្ញើស៊ីលីខនឌីអុកស៊ីតទល់នឹងការលូតលាស់

សម្រាប់ព័ត៌មានបន្ថែមស្តីពីប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមីឬដើម្បីស្នើសុំសម្រង់សូមទាក់ទង SVMថ្ងៃនេះដើម្បីនិយាយជាមួយសមាជិកក្រុមលក់របស់យើង។

ប្រភេទនៃ CVD

lpcvd

សម្ពាធទាបនៃប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមីគឺជាដំណើរការអត្រូងចំហាយគីមីស្តង់ដារដោយគ្មានការដាក់សម្ពាធ។ ភាពខុសគ្នាដ៏សំខាន់រវាង LPCVD និងវិធីសាស្រ្ត CVD ផ្សេងទៀតគឺជាសីតុណ្ហភាពនៃការដាក់ប្រាក់បញ្ញើ។ LPCVD ប្រើសីតុណ្ហភាពខ្ពស់បំផុតសម្រាប់ការដាក់ខ្សែភាពយន្តដែលជាទូទៅលើសពី 600 អង្សាសេ។

បរិយាកាសសម្ពាធទាបបង្កើតនូវខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋានដ៏មានឯកសណ្ឋានដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ការផលិតភាពធន់និងភាពដូចគ្នា។ នេះត្រូវបានអនុវត្តនៅចន្លោះ 10 - 1000 ប៉ាខណៈដែលសម្ពាធបន្ទប់ស្តង់ដារមានចំនួន 101.325 PA ។ សីតុណ្ហភាពកំណត់កម្រាស់និងភាពបរិសុទ្ធនៃខ្សែភាពយន្តទាំងនេះដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលបណ្តាលឱ្យមានក្រាស់និងមានភាពយន្តសុទ្ធ។

• ខ្សែភាពយន្តទូទៅដាក់ប្រាក់:ប៉ូលីលីលីក, doped & undoped undoped,nitrides.

Pecvd

ប្លាស្មាបានបង្កើនប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមីគឺជាសីតុណ្ហភាពទាបដែលជាសីតុណ្ហភាពទាបដង់ស៊ីតេនៃភាពដង់ស៊ីតេភាពយន្តខ្ពស់។ Pecvd ធ្វើឡើងក្នុងរ៉េអាក់ទ័រ CVD ដែលមានបន្ថែមផ្លាស្មាដែលជាឧស្ម័នអ៊ីយ៉ូដមួយផ្នែកដែលមានបរិមាណអេឡិចត្រុងសេរីខ្ពស់ (~ 50%) ។ នេះគឺជាវិធីសាស្ត្រប្រាក់បញ្ញើសីតុណ្ហភាពទាបដែលកើតឡើងចន្លោះពី 100 អង្សាសេ - 400 អង្សាសេ។ Pecvd អាចត្រូវបានអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាពទាបដោយសារតែថាមពលពីអេឡិចត្រុងសេរីធ្វើឱ្យមានប្រតិកម្មឧស្ម័នប្រតិកម្មដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តនៅលើផ្ទៃវ៉ា។

វិធីសាស្ត្រប្រាក់បញ្ញើនេះប្រើប្លាស្មាពីរប្រភេទផ្សេងគ្នា:

1. ត្រជាក់ (មិនមែនកំដៅ): អេឡិចត្រុងមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងភាគអព្យាក្រឹតនិងអ៊ីយ៉ុង។ វិធីសាស្រ្តនេះប្រើថាមពលអេឡិចត្រុងដោយការផ្លាស់ប្តូរសម្ពាធក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្រាក់បញ្ញើ។
2. កម្ដៅ: អេឡិចត្រុងមានសីតុណ្ហភាពដូចគ្នានឹងភាគល្អិតនិងអ៊ីយ៉ុងនៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះរៀល។

នៅខាងក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្រាក់បញ្ញើវិទ្យុដែលមានប្រេកង់វិទ្យុត្រូវបានបញ្ជូនរវាងអេឡិចត្រូតខាងលើនិងខាងក្រោមវ៉ាយហ្វាយ។ នេះគិតថ្លៃអេឡិចត្រុងនិងរក្សាវានៅក្នុងរដ្ឋដែលមានភាពល្អប្រសើរមួយដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តដែលចង់បាន។

មានជំហានចំនួន 4 សម្រាប់ការកើនឡើងខ្សែភាពយន្តតាមរយៈ Pecvd:

1. ដាក់គោលដៅ Wafer នៅលើអេឡិចត្រូតនៅខាងក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្រាក់បញ្ញើ។
2. ណែនាំអំពីឧស្ម័ននិងធាតុប្រាក់បញ្ញើមានប្រតិកម្មទៅអង្គជំនុំជម្រះ។
3. បញ្ជូនប្លាស្មារវាងអេឡិចត្រូតនិងលាបវ៉ុលដើម្បីរំភើបផ្លាស្មា។
4. ប្រតិកម្មឧស្ម័នសកម្មនិងប្រតិកម្មជាមួយនឹងផ្ទៃ wafer ដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយដែលជាអនុផល interctions បែកចេញពីបន្ទប់។

