SiC undirlag fyrir CVD filmuhúðun

Efnafræðileg gufuútfelling

Efnafræðileg gufuútfelling (CVD) oxíðs er línulegt vaxtarferli þar sem forvera gas setur þunna filmu á skífu í hvarfefni. Vaxtarferlið er við lágt hitastig og hefur mun hærri vaxtarhraða samanborið viðvarmaoxíðÞað framleiðir einnig mun þynnri kísildíoxíðlög þar sem filman er aflagð frekar en ræktuð. Þetta ferli framleiðir filmu með mikilli rafviðnámi, sem er frábært til notkunar í örgjörvum (ICs) og MEMS tækjum, svo eitthvað sé nefnt.

Efnafræðileg gufuútfelling (CVD) oxíð er framkvæmt þegar þörf er á ytra lagi en ekki er víst að hægt sé að oxa kísilundirlagið.

Vaxandi efnafræðileg gufuútfelling:

CVD-vöxtur á sér stað þegar gas eða gufa (forveri) er sett inn í lághita hvarfefni þar sem skífurnar eru raðaðar annað hvort lóðrétt eða lárétt. Gasið fer í gegnum kerfið og dreifist jafnt yfir yfirborð skífnanna. Þegar þessir forverar fara í gegnum hvarfefnið byrja skífurnar að taka þá upp á yfirborð sitt.

Þegar forverarnir hafa dreifst jafnt um kerfið hefjast efnahvörf meðfram yfirborði undirlaganna. Þessi efnahvörf hefjast sem eyjar og eftir því sem ferlið heldur áfram vaxa eyjarnar og sameinast til að mynda þá filmu sem óskað er eftir. Efnahvörfin skapa aukaafurðir á yfirborði skífanna sem dreifast yfir mörklagið og renna út úr hvarfinu og skilja aðeins skífurnar eftir með filmuhúðinni sem þær hafa sett.

Mynd 1

Kostir efnafræðilegrar gufuútfellingar:

• Vaxtarferli við lágan hita.
• Hraður útfellingarhraði (sérstaklega APCVD).
• Þarf ekki að vera kísil undirlag.
• Góð þrepaþekja (sérstaklega PECVD).

Mynd 2
Útfelling kísildíoxíðs vs. vöxtur

Fyrir frekari upplýsingar um efnafræðilega gufuútfellingu eða til að fá tilboð, vinsamlegastHAFA SAMBAND VIÐ SVMí dag til að tala við starfsmann í söluteyminu okkar.

Tegundir hjarta- og æðasjúkdóma

LPCVD

Lágþrýstings efnagufuútfelling er hefðbundin efnagufuútfellingaraðferð án þrýstings. Helsti munurinn á LPCVD og öðrum CVD aðferðum er útfellingarhitastigið. LPCVD notar hæsta hitastig til að setja filmur út, yfirleitt yfir 600°C.

Lágþrýstingsumhverfið skapar mjög einsleita filmu með mikilli hreinleika, endurtekningarhæfni og einsleitni. Þetta er gert á bilinu 10 – 1.000 Pa, en staðlaður stofuþrýstingur er 101.325 Pa. Hitastig ákvarðar þykkt og hreinleika þessara filma, þar sem hærra hitastig leiðir til þykkari og hreinni filma.

• Algengar filmur sem lagðar eru inn:pólýsílikon, efnuð og óefnuð oxíð,nítríð.

PECVD

Plasma-aukið efnagufuútfelling er lághita- og þéttleikaútfellingaraðferð. PECVD fer fram í CVD hvarfefni með viðbættu plasma, sem er að hluta til jónað gas með hátt innihald fríra rafeinda (~50%). Þetta er lághitaútfellingaraðferð sem fer fram á milli 100°C og 400°C. PECVD er hægt að framkvæma við lágt hitastig þar sem orkan frá fríum rafeindum sundrar hvarfgjörnu lofttegundunum og myndar filmu á yfirborði skífunnar.

