Swbstrad SiC ar gyfer cotio ffilm CVD

Dyddodiad Anwedd Cemegol

Mae dyddodiad anwedd cemegol (CVD) ocsid yn broses dwf llinol lle mae nwy rhagflaenol yn dyddodi haen denau ar wafer mewn adweithydd. Mae'r broses twf yn dymheredd isel ac mae ganddo gyfradd twf llawer uwch o'i gymharu âocsid thermol. Mae hefyd yn cynhyrchu haenau silicon deuocsid llawer teneuach oherwydd bod y ffilm yn cael ei ddadbostio, yn hytrach na'i dyfu. Mae'r broses hon yn cynhyrchu ffilm gyda gwrthiant trydanol uchel, sy'n wych i'w defnyddio mewn dyfeisiau IC a MEMS, ymhlith llawer o gymwysiadau eraill.

Perfformir ocsid dyddodiad anwedd cemegol (CVD) pan fo angen haen allanol ond efallai na fydd modd ocsideiddio'r swbstrad silicon.

Twf Dyddodiad Anwedd Cemegol:

Mae twf CVD yn digwydd pan gyflwynir nwy neu anwedd (rhagflaenydd) i adweithydd tymheredd isel lle caiff wafferi eu trefnu naill ai'n fertigol neu'n llorweddol. Mae'r nwy yn symud drwy'r system ac yn dosbarthu'n gyfartal ar draws wyneb y wafferi. Wrth i'r rhagsylweddion hyn symud drwy'r adweithydd, mae'r wafferi'n dechrau eu hamsugno i'w harwyneb.

Unwaith y bydd y rhagflaenwyr wedi dosbarthu'n gyfartal ledled y system, mae adweithiau cemegol yn dechrau ar hyd wyneb y swbstradau. Mae'r adweithiau cemegol hyn yn dechrau fel ynysoedd, ac wrth i'r broses barhau, mae'r ynysoedd yn tyfu ac yn uno i greu'r ffilm a ddymunir. Mae adweithiau cemegol yn creu bigynhyrchion ar wyneb y wafferi, sy'n tryledu ar draws yr haen derfyn ac yn llifo allan o'r adweithydd, gan adael dim ond y wafferi gyda'u gorchudd ffilm wedi'i adneuo.

Ffigur 1

Manteision Dyddodiad Anwedd Cemegol:

• Proses twf tymheredd isel.
• Cyfradd dyddodiad cyflym (yn enwedig APCVD).
• Nid oes rhaid iddo fod yn swbstrad silicon.
• Cwmpas cam da (yn enwedig PECVD).

Ffigur 2
Dyddodiad silicon deuocsid yn erbyn twf

I gael rhagor o wybodaeth am ddyddodiad anwedd cemegol neu i ofyn am ddyfynbris, os gwelwch yn ddaCYSYLLTU SVMheddiw i siarad ag aelod o'n tîm gwerthu.

Mathau o CVD

LPCVD

Mae dyddodiad anwedd cemegol pwysedd isel yn broses dyddodiad anwedd cemegol safonol heb bwysau. Y prif wahaniaeth rhwng LPCVD a dulliau CVD eraill yw tymheredd dyddodiad. Mae LPCVD yn defnyddio'r tymheredd uchaf i adneuo ffilmiau, fel arfer uwchlaw 600 ° C.

Mae'r amgylchedd pwysedd isel yn creu ffilm unffurf iawn gyda phurdeb uchel, atgynhyrchedd a homogenedd. Mae hyn yn cael ei berfformio rhwng 10 - 1,000 Pa, tra bod pwysau ystafell safonol yn 101,325 Pa. Mae tymheredd yn pennu trwch a phurdeb y ffilmiau hyn, gyda thymheredd uwch yn arwain at ffilmiau mwy trwchus a mwy pur.

• Ffilmiau cyffredin wedi'u hadneuo:polysilicon, ocsidau wedi'u dopio a heb eu dopio,nitridau.

PECVD

Mae dyddodiad anwedd cemegol plasma wedi'i wella yn dechneg dyddodiad tymheredd isel, dwysedd ffilm uchel. Mae PECVD yn digwydd mewn adweithydd CVD gan ychwanegu plasma, sef nwy rhannol ïoneiddiedig gyda chynnwys electronau rhydd uchel (~50%). Mae hwn yn ddull dyddodiad tymheredd isel sy'n digwydd rhwng 100 ° C - 400 ° C. Gellir perfformio PECVD ar dymheredd isel oherwydd bod yr egni o'r electronau rhydd yn daduno'r nwyon adweithiol i ffurfio ffilm ar wyneb y wafer.

