המינוח הקשור בדרך כלל לעיבוד סיליקון קרביד

סיליקון קרביד מגובש מחדש (RXSIC, RESIC, RSIC, R-SIC). חומר הגלם ההתחלה הוא סיליקון קרביד. לא משתמשים בעזרי צפיפות. הקומפקטים הירוקים מחוממים ליותר מ 2200 מעלות צלזיוס לצורך איחוד סופי. לחומר המתקבל יש נקבוביות של כ- 25%, המגבילה את תכונותיו המכניות; עם זאת, החומר יכול להיות טהור מאוד. התהליך מאוד חסכוני.
תגובה סיליקון קרביד קשור (RBSIC). חומרי הגלם המתחילים הם סיליקון קרביד פלוס פחמן. לאחר מכן מסתננים הרכיב הירוק בסיליקון מותך מעל 1450 מעלות צלזיוס עם התגובה: sic + c + si -> sic. למבנה המיקרו יש בדרך כלל כמות מסוימת של עודף סיליקון, המגביל את תכונותיו בטמפרטורה הגבוהה ואת עמידות הקורוזיה. שינוי ממדי מועט מתרחש במהלך התהליך; עם זאת, לרוב קיימת שכבה של סיליקון על פני החלק הסופי. ZPC RBSIC מאומצים הטכנולוגיה המתקדמת, המייצרת את רירית התנגדות לבלאי, צלחות, אריחים, רירית ציקלון, חסימות, חלקים לא סדירים, וחרירי עמידות בפני קורוזיה FGD, מחליף חום, צינורות, צינורות וכן הלאה.

סיליקון קרביד קשור ניטריד (NBSIC, NSIC). חומרי הגלם המתחילים הם סיליקון קרביד בתוספת אבקת סיליקון. הקומפקט הירוק נורה באווירת חנקן בה התגובה SIC + 3SI + 2N2 -> SIC + SI3N4 מתרחשת. החומר הסופי מציג שינוי ממדי מעט במהלך העיבוד. החומר מציג רמת נקבוביות מסוימת (בדרך כלל כ 20%).

ישיר סיליקון סיליקון קרביד (SSIC). סיליקון קרביד הוא חומר הגלם ההתחלה. עזרי צפיפות הם בורון פלוס פחמן, וצפיפות מתרחשת בתהליך תגובה של מצב מוצק מעל 2200 מעלות צלזיוס. תכונותיו של הטמפרטורה והתנגדות הקורוזיה שלה עדיפות בגלל היעדר שלב שני מזוגג בגבולות התבואה.

שלב נוזלי סיליקון קרביד (LSSIC). סיליקון קרביד הוא חומר הגלם ההתחלה. עזרי צפיפות הם תחמוצת yttrium בתוספת תחמוצת אלומיניום. הצפיפות מתרחשת מעל 2100 מעלות צלזיוס על ידי תגובה שלב נוזלי ומביאה לשלב שני מזוגג. התכונות המכניות בדרך כלל עדיפות על SSIC, אך המאפיינים בטמפרטורה גבוהה והתנגדות הקורוזיה אינם טובים באותה מידה.

קרביד סיליקון לחוץ חם (HPSIC). אבקת סיליקון קרביד משמשת כחומר הגלם ההתחלה. עזרי צפיפות הם בדרך כלל בורון בתוספת תחמוצת פחמן או yttrium בתוספת תחמוצת אלומיניום. צפיפות מתרחשת על ידי יישום סימולטני של לחץ וטמפרטורה מכנית בתוך חלל מתים גרפיט. הצורות הן צלחות פשוטות. ניתן להשתמש בכמויות נמוכות של עזרי סינון. תכונות מכניות של חומרים לחוצים חמים משמשים כקו הבסיס שכנגד משווים תהליכים אחרים. ניתן לשנות תכונות חשמליות על ידי שינויים בעזרי הצפיפות.

CVD סיליקון קרביד (CVDSIC). חומר זה נוצר על ידי תהליך תצהיר אדי כימי (CVD) הכולל את התגובה: CH3SICL3 -> SIC + 3HCL. התגובה מתבצעת תחת אווירת H2 כאשר ה- SIC מופקד על מצע גרפיט. התהליך מביא לחומר טוהר גבוה מאוד; עם זאת, ניתן ליצור רק צלחות פשוטות. התהליך יקר מאוד בגלל זמני התגובה האיטית.

אדים כימיים סיליקון סיליקון קרביד (CVCSIC). תהליך זה מתחיל במבשר גרפיט קנייני שעובד בצורות כמעט רשת במצב הגרפיט. תהליך ההמרה מכין את החלק הגרפיט לתגובה של מצב מוצק באדים במקום לייצור SIC פוליקריסטלי, סטואיומטרי, נכון. תהליך מבוקר היטב זה מאפשר לייצר עיצובים מורכבים בחלק SIC שהומר לחלוטין שיש לו תכונות סובלנות הדוקות וטהרה גבוהה. תהליך ההמרה מקצר את זמן הייצור הרגיל ומפחית עלויות על שיטות אחרות.* מקור (למעט היכן שצוין): Ceradyne Inc., קוסטה מסה, קליף.