Þessi útfellingaraðferð notar tvær mismunandi gerðir af plasma:

1. Kalt (ekki hitauppstreymi): Rafeindir hafa hærra hitastig en hlutlausar agnir og jónir. Þessi aðferð notar orku rafeindanna með því að breyta þrýstingnum í útfellingarklefanum.
2. Varma: Rafeindirnar eru við sama hitastig og agnirnar og jónirnar í útfellingarklefanum.

Inni í útfellingarklefanum er útvarpsbylgjuspenna send á milli rafskautanna fyrir ofan og neðan skífuna. Þetta hleður rafeindirnar og heldur þeim í örvandi ástandi til að setja niður tilætlaða filmu.

Það eru fjögur skref til að rækta filmur með PECVD:

1. Setjið markskífuna á rafskaut inni í útfellingarklefanum.
2. Færið hvarfgjörn lofttegundir og útfellingarefni inn í hólfið.
3. Sendið plasma á milli rafskauta og setjið spennu á til að örva plasmað.
4. Hvarfgas sundrast og hvarfast við yfirborð skífunnar til að mynda þunna filmu, aukaafurðir dreifast út úr hólfinu.

• Algengar filmur sem eru settar út: kísilloxíð, kísillnítríð, ókristallað kísill,kísilloxýnítríð (Si_xO_yN_z).

APCVD

Efnafræðileg gufuútfelling við andrúmsloftsþrýsting er lághitaútfellingartækni sem fer fram í ofni við staðlaðan andrúmsloftsþrýsting. Eins og aðrar CVD aðferðir krefst APCVD forveragass inni í útfellingarhólfinu, sem síðan hækkar hitastigið hægt til að hvata efnahvörfin á yfirborði skífunnar og mynda þunna filmu. Vegna einfaldleika þessarar aðferðar hefur hún mjög háan útfellingarhraða.

• Algengar filmur sem eru settar á: dópuð og ódópuð kísilloxíð, kísillnítríð. Einnig notað íglæðing.

HDP CVD

Efnafræðileg gufuútfelling með mikilli þéttleika plasma er útgáfa af PECVD sem notar plasma með meiri þéttleika, sem gerir skífunum kleift að hvarfast við enn lægra hitastig (á milli 80°C og 150°C) innan útfellingarklefans. Þetta býr einnig til filmu með mikla getu til að fylla skurði.

• Algengar filmur sem eru settar út: kísildíoxíð (SiO₂), kísillnítríð (Si₃N₄),kísillkarbíð (SiC).

SACVD

Efnafræðileg gufuútfelling undir loftþrýstingi er frábrugðin öðrum aðferðum þar sem hún fer fram undir venjulegum stofuþrýstingi og notar óson (O₃) til að hjálpa til við að hvata viðbrögðin. Útfellingarferlið fer fram við hærri þrýsting en LPCVD en lægri en APCVD, á milli um 13.300 Pa og 80.000 Pa. SACVD filmur hafa hátt útfellingarhraða sem batnar eftir því sem hitastig hækkar þar til um 490°C, þar sem það byrjar að lækka.

• Algengar filmur sem lagðar eru inn:BPSG, PSG,TEOS.

Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd er ein stærsta lausnin fyrir nýjar efnislausnir fyrir kísilkarbíðkeramik í Kína. Tæknikeramik úr SiC: Moh hörkustig er 9 (nýja Moh hörkan er 13), með frábæra mótstöðu gegn rofi og tæringu, framúrskarandi núningi og oxunarvörn. Líftími SiC vörunnar er 4 til 5 sinnum lengri en efnis með 92% áloxíði. MOR (Moral Oxide Resin) RBSiC er 5 til 7 sinnum hærri en SNBSC, sem gerir hana kleift að nota fyrir flóknari form. Tilboðsferlið er fljótlegt, afhendingin er eins og lofað er og gæðin eru engu lík. Við höldum alltaf áfram að skora á markmið okkar og gefum samfélaginu hjarta okkar til baka.