ជាងចម្លាក់ដែលមើលមិនឃើញនៃពិភពលោកខ្នាតតូច៖ របៀបដែលស៊ីលីកុនកាបតសេរ៉ាមិចរក្សាភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បំផុតក្នុងការផលិតបន្ទះឈីប

នៅក្នុងម៉ាស៊ីន lithography សម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីប កំហុសដែលមើលមិនឃើញអាចបំផ្លាញ wafers ដែលមានតម្លៃរាប់លានដុល្លារ។ រាល់មីក្រូម៉ែត្រនៃការផ្លាស់ទីលំនៅនៅទីនេះមានសារៈសំខាន់ចំពោះភាពជោគជ័យ ឬបរាជ័យនៃសៀគ្វី nanoscale ហើយស្នូលដែលគាំទ្រការរាំដ៏ជាក់លាក់នេះគឺជាតួឯករបស់យើងនាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ៖ស៊ីលីកុនកាបូន សម្ភារៈសេរ៉ាមិច- វាដូចជាកម្លាំងរក្សាលំនឹងនៅក្នុងពិភពមីក្រូទស្សន៍ ការពារខ្សែជីវិតដ៏ជាក់លាក់នៃឧស្សាហកម្ម semiconductor ទំនើបនៅក្នុងបរិយាកាសខ្លាំង។
1, នៅពេលដែលសេរ៉ាមិចជួបបន្ទះឈីប: ការប្រកួតប្រជែងចុងក្រោយនៅក្នុងភាពត្រឹមត្រូវ
សមាសធាតុសេរ៉ាមិចដែលមានភាពជាក់លាក់នៃម៉ាស៊ីន lithography ត្រូវដើរតួនាទីបីក្នុងពេលដំណាលគ្នា៖
មូលដ្ឋានដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំង៖ ទប់ទល់នឹងសម្ពាធជាច្រើនតោននៅពេលនៃការប៉ះពាល់ ប៉ុន្តែនៅតែមិនមានចលនា។
Sentinel សីតុណ្ហភាព៖ រក្សាស្ថេរភាពកម្ដៅក្រោមការឆក់កម្ដៅខ្ពស់នៃឡាស៊ែរ។
Vacuum Guardian៖ រក្សាភាពរាបស្មើនៃកម្រិតអាតូមិចសម្រាប់រយៈពេលដប់ឆ្នាំនៅក្នុងបរិយាកាសរំញ័រសូន្យ។
សមា្ភារៈលោហៈប្រពៃណីនឹងបង្កើត "ការញ័រខ្នាតតូច" ដោយសារតែការពង្រីកកំដៅនិងការកន្ត្រាក់ខណៈពេលដែលវត្ថុធាតុ polymer ពិបាកក្នុងការទប់ទល់នឹងការ corrosion ប្លាស្មា។ សេរ៉ាមិច Silicon carbide ជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់តែមួយគត់របស់ពួកគេ សម្រេចបាននូវតុល្យភាពដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងភាពរឹង ចរន្តកំដៅ និងភាពធន់ទ្រាំនឹងការខូចទ្រង់ទ្រាយ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសកំពូលសម្រាប់សមាសធាតុស្នូលនៃម៉ាស៊ីន lithography ។
2, ភាពជាក់លាក់កម្រិតណាណូ 'អង្គរក្សមើលមិនឃើញ'
នៅក្នុងម៉ាស៊ីន lithography លំដាប់កំពូលដូចជា ASML នៅប្រទេសហូឡង់ NIKON និង CANON នៅក្នុងប្រទេសជប៉ុន សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុន កាប៊ីដ កំពុងសរសេរឡើងវិញយ៉ាងស្ងៀមស្ងាត់នូវច្បាប់នៃការផលិតភាពច្បាស់លាស់៖
ដំណាក់កាលរបាំង៖ កាន់របាំងរូបថតដែលមានតម្លៃស្មើនឹងមាស ដោយរក្សាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងកម្រិតណាណូម៉ែត្រអំឡុងពេលចលនាល្បឿនលឿន។
ស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចាំង៖ ភាពរដុបនៃផ្ទៃគឺតូចខ្លាំងណាស់ សូម្បីតែរលោងជាងផ្ទៃកញ្ចក់។
បន្ទប់បូមធូលី៖ បន្ទាប់ពីប្រើប្រាស់បានដប់ឆ្នាំ ការខូចទ្រង់ទ្រាយគឺតិចជាងមួយពាន់នៃសក់មនុស្ស
ស្ថេរភាពស្ទើរតែ 'ប្រឆាំងនឹងសុភវិនិច្ឆ័យ' នេះកើតចេញពីហ្សែនបីនៃសមា្ភារៈស៊ីលីកុនកាបូន:
1. មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅខិតជិតសូន្យ៖ ស្ទើរតែ "អាយុកាលកក" ពី -150 ℃ ដល់ 500 ℃
2. រឹងជាងដែកបីដង៖ ធន់នឹងការខូចខាតមីក្រូទស្សន៍ដែលបណ្តាលមកពីការទម្លាក់គ្រាប់បែក
3. លក្ខណៈនៃការបញ្ចេញទឹករំអិលដោយខ្លួនឯង៖ សម្រេចបាននូវការបញ្ជូនច្បាស់លាស់ដោយគ្មានប្រេងនៅក្នុងបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ
