SiC hordozó CVD filmbevonathoz

Kémiai gőzfázisú leválasztás

A kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) egy lineáris növekedési folyamat, amelynek során egy prekurzor gáz egy vékony filmet helyez el egy reaktorban lévő lapkán. A növekedési folyamat alacsony hőmérsékleten zajlik, és sokkal nagyobb növekedési sebességgel jár, mint a hagyományos oxidációs eljárások.termikus oxidEmellett sokkal vékonyabb szilícium-dioxid rétegeket is hoz létre, mivel a fóliát lerakják, nem pedig növesztik. Ez az eljárás nagy elektromos ellenállású fóliát eredményez, amely kiválóan alkalmas integrált áramkörökben és MEMS eszközökben, számos más alkalmazás mellett.

A kémiai gőzfázisú leválasztást (CVD) akkor alkalmazzák, ha külső rétegre van szükség, de a szilícium hordozó nem oxidálható.

Kémiai gőzfázisú leválasztás növekedése:

A CVD növekedés akkor következik be, amikor egy gázt vagy gőzt (prekurzort) vezetnek be egy alacsony hőmérsékletű reaktorba, ahol a szeletek függőlegesen vagy vízszintesen vannak elrendezve. A gáz áthalad a rendszeren, és egyenletesen oszlik el a szeletek felületén. Ahogy ezek a prekurzorok áthaladnak a reaktoron, a szeletek elkezdik abszorbeálni őket a felületükön.

Miután a prekurzorok egyenletesen eloszlottak a rendszerben, kémiai reakciók indulnak meg a szubsztrátok felületén. Ezek a kémiai reakciók szigetek formájában kezdődnek, és a folyamat folytatódásával a szigetek növekednek és egyesülnek, létrehozva a kívánt filmet. A kémiai reakciók melléktermékeket hoznak létre a lapkák felületén, amelyek átdiffundálnak a határrétegen és kiáramlanak a reaktorból, így csak a lapkák maradnak meg a lerakódott filmbevonattal.

1. ábra

A kémiai gőzfázisú leválasztás előnyei:

• Alacsony hőmérsékletű növekedési folyamat.
• Gyors lerakódási sebesség (különösen APCVD).
• Nem kell, hogy szilikon hordozó legyen.
• Jó lépésfedés (különösen PECVD).

2. ábra
Szilícium-dioxid lerakódás vs. növekedés

A kémiai gőzfázisú leválasztással kapcsolatos további információkért vagy árajánlatkérésért kérjük,KAPCSOLAT SVMma beszélni az értékesítési csapatunk egyik tagjával.

Szív- és érrendszeri betegségek típusai

LPCVD

Az alacsony nyomású kémiai gőzfázisú leválasztás egy standard kémiai gőzfázisú leválasztási eljárás nyomás nélkül. Az LPCVD és más CVD módszerek közötti fő különbség a leválasztási hőmérséklet. Az LPCVD a legmagasabb hőmérsékletet használja a filmek leválasztásához, jellemzően 600 °C felett.

Az alacsony nyomású környezet egy nagyon egyenletes, nagy tisztaságú, reprodukálható és homogenitású filmet hoz létre. Ezt 10–1000 Pa nyomáson hajtják végre, míg a standard szobahőmérséklet 101 325 Pa. A hőmérséklet határozza meg ezen filmek vastagságát és tisztaságát, a magasabb hőmérséklet vastagabb és tisztább filmeket eredményez.

• Gyakori letétbe helyezett filmek:poliszilícium, adalékolt és adalékolatlan oxidok,nitridek.

PECVD

A plazmával fokozott kémiai gőzfázisú leválasztás egy alacsony hőmérsékletű, nagy filmsűrűségű leválasztási technika. A PECVD egy CVD reaktorban megy végbe plazma hozzáadásával, amely egy részlegesen ionizált gáz, magas szabadelektron-tartalommal (~50%). Ez egy alacsony hőmérsékletű leválasztási módszer, amely 100°C és 400°C között megy végbe. A PECVD alacsony hőmérsékleten is elvégezhető, mivel a szabad elektronok energiája disszociálja a reaktív gázokat, és filmet képez a lapka felületén.

