Karbid z křemíku byl objeven v roce 1893 jako průmyslový abraziv pro broušení kol a automobilových brzd. Asi v polovině 20. století se využití SIC Wafer rostlo v technologii LED. Od té doby se díky svým výhodným fyzickým vlastnostem rozšířil na mnoho polovodičových aplikací. Tyto vlastnosti jsou patrné v jeho široké škále využití v polovodičovém průmyslu i mimo ni. Vzhledem k tomu, že se zdá, že Mooreův zákon dosáhne svého limitu, mnoho společností v polovodičovém průmyslu se dívá na karbid křemíku jako polovodičový materiál budoucnosti. SIC lze produkovat pomocí více polytypů SIC, i když v polovodičovém průmyslu je většina substrátů buď 4H-SIC, přičemž 6H- méně běžný, protože trh SIC rostl. Při odkazu na karbid 4H- a 6H-silikonu H představuje strukturu krystalové mřížky. Číslo představuje stohovací sekvenci atomů uvnitř krystalové struktury, toto je popsáno v tabulce schopností SVM níže. Výhody tvrdosti křemíkového karbidu Existuje mnoho výhod používání křemíkového karbidu oproti tradičním křemíkovým substrátům. Jednou z hlavních výhod tohoto materiálu je jeho tvrdost. To dává materiálu četné výhody ve vysokorychlostní, vysokoteplotní a/nebo vysoké napětí. Chlapné karbidy křemíku mají vysokou tepelnou vodivost, což znamená, že mohou přenášet teplo z jednoho bodu do druhé studny. To zlepšuje jeho elektrickou vodivost a nakonec miniaturizaci, jeden ze společných cílů přechodu na SIC oplatky. Tepelné schopnosti SIC substráty mají také nízký koeficient pro tepelnou roztažení. Tepelná rozšiřování je množství a směr, který materiál rozšiřuje nebo smlouvy, protože se zahřívá nebo ochlazuje. Nejběžnějším vysvětlením je led, i když se chová opačný od většiny kovů, rozšiřuje se, jak se ochlazuje a zmenšuje se, když se zahřívá. Nízký koeficient křemíkového karbidu pro tepelnou roztažku znamená, že se významně nemění ve velikosti nebo tvaru, protože je zahříván nebo ochlazen, což je ideální pro montáž do malých zařízení a zabalení více tranzistorů na jediný čip. Další hlavní výhodou těchto substrátů je jejich vysoká odolnost vůči tepelnému šoku. To znamená, že mají schopnost rychle měnit teploty bez rozbití nebo praskání. To vytváří jasnou výhodu při výrobě zařízení, protože se jedná o další charakteristiky houževnatosti, která zlepšuje životnost a výkon karbidu křemíku ve srovnání s tradičním objemovým křemíkem. Na vrcholu svých tepelných schopností je to velmi odolný substrát a nereaguje s kyselinami, alkaliky nebo roztavenými solimi při teplotách až do 800 ° C. To dává těmto substrátům všestrannost v jejich aplikacích a dále pomáhá jejich schopnosti provádět hromadný křemík v mnoha aplikacích. Jeho síla při vysokých teplotách také umožňuje bezpečně pracovat při teplotách nad 1600 ° C. Díky tomu je vhodný substrát pro prakticky jakoukoli aplikaci s vysokou teplotou.
Čas příspěvku:-09-2019