3, 'បដិវត្តន៍ស្ងាត់' នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor
នៅពេលដែលដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបឈានចូលដល់យុគសម័យ 2 ណាណូម៉ែត្រ ស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ សេរ៉ាមិចកំពុងឆ្លងកាត់ដែនកំណត់បន្ថែមទៀត៖
តារាងការងារពីរ៖ អនុញ្ញាតឱ្យប្រព័ន្ធពីរបំពេញ "ការបញ្ជូនតកម្រិតអាតូមិក" នៅក្នុងបរិយាកាសទំនេរ។
ប្រព័ន្ធផ្លូវអុបទិក EUV៖ ធន់នឹងការទម្លាក់គ្រាប់បែកជាបន្តបន្ទាប់នៃពន្លឺអ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំង 13.5nm ។
ប្រព័ន្ធភ្ជាប់ពហុអ័ក្ស៖ សម្រេចបាន 200 ជំហានណាណូក្នុងមួយវិនាទី ដោយមិនបង្កើតកំហុសបូកសរុប។
ក្រុមការងារ R&D ម៉ាស៊ីនជាក់លាក់មួយបានធ្វើការធ្វើតេស្តប្រៀបធៀប៖ បន្ទាប់ពីប្រើដំណាក់កាលស៊ីលីកុនកាបោនសេរ៉ាមិច ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងប្រព័ន្ធត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង 40% ហើយវដ្តនៃការថែទាំឧបករណ៍ត្រូវបានពង្រីកពី 3 ខែទៅ 2 ឆ្នាំ។ ការផ្លាស់ប្តូរនេះមិនត្រឹមតែកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតបន្ទះសៀគ្វីប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងនាំមកនូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការផលិត "បន្ទះសៀគ្វីចិន" ដល់ជួរមុខនៃស្តង់ដារអន្តរជាតិជាលើកដំបូង។

4. ផ្លូវឡើងពីមន្ទីរពិសោធន៍ទៅឧស្សាហូបនីយកម្ម
ការផលិតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុន កាបូនឌីអុកស៊ីត កម្រិតថ្នាក់ lithography គឺដូចជាការកសាង 'វិមានគ្មានកំហុស' នៅក្នុងពិភពមីក្រូទស្សន៍៖
ភាពបរិសុទ្ធនៃវត្ថុធាតុដើម៖ ម្សៅស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ្រាតសុទ្ធ បរិសុទ្ធជាងអំបិលដែលអាចបរិភោគបានរាប់ពាន់ដង។
ដំណើរការ Sintering: ការត្រួតពិនិត្យច្បាស់លាស់នៃទិសដៅលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
គ្រឿងម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ដោយប្រើឧបករណ៍កាត់ពេជ្រសម្រាប់ការឆ្លាក់កម្រិតមីក្រូនត្រូវការពេលវេលាច្រើនដូចការស្ដារឡើងវិញនូវវត្ថុបុរាណ។
វាគឺជារបកគំហើញពីរនៃ "វិទ្យាសាស្រ្តសម្ភារៈ + ការផលិតភាពជាក់លាក់" ដែលបានបង្កើតសម្ភារៈទំនើបៗ ដែលធ្លាប់មានកម្រិតសម្រាប់ឧស្សាហកម្មអវកាស និងយោធា ឥឡូវនេះក្លាយជាធាតុផ្សំជាមូលដ្ឋានដែលគាំទ្រដល់អរិយធម៌ឌីជីថល។
នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបនាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ដែលបានឈានដល់កម្រិតកំណត់ជាក់ស្តែង ស៊ីលីកុន កាបត សេរ៉ាមិច បង្ហាញនូវលក្ខណៈ "ការសម្របសម្រួលសូន្យ" របស់វាថា ភាពជាក់លាក់ពិតប្រាកដមិនមែនជាការជង់ទិន្នន័យនោះទេ ប៉ុន្តែជាការគ្រប់គ្រងចុងក្រោយលើខ្លឹមសារនៃវត្ថុធាតុដើម។ នៅពេលដែលរាល់សមាសធាតុសេរ៉ាមិចអនុវត្តការសន្យានៃចលនា nanoscale រាប់លាន អ្វីដែលយើងឃើញគឺមិនត្រឹមតែការវិវត្តនៃឧបករណ៍ semiconductor ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ជាការប្តេជ្ញាចិត្តនៃឧស្សាហកម្មរបស់ប្រទេសមួយដើម្បីឆ្ពោះទៅរកភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បំផុតផងដែរ។