Ez a leválasztási módszer két különböző típusú plazmát használ:

1. Hideg (nem termikus): az elektronok hőmérséklete magasabb, mint a semleges részecskéké és ionoké. Ez a módszer az elektronok energiáját használja ki a leválasztó kamrában uralkodó nyomás változtatásával.
2. Termikus: az elektronok hőmérséklete megegyezik a lerakókamrában lévő részecskék és ionok hőmérsékletével.

A leválasztó kamrában rádiófrekvenciás feszültség jut az ostya feletti és alatti elektródák közé. Ez feltölti az elektronokat, és gerjeszthető állapotban tartja őket a kívánt film lerakásához.

A PECVD-vel történő fóliázás négy lépésből áll:

1. Helyezze a céllapátot egy elektródára a leválasztó kamrában.
2. Vezessen be reaktív gázokat és lerakódást okozó elemeket a kamrába.
3. Küldjön plazmát az elektródák közé, és feszültséget alkalmazzon a plazma gerjesztéséhez.
4. A reaktív gáz disszociál és reakcióba lép a lapka felületével, vékony filmet képezve, a melléktermékek pedig kidiffundálnak a kamrából.

• Gyakori lerakódások: szilícium-oxidok, szilícium-nitrid, amorf szilícium,szilícium-oxinitridek (Si_xO_yN_z).

APCVD

A légköri nyomáson történő kémiai gőzfázisú leválasztás egy alacsony hőmérsékletű leválasztási technika, amely standard légköri nyomáson, kemencében történik. Más CVD-módszerekhez hasonlóan az APCVD-hez is prekurzor gázra van szükség a leválasztó kamrában, majd a hőmérséklet lassan emelkedik, hogy katalizálja a reakciókat a lapka felületén, és egy vékony filmet képezzen. A módszer egyszerűsége miatt nagyon magas leválasztási sebességgel rendelkezik.

• Gyakori lerakódási filmek: adalékolt és adalékolatlan szilícium-oxidok, szilícium-nitridek. Szintén használjáklágyítás.

HDP CVD

A nagy sűrűségű plazma kémiai gőzfázisú leválasztás a PECVD egy olyan változata, amely nagyobb sűrűségű plazmát használ, ami lehetővé teszi, hogy a lapkák még alacsonyabb hőmérsékleten (80°C és 150°C között) reagáljanak a leválasztó kamrában. Ez egyben egy nagyszerű árokkitöltő képességű filmet is hoz létre.

• Gyakori lerakódású filmek: szilícium-dioxid (SiO₂), szilícium-nitrid (Si₃N₄),szilícium-karbid (SiC).

SACVD

A szubatmoszférikus nyomáson végzett kémiai gőzfázisú leválasztás abban különbözik a többi módszertől, hogy a standard szobanyomás alatt történik, és ózont (O₃) a reakció katalizálásának elősegítésére. A leválasztási folyamat magasabb nyomáson megy végbe, mint az LPCVD, de alacsonyabb nyomáson, mint az APCVD, körülbelül 13 300 Pa és 80 000 Pa között. A SACVD filmek magas leválasztási sebességgel rendelkeznek, amely a hőmérséklet emelkedésével javul körülbelül 490 °C-ig, ekkor pedig csökkenni kezd.

• Gyakori letétbe helyezett filmek:BPSG, PSG,TEOS.

A Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd. Kína egyik legnagyobb szilícium-karbid kerámia újanyag-megoldásokat kínáló vállalata. SiC műszaki kerámia: Moh keménysége 9 (az új Moh keménysége 13), kiváló erózió- és korrózióállósággal, kiváló kopásállósággal és antioxidáns tulajdonságokkal rendelkezik. A SiC termék élettartama 4-5-ször hosszabb, mint a 92%-os alumínium-oxid alapú anyagé. Az RBSiC MOR-értéke 5-7-szerese az SNBSC-ének, így összetettebb formákhoz is használható. Az árajánlatkérés gyors, a szállítás a megígértek szerint történik, a minőség pedig páratlan. Mindig kitartóan törekszünk céljaink elérésére, és szívünket-lelket adjuk vissza a társadalomnak.