I meaisíní litagrafaíochta le haghaidh monarú sceallóga, is féidir le hearráid dofheicthe vaiféir ar fiú na milliúin dollar iad a scrios. Tá gach micriméadar díláithrithe anseo ríthábhachtach do rath nó do theip ciorcad nanoscála, agus is é an croílár a thacaíonn leis an damhsa beachtais seo ár bpríomhcharachtar inniu:ábhar ceirmeach sileacain charbíde– tá sé cosúil le fórsa cobhsaíochta sa domhan micreascópach, ag cosaint líne saoil bheachtais thionscal na leathsheoltóirí nua-aimseartha i dtimpeallachtaí foircneacha.
1. Nuair a bhuaileann criadóireacht le sceallóga: Dúshlán deiridh i gcruinneas
Caithfidh trí ról a bheith ag comhpháirteanna ceirmeacha beachtais meaisíní litagrafaíochta ag an am céanna:
Bonn thar a bheith cobhsaí: seasann sé le roinnt tonna brú tráth an nochta ach fanann sé gan ghluaiseacht.
Faire teochta: coinníonn sé cobhsaíocht theirmeach faoi turraing theirmeach ard léasair.
Caomhnóir Folúis: coinníonn sé cothromaíocht ar leibhéal adamhach ar feadh deich mbliana i dtimpeallacht gan chreathadh.
Beidh “micreathanna” mar thoradh ar leathnú agus crapadh teirmeach ar ábhair mhiotail thraidisiúnta, ach bíonn sé deacair creimeadh plasma a sheasamh ar ábhair pholaiméire. Baintear cothromaíocht foirfe amach i gcruas, i seoltacht theirmeach agus i bhfriotaíocht dífhoirmithe le criadóireacht sileacain charbíde, lena struchtúr criostail uathúil, rud a fhágann gurb iad an rogha is fearr iad do phríomhchodanna meaisíní litagrafaíochta.
2, 'garda coirp dofheicthe' cruinneas nano-leibhéal
I meaisíní litagrafaíochta den scoth ar nós ASML san Ísiltír, NIKON agus CANON sa tSeapáin, tá criadóireacht charbaíde sileacain ag athscríobh rialacha na déantúsaíochta beachtais go ciúin:
Céim an masc: fótamasc a iompar atá chomh luachmhar le hór, agus cruinneas suímh ar leibhéal nanaiméadar á chothabháil le linn gluaiseachta ardluais.
Foshraith scátháin fhrithchaiteach: Tá an garbhacht dromchla thar a bheith beag, fiú níos míne ná dromchla scátháin.
Seomra folúis: Tar éis deich mbliana úsáide, tá an dífhoirmiú níos lú ná an míleú cuid de ghruaig dhaonna
Eascraíonn an chobhsaíocht beagnach 'frithchiallmhar' seo ó thrí ghéinte ábhar sileacain charbíde:
1. Tá an comhéifeacht leathnúcháin theirmigh ag druidim le náid: beagnach “aois reoite” ó -150 ℃ go 500 ℃
2. Trí huaire níos deacra ná cruach: frithsheasmhach in aghaidh damáiste micreascópach de bharr buamáil cáithníní
3. Saintréithe féin-bhealaithe: Tarchur beacht saor ó ola a bhaint amach i dtimpeallacht folúis
3、An 'réabhlóid chiúin' sa tionscal leathsheoltóra
De réir mar a théann an próiseas monaraíochta sliseanna isteach sa ré 2-nanaiméadar, tá criadóireacht charbaíde sileacain ag briseadh trí níos mó teorainneacha:
Tábla oibre déach: ligeann sé do dhá chóras “athsheachadán leibhéal adamhach” a chríochnú i dtimpeallacht folúis.
Córas cosáin optúil EUV: frithsheasmhach in aghaidh buamála leanúnach solais ultraivialait mhór 13.5nm.
Córas nasctha il-aiseach: ag baint amach 200 céim nanoscála in aghaidh an tsoicind gan earráidí carnacha a ghiniúint.
Tá tástálacha comparáideacha déanta ag foireann T&F áirithe maidir le meaisín litagrafaíochta: tar éis céim oibre ceirmeach sileacain charbíde a úsáid, tá feabhas 40% tagtha ar chruinneas shuíomh an chórais, agus tá timthriall cothabhála an trealaimh sínte ó 3 mhí go 2 bhliain. Ní hamháin go laghdaíonn an t-athrú seo costas táirgthe sceallóga, ach tugann sé cruinneas déantúsaíochta “sceallóga na Síne” chun tosaigh i gcaighdeáin idirnáisiúnta den chéad uair.
4、 An cosán dreapadóireachta ón tsaotharlann go dtí an tionsclaíocht
Is ionann criadóireacht sileacain charbaíde grád litagrafaíochta a mhonarú agus 'pálás gan smál' a thógáil sa domhan micreascópach:
Íonacht amhábhar: Púdar carbóide sileacain ultra-íon, na mílte uair níos íona ná salann inite.
Próiseas sintéirithe: rialú beacht ar threo fáis criostail ag teochtaí arda.
Tógann meaisínithe beachtais ag baint úsáide as uirlisí gearrtha diamant le haghaidh snoíodóireacht ar leibhéal fo-mhicrón an oiread ama agus a thógann athchóiriú iarsmaí cultúrtha.
Is é an dul chun cinn déach seo idir “eolaíocht ábhar + déantúsaíocht bheachtais” a fhágann gur ábhair cheannródaíocha, a bhí teoranta tráth do thionscail aeraspáis agus mhíleata, iad anois na comhpháirteanna bunúsacha a thacaíonn le sibhialtacht dhigiteach.
Sa phróiseas monaraíochta sliseanna inniu, atá tar éis an teorainn fhisiciúil a bhaint amach, cruthaíonn criadóireacht charbaídí sileacain lena saintréithe “gan aon chomhréiteach” nach cruachadh sonraí atá i gceist le fíorchruinneas, ach an smacht deiridh ar chroílár na n-ábhar. Nuair a bhíonn gealltanas na milliúin gluaiseachtaí nanoscála ag gabháil le gach comhpháirt cheirmeach, ní hamháin éabhlóid trealaimh leathsheoltóra a fheicimid, ach freisin diongbháilteacht thionscal náisiúin bogadh i dtreo bhuaic an chruinnis.
Am an phoist: 3 Aibreán 2025