• ខ្សែភាពយន្តទូទៅដែលបានដាក់: អុកស៊ីត Silicon Silicon Nitride, Silicon Amorphous,ស៊ីលីកុនអុកស៊ីត (ស៊ី_xO_yN_z).

apcvd

សម្ពាធបរិយាកាសអ័រម៉ូនអំឡុងក៏គីមីគឺជាបច្ចេកទេសនៃការដាក់ប្រាក់ខែទាបដែលកើតឡើងក្នុងឡដែលមានសម្ពាធបរិយាកាសស្តង់ដារ។ ដូចវិធីសាស្រ្ត CVD ដទៃទៀតដែរ APCVD តម្រូវឱ្យមានឧស្ម័នដែលមានមុនពេលការដាក់ប្រាក់បន្ទាប់មកសីតុណ្ហភាពកើនឡើងយឺត ៗ ដើម្បីជំរុញឱ្យមានប្រតិកម្មនៅលើផ្ទៃ wafer ហើយដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ។ ដោយសារតែភាពសាមញ្ញនៃវិធីសាស្ត្រនេះវាមានអត្រាការប្រាក់បញ្ញត្តិខ្ពស់ណាស់។

• ខ្សែភាពយន្តទូទៅដែលបានដាក់ចេញ: ដកហូតរាំស៊ីលីខនស៊ីលីខនស៊ីដូននីលីទ្ធិ។ បានប្រើផងដែរអាឧបៀនការ.

ក្រុមហ៊ុន HDP CVD

ប្រាក់បញ្ញើមានដង់ស៊ីតេមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់គឺជាកំណែនៃ PECVD ដែលប្រើផ្លាស្មាខ្ពស់ដែលអនុញ្ញាតឱ្យ Wafers មានប្រតិកម្មជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាពទាបជាងនេះ (ចន្លោះពី 80 អង្សាសេ) នៅក្នុងបន្ទប់ប្រាក់បញ្ញើ។ នេះក៏បង្កើតខ្សែភាពយន្តដែលមានសមត្ថភាពបំពេញបានលេណដ្ឋានដ៏អស្ចារ្យផងដែរ។

• ខ្សែភាពយន្តទូទៅដែលបានដាក់: ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត (ស៊ីអូ₂) Silicon Nitriard (Si₃N₄),Silicon Carbide (sic).

sacvd

Subatmospheric សម្ពាធនៃប្រាក់បញ្ញើចំហាយចំហាយគីមីខុសគ្នាពីវិធីសាស្ត្រផ្សេងទៀតព្រោះវាកើតឡើងនៅខាងក្រោមសម្ពាធបន្ទប់ស្តង់ដារនិងប្រើអូហ្សូន (អូ₃) ដើម្បីជួយធ្វើឱ្យមានប្រតិកម្មចិញ្ចឹមវង្វេង។ ដំណើរការប្រាក់បញ្ញើធ្វើឡើងនៅសម្ពាធខ្ពស់ជាង LPCVD ប៉ុន្តែទាបជាង APCVD ដែលមានទំហំ 13.300 នាទីនិងភាពត្រជាក់អត្រាប្រាក់ខែខ្ពស់រហូតដល់ 390 អង្សាសេដែលវាចាប់ផ្តើមថយចុះ។

• ខ្សែភាពយន្តទូទៅដាក់ប្រាក់:bpsg, PSG,តេអូ.

សេដ្ឋីស៊ីដុនហ្សុងហ្សុងផេងគឺជាដំណោះស្រាយសំភារៈថ្មីដ៏ធំមួយរបស់ស៊ីលីកុនធំជាងគេនៅប្រទេសចិន។ សេរ៉ាមិចបច្ចេកទេសស៊ីស៊ីៈភាពរឹងរបស់ក្រសួងសុខាភិបាលគឺ 9 (ភាពរឹងរបស់ Moh គឺ 13) ដោយមានភាពធន់ទ្រាំយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះចំពោះការហូរច្រោះនិងការច្រេះការលុបបំបាត់ការអាក់អន់ចិត្តនិងការប្រឆាំងនឹងការអាក់អន់ចិត្ត។ ជីវិតសេវាកម្មរបស់ផលិតផលអេសស៊ីគឺមានរយៈពេលយូរជាង alumina ពី 9 ទៅ 5 ដង។ Mor of RSSIS គឺពី 5 ទៅ 7 ដងនៃ SNBSC វាអាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់រាងស្មុគស្មាញជាងនេះ។ ដំណើរការសម្រង់គឺរហ័សការចែកចាយគឺដូចដែលបានសន្យាហើយគុណភាពគឺស្ថិតនៅលំដាប់ទី 2 ។ យើងតែងតែតស៊ូក្នុងគោលដៅដែលយើងកំពុងប្រឈមហើយផ្តល់ដួងចិត្តរបស់យើងត្រឡប់ទៅសង្គមវិញ។