Терминология әдетте кремний карбиді өңдеумен байланысты

Қайта кристалданған кремний карбиді (RXSIC, ReSIC, RSIC, R-SIC). Бастапқы шикізат кремний карбиді болып табылады. Тығыздаушы құралдар пайдаланылмайды. Жасыл компакттарды түпкілікті бекіту үшін 2200ºC-тан жоғары қыздырады. Алынған материалдың шамамен 25% кеуектілігі бар, бұл оның механикалық қасиеттерін шектейді; дегенмен материал өте таза болуы мүмкін. Процесс өте үнемді.
Реакциялық байланыстырылған кремний карбиді (RBSIC). Бастапқы шикізат кремний карбиді және көміртегі болып табылады. Содан кейін жасыл компонент 1450ºC жоғары балқытылған кремниймен инфильтрацияланады: SiC + C + Si -> SiC. Микроқұрылымда әдетте белгілі бір мөлшерде артық кремний бар, бұл оның жоғары температуралық қасиеттері мен коррозияға төзімділігін шектейді. Процесс барысында шамалы өлшемдік өзгерістер орын алады; алайда соңғы бөліктің бетінде кремний қабаты жиі кездеседі. ZPC RBSiC тозуға төзімді төсеніштерді, плиталарды, плиткаларды, циклон төсемдерін, блоктарды, дұрыс емес бөлшектерді және тозуға және коррозияға төзімді FGD саптамаларын, жылу алмастырғышты, құбырларды, түтіктерді және т.б. шығаратын озық технологияны қабылдады.

Нитридті байланыстырылған кремний карбиді (NBSIC, NSIC). Бастапқы шикізат кремний карбиді плюс кремний ұнтағы болып табылады. Жасыл компакт азотты атмосферада күйдіріледі, онда SiC + 3Si + 2N2 -> SiC + Si3N4 реакциясы жүреді. Соңғы материал өңдеу кезінде шамалы өлшемдік өзгерістерді көрсетеді. Материал кеуектіліктің кейбір деңгейін көрсетеді (әдетте шамамен 20%).

Тікелей агломерленген кремний карбиді (SSIC). Кремний карбиді бастапқы шикізат болып табылады. Тығыздауға көмектесетін заттар бор плюс көміртек болып табылады және тығыздау 2200ºC жоғары қатты күйдегі реакция процесі арқылы жүреді. Оның жоғары температуралық қасиеттері мен коррозияға төзімділігі астық шекарасында шыны тәрізді екінші фазаның болмауына байланысты жоғары.

Сұйық фазалық агломерленген кремний карбиді (LSSIC). Кремний карбиді бастапқы шикізат болып табылады. Тығыздауға көмектесетін құралдар иттрий оксиді және алюминий оксиді болып табылады. Тығыздану 2100ºC жоғары температурада сұйық фазалық реакция арқылы жүреді және шыны тәрізді екінші фазаға әкеледі. Механикалық қасиеттері әдетте SSIC-тен жоғары, бірақ жоғары температура қасиеттері мен коррозияға төзімділігі соншалықты жақсы емес.

Ыстық сығымдалған кремний карбиді (HPSIC). Бастапқы шикізат ретінде кремний карбиді ұнтағы қолданылады. Тығыздауға арналған көмекшілер әдетте бор плюс көміртек немесе иттрий оксиді және алюминий оксиді болып табылады. Тығыздану механикалық қысым мен температураны графиттік қалып қуысына бір мезгілде қолдану арқылы жүреді. Пішіндері қарапайым тақталар. Агломерациялық көмекшілердің аз мөлшерін пайдалануға болады. Ыстық престеу материалдарының механикалық қасиеттері басқа процестерді салыстыратын негіз ретінде пайдаланылады. Электрлік қасиеттерді тығыздаушы құралдардағы өзгерістер арқылы өзгертуге болады.

CVD кремний карбиді (CVDSIC). Бұл материал келесі реакцияны қамтитын химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы түзіледі: CH3SiCl3 -> SiC + 3HCl. Реакция SiC графиттік субстратқа тұндыра отырып, H2 атмосферасында жүзеге асырылады. Процесс нәтижесінде өте жоғары таза материал алынады; дегенмен, тек қарапайым пластиналарды жасауға болады. Баяу реакция уақытына байланысты процесс өте қымбат.

Химиялық будың композиттік кремний карбиді (CVCSiC). Бұл процесс графит күйінде желіге жақын пішіндерге өңделген меншікті графит прекурсорынан басталады. Түрлендіру процесі поликристалды, стехиометриялық тұрғыдан дұрыс SiC алу үшін графит бөлігін in situ буының қатты күйдегі реакциясына ұшыратады. Бұл қатаң бақыланатын процесс қатаң төзімділік қасиеттері мен жоғары тазалығы бар толығымен түрлендірілген SiC бөлігінде күрделі конструкцияларды жасауға мүмкіндік береді. Түрлендіру процесі қалыпты өндіріс уақытын қысқартады және басқа әдістерге қарағанда шығындарды азайтады.* Дереккөз (белгіленген жерлерді қоспағанда): Ceradyne Inc., Costa Mesa, Calif.


Хабарлама уақыты: 16 маусым 2018 ж
WhatsApp онлайн чаты!