Mae'r dull dyddodiad hwn yn defnyddio dau fath gwahanol o blasma:

1. Oer (di-thermol): mae gan electronau dymheredd uwch na'r gronynnau a'r ïonau niwtral. Mae'r dull hwn yn defnyddio egni electronau trwy newid y pwysau yn y siambr ddyddodi.
2. Thermol: mae electronau yr un tymheredd â'r gronynnau a'r ïonau yn y siambr ddyddodi.

Y tu mewn i'r siambr ddyddodi, anfonir foltedd amledd radio rhwng electrodau uwchben ac o dan y wafer. Mae hyn yn gwefru'r electronau ac yn eu cadw mewn cyflwr cynhyrfus er mwyn adneuo'r ffilm a ddymunir.

Mae pedwar cam i dyfu ffilmiau trwy PECVD:

1. Rhowch wafer targed ar electrod y tu mewn i'r siambr ddyddodi.
2. Cyflwyno nwyon adweithiol ac elfennau dyddodiad i'r siambr.
3. Anfon plasma rhwng electrodau a chymhwyso foltedd i gyffroi'r plasma.
4. Mae nwy adweithiol yn daduno ac yn adweithio ag arwyneb y wafer i ffurfio ffilm denau, mae sgil-gynhyrchion yn tryledu allan o'r siambr.

• Ffilmiau cyffredin a adneuwyd: ocsidau silicon, nitrid silicon, silicon amorffaidd,ocsinitridau silicon (Si_xO_yN_z).

APCVD

Mae dyddodiad anwedd cemegol gwasgedd atmosfferig yn dechneg dyddodiad tymheredd isel sy'n digwydd mewn ffwrnais ar bwysedd atmosfferig safonol. Fel dulliau CVD eraill, mae APCVD yn gofyn am nwy rhagflaenol y tu mewn i'r siambr ddyddodi, yna mae'r tymheredd yn codi'n araf i gataleiddio'r adweithiau ar wyneb y wafer a dyddodi ffilm denau. Oherwydd symlrwydd y dull hwn, mae ganddo gyfradd dyddodiad uchel iawn.

• Ffilmiau cyffredin a adneuwyd: ocsidau silicon wedi'u dopio a heb eu dopio, nitridau silicon. Defnyddir hefyd ynanelio.

HDP CVD

Mae dyddodiad anwedd cemegol plasma dwysedd uchel yn fersiwn o PECVD sy'n defnyddio plasma dwysedd uwch, sy'n caniatáu i'r wafferi adweithio â thymheredd hyd yn oed yn is (rhwng 80 ° C-150 ° C) o fewn y siambr ddyddodi. Mae hyn hefyd yn creu ffilm gyda galluoedd llenwi ffosydd gwych.

• Ffilmiau cyffredin a adneuwyd: silicon deuocsid (SiO₂), nitrid silicon (Si₃N₄),carbid silicon (SiC).

SACVD

Mae dyddodiad anwedd cemegol pwysedd isatmosfferig yn wahanol i ddulliau eraill oherwydd ei fod yn digwydd o dan bwysau ystafell safonol ac yn defnyddio osôn (O₃) i helpu i gataleiddio'r adwaith. Mae'r broses dyddodiad yn digwydd ar bwysedd uwch na LPCVD ond yn is nag APCVD, rhwng tua 13,300 Pa ac 80,000 Pa. Mae gan ffilmiau SACVD gyfradd dyddodiad uchel ac sy'n gwella wrth i'r tymheredd gynyddu hyd at tua 490°C, ac ar yr adeg honno mae'n dechrau gostwng. .

• Ffilmiau cyffredin wedi'u hadneuo:BPSG, PSG,TEOS.

Shandong Zhongpeng Serameg Arbennig Co, Ltd yw un o'r mwyaf silicon carbide ceramig atebion deunydd newydd yn Tsieina. Cerameg dechnegol SiC: Caledwch Moh yw 9 (caledwch New Moh yw 13), gydag ymwrthedd ardderchog i erydiad a chorydiad, crafiad rhagorol - ymwrthedd a gwrth-ocsidiad. Mae bywyd gwasanaeth cynnyrch SiC 4 i 5 gwaith yn hwy na 92% o ddeunydd alwmina. Mae MOR RBSiC 5 i 7 gwaith yn fwy na SNBSC, gellir ei ddefnyddio ar gyfer siapiau mwy cymhleth. Mae'r broses dyfynbris yn gyflym, mae'r cyflenwad fel yr addawyd ac mae'r ansawdd heb ei ail. Rydym bob amser yn parhau i herio ein nodau ac yn rhoi ein calonnau yn ôl i gymdeithas.