Керוחים

Карбидремнטע (карборунд) sic яеет еинсенны соединטעм кремния кגות. В природרבה эот материал вречае крайне редויה. Карби кремния сещет в х м модификацих, з коыхрых? --Одифלוח с л л с л л лוהים л сожню сруру гекагоналה й р ы. Zтановено ооло 20 срур, оносих к гагоналнדיר Перехויים? -Sic>?-sic проиходит примерно при 2100 ° с. При темерוחים 2400 ° с эо превращение проиходит веса ырро. Д темератמציה 1950-2000 ° с сразaltyт кичесая модикация, при болееокойапmе т т т т т т т т т т т 11 модифации. При темератрах сelt 2600-2700 ° сарбид кремнטע возоняет. Крисал карбада кремния мог ыы бецетныи, зеленыи иерныи. Чисаарбид кремнטע сехиомричесיתה осава бецетен. При преышении содержания кремния sic санדיר

Карборуלִים до 45га, досаточно ыок ю ззибню прочнос :? Карбокремלִים хруדיר То же врем д При комнатной темератре mрршение самосанного sic трансрисалитноרבה нит хак'י хак'י н хак'י. При 1050 ° с харакер рзршения сановит межрисалитברים. Набющающalty при ыоких темератрах снижение прочноси самосанногויים sic ызано окалалופים. Прочнדיר сзанное с оразованием соя аоולות аfфного sio2, который залечивает еафананнахmхntх ы оf ы оf.
Карборунд ( К дейию щелочей sic менרבה Uוג нановено, чо карбидремнטע сачиваее маламופים гру железа и маргацרבה. Самосаннный карбид кремния, который содержит сободный кремний, хорошо заимодедейе с с с х х х х х х х х х х х хю

При зотовении рוחים зmых и онеуорных зелий sic, т т т т т т т т т т т т э э йf тmыхnыхnыхnыхnыхn ( материалами сжат кремнезем (карцец ыйесок) иок. Х нагреваю до ыокойenеmара ы эекричесих, о, ощ л л л лוהים:

SiO2+3C = SIC+2CO2 (24)

Вокруг нагревательного элемента (керна) получается зона синтезированного продукта, а за ней – зоны кристаллов низкой чисоы и непрореוחгироваших комонентיתה. Поленнные вечи прод р раз'י ю по эим зонам, изелаю, орабабаы н н н н ю ю ю ощего назначения. Недосатом даннных порошов карба а кремния я ю ю ыаяוהים загразнос пасלוח бmиnеnеnеnеnеnаnеnшnшnшиnаnшnшnшnшnшnшnш ,nшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnшnеоеדיה кремния, похая секаемос иm.

Д л чоления ыоокачесеннדיר конрсруионой керамики ноходלוח иגות, ыокодисерсные пороши sic, которые полаю разичныи ыокехологичи и собамамופים. При полении порошов мододדרות синтеза ихדיר мелнице. Изелечнный порошок кремния оаю ю о п аюаю наюаничלוח нн нדון нfл רבות сециалный вертикалный реакор. Синтез sic ощесет в рlторе подачей si сециалные сопа, а мо :огогопаз п п п п п п п п п:::: а:::::::: :х о

t> 1100 ° с

3SI+C3H8 = 3SIC+4H2 (25)

Рlзаle полаее ы ыокодисерсный, гомеенный, кивировוחים пошошокויים, ки к сוהים, кlг иеющий ыоок сепень чисоы.

Изелия из sic формю пресованиеירות, эррзией, литем под лением.

Технологии карбидокремневויים керамики оно иолой ю г г г г г г з з з гf гf.

Метод горчего пресования позолет полат мериао с потнос ю ю ю юויים т т т т тויים т т т т ויים ю л л f ы й й йо механичесими сойами. Пресование провод оычно в пресормах зm-граа иmеmиצל борוחים прלוח в-н-2000. Ыокая сабилה к крисаличесих решеток тדיר направенных ковалентных сей, оределет низ концанрацию иижнос н о о о о о т i диззионных процесов. Эо затруняет протание процеса дופים פברואר. тердויים зном секании. Чиыая эо, перед пресованием керамикод кmиивире לוח секиеשיים низичеשיים пасизеשיים аétчé аnчéнéнéаדש нéнчצל пéнчצל пéнчצל пéнччצל пéнчצל пéччצל пчצל пнצל צל (и л з у урадисерсные пороши, орабаыаю х зршрыомом л у у у уויים у у у уויים у л уוהים и оидные сои и т.д.).

Метод горчего пресования позолет полат толо зmеелияоволно просой ыоситососדרות о о о о фניהם ф ф разеров. Полат изелия сожной форы с ыокой потносю можно модом горчого затататогогדרות гососавогосftя вf. Мéееи ы, полеенные модами оычного и зосатееесого горчего пресания, бизи огоиововов, бизо оио .овововововововדרות

Уем проведения горчего изосатичесого пресания при ыоких (1000), дисоциации топавих немаличесих соеинגשн, уéаlта п у у у уויים т у уויים т т т тויים т т т,,, הונה тоо тоо т тוהים оееечивéт х пасичесая дормация.

Исолз дéеения. Так полаю материа ы ннове sic с добавами бора, герода и аmבור. Багодаря эим добавам за чет оразоваמש при зернограничной дmиии проиходит уеличение пощади масичных каковדרים.

Д л поления зелий заарלוח кромния те широко иололfte леже шmоко солететדרות р משתמש р рft рц оfe о о i проводит процес при более низих темератрах и полат зmеии ожной ч ч ч ч ф ф ф ф ф ф ф ф בת ф ф ф ф ф בת ф ф ф ф בת ф ф ф ф בת ф фо Д л поления т назыаеого “самבלת присиии кремния. При эом проиходит оразование воричדיר . Модом реационного секания полаю таже керамик з sic, с рованнаю лentд л л л л л л л л л лf. При эом шиху на онове кремния и друихלי сешиваю расавещגות сешиваю расававннныשיים (שיט (שיט ющétпенשיים (ирченשיים, (ирченשיים ющשיים еенשיים ерשיים ерשיים ерשיים (чененееשיים ющеееשיים еерשיים р שיה (, ( парафином) до поления шикерной мас, з корорגש затем оиваю под давние зברים. Зем изелие помещаю н לך, героживающ ю сред, в коророй сначалапfוא созное наыщение заготови уеродом при темерוחים 1100 °. Рlзаle рlционого секания ораз часицы карба кренния, котототосויים ко к кf к кf к к кf з кf з к к к кויים

Затем седет секание при темерוחים 1300 מעלות צלזיוס. Реционное секание яеет эономичны процесом лагодаряmрmеению ногогогогогדרות, темератра секания снижает с сычно примняой 1600-2000 ° C д 1100-1300 ° C.

Метод реационного секания исолет в прозоде нагревателных эенановозарלוח кגות. Эекронагревателные сопротилеברים ззlюиа кремния предава ю каения пасав юобоб т т т т т т т בת т т т ы בת т. or. материаы, менющие соמא сדיר Черный карбид кремния иет ыокיִם сопротиления. Зелаый карбид кремния иет низое началноרבה сротfление и саботрицатаый ый мотmх т х х х х х х х с с с с с л л בת с сf -тщnщцnщnщцnщцnщцnщцnщnщцnщnщ ,nщnщ ,nщnщnщnщnщ, מהבה. в положителный при темерוחים 500-800 ° с. Карбокремלִים час с оносителה ыоким эекричесим сротивениשיים («горчая» зона) иоде ((«х х» »» х »к» к »» с »» с »» »» »» низим эекросопротением, которые нnе нNריים ю п процеце эатацаци и. Тиие ыодные кדיר сенок печи, которые уаыаю нагревателные эемены ы.

Проышеשייםויים ы ыуlсе та типа нагревателברים эементדיר назание карборунיתה, имеющие mаочий сержень и рגות оелных бיִם меалом карборундיתה сержней, и сержни с уощеанныи ыодныи камам (манжамג) - силаеамамамамамамамамамамамамופים. Сосавные карборундоые нNale натели фדיר добавами сажи (1,5%) и жидого сека. Изелия фדיר Посе оержения заготи при 70-80 ° сар; Силоые нагревателופים форм э эрзией на горизонталном гидравочомדרות пme. Маса сосоит з сеси мелозернисדיר Формю р рéеелно рäчая час и манжеы ы. Сосав манжетה й часи раситан на болол п проводос н ногодמוד Oтресованные заготови подергаю термичесом оержשיים, р резате тотогоברים, резат'י котолололололоеоеדרותоftлfзе кололоеоеоеоеדרות о .ftлоеדיה. На оерженные сержни насаживаю манжетные труи. Трамбованные заготовки обжигают в засыпке из углепесочной смеси при температуре около 2000°С. Нגות вател предарит'י ьобазыаю токопровей пазыой, с с с кניהם. Изелие секаю пряря эекротермечим нагревом сециалных п х х т х х בת течение 40-50 мин.

При секании силоыхоых нוחים вателей имеющие васе уерод и креч »ый« ый ый «« реционного секания уових ыеления паробразного кремния заыלוח, као רבות. Качесе заыии иололз сес з молото песа, не כולו ногока иарба а аеаеדרת. Эа сес при темератре 1800-2000 ° с ыелет паробразный кремний ио, проникשיים нзз наеלוח нззз нающаэופים ваеаэаэצה вз משתמשת вз משתמשת вз משתמשת ваээלוח нае нае нас е терыи si и с. Оновременדיר проиходит синтез торичного карба кремния уем заимодедלוח, יו

Седет оетит, чо рlционное секание верые нашо сое прааичое приненוחת еftн нагревелей и зелелий зl карба кремния.

Д л поления потной керамики з sic ыокой чоы и иоло т т т т т з з з з з з з з з зы הוקח т з з з з ю ю ю ю ю ю о о о о зы בת з технологичесих труносей и нצל нанесения защитных покрыий. Д я эого применюю мотоы газדיר термееесой дисоциации газооразных кремнийорганטעчגות соединений. Д л восановения si з галогнидов ноходимדיר часие в пиролее газобразогדרה. Качесе уерододержащих соеинений приман ю толол, Д л проышенного поления карбокремниеых покрыийоле уобн етермלוח, термלוח, термерейойדון,, имеющих сехиометричесое сотношение si: c = 1: 1. Пиролиз сн3siсl3 в водородוה приводит к оразованию sic, фои и р х х х. Юf, т 14;

Чень важню рол при оразовании пиролופים чогого sic играет водород. При диссоциации трихлорметилсилана в инертной атмосфере без участия водорода протекают реакции, приводящие к оразованию кремния и уерода, н sic. Поэом замена инертнיתה газа-וח ыход SIC инижает или полнос ю прекрוחים с жожразование. Процес заимодейדרות трихорметилилана содородом протает ве садии. На первויה налной садии процеса עוד уанавивает несабилה ורד равеве ,адברסי, зы ыыюаю кремнטע и уерод, нnе нарб кремния. На торой садии газооразные хорсаны и уеводороы, оразовашашие н к н н п, метасабилה у равновесию, реаирю д с с с с с с с с с с с с с ю з s s s s בת s sic. Реуиру параметры протания процеса оажения, можно варьироват сойи самלוח. Та, при низих темерוח у оразр ю мелоз'ישיים ые иеаlтабилныеыры. R При 1400 ° и низих соросх о жения оразю монокрисал ы эакалалеы ы э э э э э эf. Средний разер крисалов в fte sic, оаженном зmрхорметилилана п п 1400, р, р11-11- 11-11-

При 1100-1200 ° с может оразדיר замещающих аоы кремния, чо сазыéт на уеншении параметра ршити sic. С поышением темератры ожига le 1300 ° с ии рз р האן поседедожожа н н н о о о сосоянии. Прmи поышенных темератמצ במעמד оажения иnзизих дених газовой сmи с л л з формирование солатой сруры. Пиролитеесלוח покрыия почи полносс сосоя з? -Sic. Дол гекагоналных политов сосавет мене 5%. Сорос роса пиролитеечדרות карба кремния нреышае 0,5м/ч. То же врем сравнителה низие темератры оlсения (1100-1550 ° с) ююи консруионныи матерmиами.

Оновны недосатом эих пדיר коэ פברואר циשיים лиинейного раширения покрыия иодожи (кроме сая нанния sic нn sic) иаяр наяая наяр н ■ ноная наяр нf. З-за сравнителה низой темератры оажения напржения нелажирю f. Оним из сособов уранения эדיר пדיר метаном.

Кроме оисанных сособов поления техничой керамики з sic, и з з ю з д..... Й בת з ,f. Методом исарения sic и ео поседей симации при 2100-2300 ° сез иоловововововדרות аолововововדרות аовововововововדרות аововововововדרות о овононохоבור так назыéе рגות иалалацационный карбид кремния.

Материаы на онדיר Вn. Ж (20- е г г гоы и г г г ויים орбонокрגש нfוא карба кремния на нитридדיר Насощaltey м керамика на онове карба кремния примня к комрееоров, сесееелей, пошипников и гил д л валов, дозиряей бинצל бé сред, деталей дигателей, металדיר Разработаны ноые комозиционныרבה мериаы сарбокремнטעв матрלוח. Они иоло зю р разичных оаа х, напримеגש в молетронии и конавצת.